A compact nanofabrication system that combines Talbot lithography and a table-top extreme ultraviolet laser is presented. The lithographic method based on the Talbot effect provides a robust and simple experimental setup that is capable to print periodic structures over millimeter square areas free of defects. Test structures were printed and transferred into metal layers showing a complete coherent extreme ultraviolet lithographic process in a table-top system.
REFERENCES
1.
V.
Pelletier
, K.
Asakawa
, M.
Wu
, D. H.
Adamson
, R. A.
Register
, and P. M.
Chaikin
, Appl. Phys. Lett.
88
, 211114
(2006
).2.
E. E.
Scime
, E. H.
Anderson
, D. J.
McComas
, and M. L.
Schattenburg
, Appl. Opt.
34
, 648
(1995
).3.
J. J.
Wang
, F.
Walters
, X.
Liu
, P.
Sciortino
, and X.
Deng
, Appl. Phys. Lett.
90
, 061104
(2007
).4.
T.
Weber
, T.
Käsebier
, M.
Helgert
, E.
Kley
, and A.
Tünnermann
, Appl. Opt.
51
, 3224
(2012
).5.
G. A.
Baker
and D. S.
Moore
, Anal. Bioanal. Chem.
382
, 1751
(2005
).6.
J. J.
Baumberg
, T. A.
Kelf
, Y.
Sugawara
, S.
Cintra
, M. E.
Abdelsalam
, P. N.
Bartlett
, and A. E.
Russell
, Nano Lett.
5
, 2262
(2005
).7.
J. B.
Jackson
and N. J.
Halas
, Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A.
101
, 17930
(2004
).8.
R.
Zia
, J. A.
Schuller
, A.
Chandran
, and M. L.
Brongersma
, Mater. Today
9
, 20
(2006
).9.
M.
Campbell
, D. N.
Sharp
, M. T.
Harrison
, R. G.
Denning
, and A. J.
Turberfield
, Nature
404
, 53
(2000
).10.
W. J.
Fan
, S.
Zhang
, K. J.
Malloy
, and S. R. J.
Brueck
, J. Vac. Sci. Technol. B
23
, 2700
(2005
).11.
S. Y.
Chou
and P. R.
Krauss
, J. Appl. Phys.
79
, 5066
(1996
).12.
L. J.
Heyderman
, H. H.
Solak
, C.
David
, D.
Atkinson
, R. P.
Cowburn
, and F.
Nolting
, Appl. Phys. Lett.
85
, 4989
(2004
).13.
F. B.
Mancoff
, N. D.
Rizzo
, B. N.
Engel
, and S.
Tehrani
, Nature
437
, 393
(2005
).14.
J. A.
Hoffnagle
, W. D.
Hinsberg
, F. A.
Houle
, and M. I.
Sanchez
, J. Photopolym. Sci. Technol.
16
, 373
(2003
).15.
P. P.
Naulleau
et al., Microelectron. Eng.
86
, 448
(2009
).16.
W. H. F.
Talbot
, Philos. Mag.
9
, 403
(1836
).17.
C.
Zanke
, M. H.
Qi
, and H. I.
Smith
, J. Vac. Sci. Technol. B
22
, 3352
(2004
).18.
C. P.
Fucetola
, A. A.
Patel
, E. E.
Moon
, T. B.
O'Reilly
, and H. I.
Smith
, J. Vac. Sci. Technol. B
27
, 2947
(2009
).19.
A.
Isoyan
, F.
Jiang
, Y. C.
Cheng
, F.
Cerrina
, P.
Wachulak
, L.
Urbanski
, J. J.
Rocca
, C.
Menoni
, and M.
Marconi
, J. Vac. Sci. Technol. B
27
, 2931
(2009
).20.
L.
Urbanski
, W.
Li
, J. J.
Rocca
, C. S.
Menoni
, M. C.
Marconi
, A.
Isoyan
, and A.
Stein
, J. Vac. Sci. Technol. B
30
, 06F502
(2012
).21.
L.
