Lasers are widely used for macro- and micromachining applications in numerous industries such as automotive, electronics, and medical manufacturing. However, there are many challenges encountered in the utilization of lasers for nanomachining. The most critical requirement is that the diffraction limit of laser light must be overcome. With recent developments in laser technology in terms of short-wavelength and ultrashort pulse width, there is a wealth of opportunities to beat the diffraction limit for nanomachining of structures, devices, and materials. In this review paper, first the state-of-the-art lasers are examined from the perspective of the requirements of nanomachining. Second, a set of both serial and parallel types of laser-based, “top-down” nanomachining methods is described. Third, preliminary results obtained in our laboratory of the most recent, novel approach involving surface plasmon polaritons for the potential of massively parallel nanomachining are presented. Finally, the potential of lasers for cost-effective nanomanufacturing is assessed.

1.
S.
Nolte
,
B. N.
Chichkov
,
H.
Welling
,
Y.
Shani
,
K.
Lieberman
, and
H.
Terkel
,
Opt. Lett.
24
,
914
916
(
1999
).
2.
P.
Miao
,
A. W.
Robinson
, and
R. E.
Palmer
,
J. Phys. D
31
,
L37
(
1998
).
3.
S. C.
Eagle
and
G. K.
Fedder
,
Appl. Phys. Lett.
74
,
3902
(
1999
).
4.
M.
Kohno
,
T.
Doi
,
T.
Hasegawa
, and
S.
Tomimatsu
,
Thin Solid Films
281
,
588
(
1996
).
5.
H.
Sugimura
,
T.
Uchida
,
N.
Kitamura
, and
H.
Masuhara
,
J. Vac. Sci. Technol. B
12
,
2884
(
1994
).
6.
S.
Kondo
,
S.
Heike
,
M.
Lutwyche
, and
Y.
Wada
,
J. Appl. Phys.
78
,
155
(
1995
).
7.
J. R.
Wendt
,
G. A.
Vawter
,
R. E.
Smith
, and
M. E.
Warren
,
J. Vac. Sci. Technol. B
13
,
2705
(
1995
).
8.
T.
Yoshimura
,
H.
Shiraishi
,
J.
Yamamoto
,
T.
Terasawa
, and
S.
Okazaki
,
Appl. Phys. Lett.
68
,
1799
(
1996
).
9.
O.
Dial
,
C.
Cheng
, and
A.
Scherer
,
J. Vac. Sci. Technol. B
16
,
3887
(
1998
).
10.
B. D.
Terris
,
D.
Weller
,
L.
Folks
,
J. E.
Baglin
, and
A. J.
Kellock
,
J. Appl. Phys.
87
,
7004
(
2000
).
12.
C. R. K.
Marrian
and
D. M.
Tennant
,
J. Vac. Sci. Technol. A
21
,
S207
(
2003
).
13.
Y.-L.
Loo
,
R. L.
Willett
,
K. W.
Baldwin
, and
J. A.
Rogers
,
Appl. Phys. Lett.
81
,
562
(
2002
).
14.
D. S.
Macintyre
,
Y.
Chen
,
D.
Lim
, and
S.
Thoms
,
J. Vac. Sci. Technol. B
19
,
2797
(
2001
).
15.
D. J.
Resnick
et al., “
Microlithography
,”
Proc. SPIE
4688
,
205
213
(
2002
).
16.
Y.-L.
Loo
,
R. L.
Willett
,
K. W.
Baldwin
, and
J. A.
Rogers
,
J. Am. Chem. Soc.
124
,
7654
(
2002
).
17.
T.
Bailey
,
B.
Smith
,
B. J.
Choi
,
M.
Colburn
,
M.
Meissl
,
S. V.
Sreenivasan
,
J. G.
Ekerdt
, and
C. G.
Willson
,
J. Vac. Sci. Technol. B
19
,
2806
(
2001
).
18.
W.
Zhang
and
S. Y.
Chou
,
Appl. Phys. Lett.
79
,
845
(
2001
).
19.
W.
Geyer
,
V.
Stadler
,
W.
Eck
,
A.
Golzhauser
,
M.
Grunze
,
M.
Sauer
,
T.
Weimann
, and
P.
Hinze
,
J. Vac. Sci. Technol. B
19
,
2732
(
2001
).
20.
M. E.
Andersen
,
R. K.
Smith
,
Z. J.
Donhauser
,
A.