Urbanski
, A.
Isoyan
, A.
Stein
, J. J.
Rocca
, C. S.
Menoni
, and M. C.
Marconi
, Opt. Lett.
37
, 3633
(2012
).22.
L.
Urbanski
, M. C.
Marconi
, A.
Isoyan
, A.
Stein
, C. S.
Menoni
, and J. J.
Rocca
, J. Vac. Sci. Technol. B
29
, 06F504
(2011
).23.
B. R.
Benware
, C. D.
Macchietto
, C. H.
Moreno
, and J. J.
Rocca
, Phys. Rev. Lett.
81
, 5804
(1998
).24.
Y.
Liu
, M.
Seminario
, F. G.
Tomasel
, C.
Chang
, J. J.
Rocca
, and D. T.
Attwood
, Phys. Rev. A
63
, 033802
(2001
).25.
C. D.
Macchietto
, B. R.
Benware
, and J. J.
Rocca
, Opt. Lett.
24
, 1115
(1999
).26.
M. C.
Marconi
, J. L. A.
Chilla
, C. H.
Moreno
, B. R.
Benware
, and J. J.
Rocca
, Phys. Rev. Lett.
79
, 2799
(1997
).27.
L.
Urbanski
, M. C.
Marconi
, L. M.
Meng
, M.
Berrill
, O.
Guilbaud
, A.
Klisnick
, and J. J.
Rocca
, Phys. Rev. A
85
, 033837
(2012
).28.
J.
Filevich
, M. C.
Marconi
, K.
Kanizay
, J. L. A.
Chilla
, and J. J.
Rocca
, J. Phys. IV
11
, Pr2
–483
(2001
).29.
M. G.
Capeluto
et al., IEEE Trans. Nanotechnol.
5
, 3
(2006
).30.
H.
Bravo
, B. T.
Szapiro
, P. W.
Wachulak
, M. C.
Marconi
, E. H.
Anderson
, C. S.
Menoni
, and J. J.
Rocca
, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron.
18
, 443
(2012
).31.
P. W.
Wachulak
, M. C.
Marconi
, R. A.
Bartels
, C. S.
Menoni
, and J. J.
Rocca
, J. Opt. Soc. Am. B
25
, 1811
(2008
).32.
S.
Heinbuch
, F.
Dong
, J. J.
Rocca
, and E. R.
Bernstein
, J. Chem. Phys.
126
, 244301
(2007
).33.
C. A.
Brewer
et al., Opt. Lett.
33
, 518
(2008
).34.
See http://www.cxro.lbl.gov/ for the x-ray database, Center for X-Ray Optics.
35.
H. A.
Atwater
and A.
Polman
, Nature Mater.
9
, 865
(2010
).36.
J.
Bhattacharya
, N.
Chakravarty
, S.
Pattnaik
, W.
Dennis Slafer
, R.
Biswas
, and V. L.
Dalal
, Appl. Phys. Lett.
99
, 131114
(2011
).37.
E.
Ozbay
, Science
311
, 189
(2006
).38.
M. J.
de Boer
, J. G. E.
Gardeniers
, H. V.
Jansen
, E.
Smulders
, M. J.
Gilde
, G.
Roelofs
, J. N.
Sasserath
, and M.
Wlwenspoek
, J. Microelectromech. Syst.
11
, 385
(2002
).39.
M. W.
Pruessner
, W. S.
Rabinovich
, T. H.
Stievater
, D.
Park
, and J. W.
Baldwin
, J. Vac. Sci. Technol. B
25
, 21
(2007
).40.
B. A.
Reagan
, K. A.
Wernsing
, A. H.
Curtis
, F. J.
Furch
, B. M.
Luther
, D.
Patel
, C. S.
Menoni
, and J. J.
Rocca
, Opt. Lett.
37
, 3624
(2012
).41.
D.
Alessi
et al., Phys. Rev. X
1
, 021023
(2011
).© 2013 American Vacuum Society.
2013
American Vacuum Society
You do not currently have access to this content.