Hatzor
,
P. A.
Lewis
,
L. P.
Tan
,
H.
Tanaka
,
M. W.
Horn
, and
P. S.
Weiss
,
J. Vac. Sci. Technol. B
20
,
2739
(
2002
).
21.
M. D.
Shirk
and
P. A.
Molian
,
J. Laser Appl.
10
,
18
(
1998
).
22.
See http://www.rpmclasers.com/ILS%20Article.pdf.
23.
Y.
Chen
,
R. K.
Kupka
,
F.
Rousseaux
,
F.
Carcenac
,
D.
Decanini
,
M. F.
Ravet
, and
H.
Launois
,
J. Vac. Sci. Technol. B
12
,
3959
(
1994
).
24.
M.
Jackson
and
G. M.
Robinson
, Microfabrication and Nanomanufacturing (CRC Press, Boca Raton, FL,
2006
).
25.
D.
Ramanathan
and
P. A.
Molian
,
J. Manuf. Sci. Eng.
24
,
389
(
2002
).
26.
Y.
Dong
,
P.
Molian
,
C.
Zorman
, and
M.
Mehregany
,
J. Laser Appl.
14
,
221
(
2002
).
27.
P.
Simon
and
J.
Ihlemann
,
Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process.
63
,
505
(
1996
).
28.
P.
Pronko
,
S.
Dutta
,
J.
Squier
,
J.
Rudd
,
D.
Du
, and
G.
Mourou
,
Opt. Commun.
114
,
106
(
1995
).
29.
X.
Liu
and
G.
Mourou
,
Laser Focus World
33
,
101
(
1997
).
30.
C. N.
LaFratta
,
R. A.
Farrer
,
T.
Baldacchini
,
J.
Znovena
,
D.
Lim
,
A.-C.
Pons
,
J.
Pons
,
K.
O’Malley
,
Z.
Bayindir
,
M. J.
Naughton
,
B. E. A.
Saleh
,
M. C.
Teich
, and
J. T.
Fourkas
,
Mater. Res. Soc. Symp. Proc.
850
,
200
(
2005
).
31.
M.
Li
, “
Method of precise laser nanomachining with UV ultrafast laser pulses
,” U.S. Patent No. 7,057,135,
6 June 2006
.
32.
T.
Baldacchini
,
A.-C.
Pons
,
J.
Pons
,
C. N.
LaFratta
,
J. T.
Fourkas
,
Y.
Sun
, and
M. J.
Naughton
,
Opt. Express
13
,
1276
(
2005
).
33.
S.
Kawata
and
H.-B.
Sun
,
Appl. Surf. Sci.
208-209
,
153
(
2003
).
34.
T.
Tanaka
,
H.-B.
Sun
, and
S.
Kawata
,
Appl. Phys. Lett.
80
,
312
(
2002
).
35.
C.-H.
Lee
,
T.-W.
Chang
,
K.-L.
Lee
,
J.-Y.
Lin
, and
J.
Wang
,
Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process.
79
,
2027
(
2004
).
36.
E.-Y.
Pan
,
N.-W.
Pu
,
Y.-P.
Tong
, and
H.-F.
Yau
,
Appl. Phys. B: Lasers Opt.
77
,
485
(
2003
).
37.
K.-S.
Lee
,
M.-S.
Kim
,
H.-K.
Yang
,
B.-K.
Soo
,
H.-B.
Sun
,
S.
Kawata
, and
P.
Fleitz
,
Mol. Cryst. Liq. Cryst.
424
,
35
(
2004
).
38.
S.
Kawata
and
H.-B.
Sun
,
Proc. SPIE
4797
,
240
(
2003
).
39.
W. H.
Teh
,
U.
Dürig
,
G.
Salis
,
R.
Harbers
,
U.
Drechsler
,
R. F.
Mahrt
,
C. G.
Smith
, and
H.-J.
Güntherodt
,
Appl. Phys. Lett.
84
,
4095
(
2004
).
40.
H.-B.
Sun
and
S.
Kawata
,
J. Lightwave Technol.
21
,
624
(
2003
).
41.
S. A.
Akhmanov
,
A. P.
Sukhorukov
, and
R. V.
Khokhlov
, “
Self focusing and self trapping of intense light beams in a non linear liquid medium
,”
Sov. Phys. JETP
23
,
1025
1033
(
1966
).
42.
C. A.
Sacchi
, “Self-focusing and self-traping of intense laser beams,” Lasers and Their Applications, edited by
A.
Sona
(Gordon and Breach, New York,
1976
), pp.
561
578
.
43.
M.
Mitchell
,
M.
Segev
,
T. H.
Coskun
, and
D. N.
Christodoulides
, “
Theory of self-trapped spatially incoherent light beams
,”
Phys. Rev. Lett.
79
,
4990
4993
(
1997
).
44.
A.
Brodeur
and
S. L.
Chin
, “
Bandgap dependence of the ultrafast white-light continuum
,”
Phys. Rev. Lett.
80
,
4406
4409
(
1998
).
45.
A.
Brodeur
,
F. A.
Ilkov
, and
S. L.
Chin
, “
Beam filamentation and the white light continuum divergence
,”
Opt. Commun.
129
,
193
198
(
1996
).
46.
D.
Ramanathan
and
P. A.
Molian
, “
Laser micromachining using liquid optics
,”
Appl. Phys. Lett.
78
,
1484
1486
(
2001
).
47.
D.
Ramanathan
and
P. A.
Molian
, Proceedings of 2006 International Symposium on Flexible Automation, Session on Next-Generation Laser Materials Processing
9–14 July 2006
; Osaka, Japan (unpublished).
48.
M.
Hendon
,
R.
Collins
,
R.
Hollingsworth
,
P.
Larson
, and
M.
Johnson
,
Appl. Phys. Lett.
74
,
141
(
1999
).
49.
I.
Smollyaninov
,
D.
Mazzoni
, and
C.
Davis
,
Appl. Phys. Lett.
67
,
3859
(
1995
).
50.
M.
Ohtsu
and
H.
Hori
, Near-Field Nano-Optics (Kluwer Academic/Plenum, New York,
1999
).
51.
E.
Betzig
,
P. L.
Finn
, and
J. S.
Weiner
,
Appl. Phys. Lett.
60
,
2484
(
1992
).
52.
E.
Betzig
and
J. K.
Trautman
,
Science
257
,
189
(
1992
).
53.
E.
Betzig
,
J. K.
Trautman
,
T. D.
Harris
,
J. S.
Weiner
, and
R. L.
Kostelak
,
Science
251
,
1468
1470
(
1991
).
54.
E.
Betzig
,
J. K.
Trautman
,
R.
Wolfe
,
E. M.
Gyorgy
,
P. L.
Finn
,
M. H.
Kryder
, and
C. H.
Chang
,
Appl. Phys. Lett.
61
,
142
(
1992
).
55.
W. J.
Wang
,
M. H.
Dong
,
D. J.
Wu
,
Y. W.
Goh
,
Y.
Lin
,
P.
Luo
,
B. S.
Luk’yanchuk
,
Y. F.
Lu
, and
T. C.
Chong
,
Proc. SPIE
5063
,
449
(
2003
).
56.
T.
Ono
,
H.
Miyashita
,
K.
Iwami
,
S.-J.
Kim
,
Y.-Y.
Lin
, and
M.
Esashi
, Proceedings of the 2004 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science,
2004
, p.
39
(unpublished).
57.
S. S.
Choi
,
M. S.
Song
,
D. W.
Kim
, and
M. J.
Park
,
Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process.
79
,
1189
(
2004
).
58.
C.
Haumann
,
Ch.
Pelargus
,
H. G.
Frey
,
R.
Ros
,
D.
Anselmetti
,
J.
Toquant
, and
D. W.
Pohl
,
Rev. Sci. Instrum.
76
,
033704
(
2005
).
59.
X.
Yin
,
N.
Fang
,
X.
Zhang
,
I. B.
Martini
, and
B. J.
Schwartz
,
Proc. SPIE
5211
,
96
(
2003
).
60.
H.
Schmid
,
H.
Biebuyck
, and
B.
Michel
,
Appl. Phys. Lett.
72
,
2379
(
1998
).
61.
M. M.
Alkaisi
,
R. J.
Blaikie
,
S. J.
McNab
,
R.
Cheung
, and
D. R. S.
Cumming
,
Appl. Phys. Lett.
75
,
3560
(
1999
).
62.
M. M.
Alkaisi
,
R. J.
Blaikie
, and
S. J.
McNab
,
Microelectron. Eng.
53
,
237
(
2000
).
63.
H. I.
Smith
,
N.
Efremow
, and
P. L.
Kelly
,
J. Electrochem. Soc.
121
,
1503
(
1974
).
64.
M. M.
Alkaisi
,
R. J.
Blaikie
, and
S. J.
McNab
,
Adv. Mater. (Weinheim, Ger.)
13
,
877
(
2001
).
65.
S. J.
McNab
and
R. J.
Blaikie
,
Appl. Opt.
39
,
20
(
2000
).
66.
Y.
Zhou
,
M. H.
Hong
,
J. Y. H.
Fuh
,
L.
Lu
,
B. S.
Luk’yanchuk
,
Z. B.
Wang
,
L. P.
Shi
, and
T. C.
Chong
,
Appl. Phys. Lett.
88
,
023110
(
2006
).
67.
S. M.
Huang
,
M. H.
Hong
,
B.
Luk’yanchuk
, and
Y. F.
Lu
,
Proc. SPIE
4760
,
185
(
2002
).
68.
A.
Chimmaigi
,
T. Y.
Choi
,
C. P.
Grigoropoulos
, and
K.
Komvopoulos
,
Appl. Phys. Lett.
82
,
1146
(
2003
).
69.
A.
Kirsanov
et al.,
J. Appl. Phys.
94
,
6822
(
2003
).
70.
J.
Jersch
and
K.
Dickmann
,
Appl. Phys. Lett.
68
,
868
(
1996
).
71.
J.
Jersch
,
F.
Demming
,
J.
Hildenhagen
, and
K.
Dickmann
,
Opt. Laser Technol.
29
,
433
(
1997
).
72.
V. F.
Dryakhlushin
,
A. Y.
Klimov
,
V. V.
Rogov
, and
N. V.
Vostokov
,
Appl. Surf. Sci.
248
,
200
(
2005
).
73.
D.
Haefliger
and
A.
Stemmer
,
Ultramicroscopy
100
,
457
(
2004
).
74.
T.
Baldacchini
,
A.-C.
Pons
,
J.
Pons
,
C. N.
LaFratta
,
J. T.
Fourkas
,
Y.
Sun
, and
M. J.
Naughton
,
Opt. Express
13
,
1276
(
2005
).
75.
W. J.
Wang
,
M. H.
Dong
,
D. J.
Wu
,
Y. W.
Goh
,
Y.
Lin
,
P.
Luo
,
B. S.
Luk’yanchuk
,
Y. F.
Lu
, and
T. C.
Chong
,
Proc. SPIE
5063
,
449
(
2003
).
76.
S. S.
Choi
,
M. S.
Song
,
D. W.
Kim
, and
M. J.
Park
,
Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process.
79
,
1189
(
2004
).
77.
C.
Haumann
,
Ch.
Pelargus
,
H. G.
Frey
,
R.
Ros
,
D.
Anselmetti
,
J.
Toquant
, and
D. W.
Pohl
,
Rev. Sci. Instrum.
76
,
033704
(
2005
).
78.
S. M.
Mansfield
,
W. R.
Studenmund
,
G. S.
Kino
, and
K.
Osato
,
Opt. Lett.
18
,
305
(
1993
).
79.
B. D.
Terris
,
H. J.
Mamin
, and
D.
Rugar
,
Appl. Phys. Lett.
68
,
141
(
1996
).
80.
S. G.
Tang
,
T. D.
Milster
,
J.
Kevin
, and
W. L.
Blester
,
Opt. Lett.
26
,
1987
(
2001
).
81.
D. A.
Fletcher
,
K. B.
Crozier
,
C. F.
Quate
,
G. S.
Kino
, and
K. E.
Goodson
,
Appl. Phys. Lett.
77
,
2109
(
2000
).
82.
K.
Koyama
,
M.
Yoshita
,
M.
Baba
,
T.
Suemoto
, and
H.
Akiyama
,
Appl. Phys. Lett.
75
,
1667
(
1999
).
83.
L. P.
Ghislain
,
V. B.
Elings
,
K. B.
Crozier
,
S. R.
Manalis
,
S. C.
Minne
,
K.
Wilder
,
G. S.
Kino
, and
C. F.
Quate
,
Appl. Phys. Lett.
74
,
501
(
1999
).
84.
L.
Zhou
,
J. A.
Bain
,
T. E.
Schiessinger
,
M.
Lang
, and
T. D.
Milster
,
Proc. SPIE
5380
,
28
(
2004
).
85.
X.
Yin
,
N.
Fang
,
X.
Zhang
,
I. B.
Martini
, and
B. J.
Schwartz
,
Proc. SPIE
5211
,
96
(
2003
).
86.
D. A.
Fletcher
,
K. B.
Crozier
,
K. W.
Guarini
,
S. C.
Minne
,
G. S.
Kino
,
C. F.
Quate
, and
K. E.
Goodson
,
J. of MEMS
10
,
450
459
(
2001
).
87.
J.
Tominaga
and
T.
Nakano
, “
Optical Near-Field Recoding Science and Technology
,”
2005
, pp. 63–96.
88.
H.
Kawano
,
A.
Chekanov
,
K.
Matsumoto
,
K.
Ozaki
,
R.
Sbiaa
, and
T.
Suzuki
,
IEEE Trans. Magn.
37
,
1409
(
2001
).
89.
D. H.
Chien
,
C. H.
Tsai
,
S. S.
Lo
,
C. C.
Chen
, and
J. Y.
Chang
,
J. Cell Biol.
23
,
2746
(
2005
).
90.
R.
Brunner
,
M.
Burkhadt
,
A.
Pesch
, and
O.
Sandfuchs
,
J. Opt. Soc. Am. A
21
,
1186
(
2004
).
91.
J.
Tominaga
,
T.
Nakano
, and
N.
Atoda
,
Appl. Phys. Lett.
73
,
2078
(
1998
).
92.
J.
Tominaga
,
T.
Nakano
, and
N.
Atoda
,
Proc. SPIE
3467
,
282
(
1998
).
93.
J.
Tominaga
,
T.
Nakano
,
N.
Atoda
,
H.
Fuji
, and
A.
Sato
,
Jpn. J. Appl. Phys.
39
,
957
(
2000
).
94.
T.
Yatsui
,
M.
Kourogi
,
K.
Tsutsui
,
M.
Ohtsu
, and
J.
Takahashi
,
Opt. Lett.
25
,
1279
(
2000
).
95.
L. P.
Shi
, Tech. Dig. Int. Super RENS and Plasmon Sci. & Tech. Symp. 200, Session 4,
22–23 Oct. 2001
, Taipei, Taiwan (unpublished).
96.
J.
Tominaga
,
D.
Buechel
,
T.
Nakano
,
T.
Fukaya
,
N.
Atoda
, and
H.
Fuji
,
Proc. SPIE
4081
,
86
(
2000
).
97.
H.
Fuji
,
H.
Katayama
,
J.
Tominaga
,
L.
Men
,
T.
Nakano
, and
N.
Atoda
,
Jpn. J. Appl. Phys.
39
,
980
(
2000
).
98.
F. H.
Ho
,
W. Y.
Lin
,
H. H.
Chang
,
Y. H.
Lin
,
W. C.
Liu
, and
D. P.
Tsa
,
Jpn. J. Appl. Phys.
40
,
4101
4102
(
2001
).
99.
T.
Kikukawa
,
T.
Nakano
,
T.
Shima
, and
J.
Tominaga
,
Appl. Phys. Lett.
81
,
4697
(
2002
).
100.
J. H.
Kim
,
I.
Hwang
,
D.
Yoon
,
I.
Park
,
D.
Shin
,
T.
Kikukawa
,
T.
Shima
, and
J.
Tominaga
,
Appl. Phys. Lett.
83
,
1701
(
2003
).
101.
W. C.
Hsu
,
M. R.
Tseng
,
S. Y.
TSA
, and
P. C.
Kuo
,
Jpn. J. Appl. Phys.
42
,
1005
1009
(
2003
).
102.
J.
Kim
,
I.
Hwang
,
D.
Yoon
,
I.
Park
,
D.
Shin
,
M.
Kuwahara
, and
J.
Tominaga
,
Jpn. J. Appl. Phys.
42
,
1014
1017
(
2003
).
103.
A.
Denk
et al.,
Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process.
76
,
1
(
2003
).
104.
Y.
Lu
and
S.
Chen
,
Nanotechnology
14
,
505
(
2003
).
105.
Y.
Lu
,
S.
Theppakuttai
, and
S.
Chen
,
Appl. Phys. Lett.
82
,
4143
(
2003
).
106.
M.
Stefan
,
M.
Brongersma
,
P.
Kik
,
S.
Meltzer
,
A. G.
Requicha
, and
H.
Atwater
,
Adv. Mater. (Weinheim, Ger.)
13
,
1501
(
2001
).
107.
X.
Luo
and
T.
Ishihara
,
Appl. Phys. Lett.
84
,
4780
(
2004
).
108.
P.
Kik
,
A.
Martin
,
S.
Maier
, and
H.
Atwater
,
Proc. SPIE
4810
,
7
13
(
2002
).
109.
X.
Luo
and
T.
Ishihara
,
Jpn. J. Appl. Phys.
43
,
4017
(
2004
).
110.
W.
Srituravanich
,
N.
Fang
,
C.
Sun
, and
X.
Zhang
,
4
,
1085
(
2004
).
111.
W.
Srituravanich
,
N.
Fang
,
S.
Durant
,
M.
Ambati
,
C.
Sun
, and
X.
Zhang
,
J. Vac. Sci. Technol. B
22
,
3475
(
2004
).
112.
T. W.
Ebbesen
,
H. J.
Lezec
,
H. F.
Ghaemi
,
T.
Thio
, and
P.
Wolff
,
Nature (London)
391
,
667
(
1998
).
113.
S. H.
Chang
,
S. K.
Gray
, and
G. C.
Schatz
,
Opt. Express
13
,
3150
(
2005
).
114.
G.
Chryssolouris
et al.,
Int. Journal of Materials and Product Technology
21
,
331
(
2004
).
115.
T.
Makimura
,
H.
Miyamoto
,
S.
Uchida
,
H.
Niino
, and
K.
Murakami
, Micro Processes and Nanotechnology Conference,
2005
, pp.
142
143
.
116.
T.
Makimura
,
H.
Miyamoto
,
Y.
Kenmotsu
,
K.
Murakami
, and
H.
Niino
,
Appl. Phys. Lett.
86
,
103111
(
2005
).
117.
T.
Makimura
,
H.
Miyamoto
,
S.
Uchida
,
T.
Fujimori
,
H.
Niino
, and
K.
Murakami
,
Jpn. J. Appl. Phys.
45
,
5545
(
2006
).
118.
T.
Makimura
,
S.
Uchida
,
H.
Niino
,
K.
Murakami
, and
H.
Niino
,
Appl. Phys. Lett.
89
,
101118
(
2006
).
119.
D.
Dahlhaus
,
S.
Franzka
,
E.
Hasselbrink
, and
N.
Hartmann
,
Nano Lett.
6
,
2358
(
2006
).
120.
H.
Urch
,
S.
Franzka
,
D.
Dahlhaus
,
N.
Hartmann
,
E.
Hasselbrink
, and
M.
Epple
,
J. Mater. Chem.
16
,
1798
(
2006
).
121.
S. M.
Huang
,
Z.
Sun
,
B. S.
Luk’yanchuck
,
M. H.
Hong
, and
L. P.
Shi
,
Appl. Phys. Lett.
86
,
161911
(
2005
).
122.
S. H.
Huang
,
Z.
Sun
, and
Y. F.
Lu
,
Nanotechnology
18
,
025302
(
2007
).
123.
G.
Vaschenko
,
A.
Garcia Etxarri
,
C. S.
Menoni
,
J. J.
Rocca
,
O.
Hemberg
,
S.
Bloom
,
W.
Chao
,
E. H.
Anderson
,
D. T.
Attwood
,
Y.
Lu
, and
B.
Parkinson
,
Opt. Lett.
31
,
3615
3617
(
2006
).
124.
H.
Bravo
,
F.
Brizuela
,
G.
Vaschenko
,
C.
Menoni
,
J.
Rocca
,
O.
Hemberg
,
B.
Frazer
,
S.
Bloom
,
W.
Chao
,
E.
Anderson
, and
D.
Atwood
, MAR07 Meeting of The American Physical Society, http://meetings.aps.org/link/BAPS.2007.MAR.Rl.157(unpublished).
125.
M.
Marconi
,
P.
Wachulak
,
D.
Patel
,
M.
Capeluto
,
C.
Menoni
, and
J.
Rocca
, 2007 APS March Meeting, Denver, Colorado, http://www.aps.org/meetings/march(unpublished).
This content is only available via PDF.
You do not currently have access to this content.