In this article, the authors discuss the mechanism of InGaN growth by plasma assisted molecular beam epitaxy. They present the evidence of the influence of substrate miscut on indium incorporation for the growths with different gallium fluxes. They propose and discuss the phenomenological model which describes the incorporation of indium into InGaN layers grown under the indium-rich conditions that takes into account following parameters: gallium and nitrogen fluxes, miscut angle, and the growth temperature.
REFERENCES
1.
T.
Jang
, O. H.
Nam
, K. H.
Ha
, S. N.
Lee
, J. K.
Son
, H. Y.
Ryu
, K. S.
Kim
, H. S.
Paek
, Y. J.
Sung
, H. G.
Kim
, S. H.
Chae
, Y. H.
Kim
, and Y.
Park
, Proc. SPIE
6473
, 64730X
(2007
).2.
C.
Skierbiszewski
, P.
Wisniewski
, M.
Siekacz
, P.
Perlin
, A.
Feduniewicz-Zmuda
, G.
Nowak
, I.
Grzegory
, M.
Leszczynski
, and S.
Porowski
, Appl. Phys. Lett.
88
, 221108
(2006
).3.
C.
Skierbiszewski
, Z. R.
Wasilewski
, I.
Grzegory
, and S.
Porowski
, J. Cryst. Growth
311
, 1632
(2009
).4.
T.
Miyoshi
, S.
Masui
, T.
Okada
, T.
Yanamoto
, T.
Kozaki
, S.
Nagahama
, and T.
Mukai
, Appl. Phys. Express
2
, 062201
(2009
).5.
M.
Ueno
, Y.
Yoshizumi
, Y.
Enya
, T.
Kyono
, M.
Adachi
, S.
Takagi
, S.
Tokuyama
, T.
Sumitomo
, K.
Sumiyoshi
, N.
Saga
, T.
Ikegami
, K.
Katayam
, and T.
Nakamura
, Appl. Phys. Express
2
, 092101
(2009
).6.
C.
Skierbiszewski
, M.
Siekacz
, P.
Perlina
, A.
Feduniewicz-Zmuda
, G.
Cywinski
, I.
Grzegory
, M.
Leszczynski
, Z. R.
Wasilewski
, and S.
Porowski
, J. Cryst. Growth
305
, 346
(2007
).7.
M.
Siekacz
, A.
Feduniewicz-Zmuda
, G.
Cywinski
, M.
Krysko
, I.
Grzegory
, S.
Krukowski
, K. E.
Waldrip
, W.
Jantsch
, Z. R.
Wasilewski
, S.
Porowski
, and C.
Skierbiszewski
, J. Cryst. Growth
310
, 3983
(2008
).8.
R.
Averbeck
and H.
Riechert
, Phys. Status Solidi A
176
, 301
(1999
).9.
J. B.
MacChesney
, P. M.
Bridenbaugh
, and P. B.
OConner
, Mater. Res. Bull
5
, 783
(1970
).10.
O.
Ambacher
, M. S.
Brandt
, R.
Dimitrov
, T.
Metzger
, M.
Stutzmann
, R. A.
Fischer
, A.
Miehr
, A.
Bergmaier
, and G.
Dollinger
, J. Vac. Sci. Technol. B
14
, 3532
(1996
).11.
C. S.
Gallinat
, G.
Koblmuller
, J. S.
Brown
, and J. S.
Speck
, J. Appl. Phys.
102
, 064907
(2007
).12.
13.
A.
Yoshikawa
, S. B.
Che
, W.
Yamaguchi
, H.
Saito
, X. Q.
Wang
, Y.
Ishitani
, and E. S.
Hwang
, Appl. Phys. Lett.
90
, 073101
(2007
).14.
N.
Grandjean
, J.
Massies
, F.
Semond
, S. Yu.
Karpov
, and R. A.
Talalaev
, Appl. Phys. Lett.
74
, 1855
(1999
).15.
W. K.
Burton
, N.
Cabrera
, and F. C.
Frank
, Philos. Trans. R. Soc. London
243
, 299
(1951
).16.
D. D.
Koleske
, S. R.
Lee
, G.
Thaler
, M. H.
Crawford
, M. E.
Coltrin
, and K. C.
Cross
, Appl. Phys. Lett.
97
, 071901
(2010
).17.
W.
Salejda
, M. H.
Tyc
, and M.
Just
, Algebraiczne Metody Rozwiazywania Rownania Schrodingera
(Wydawnictwo Naukowe PWN SA
, Warsaw
, 2002
), p. 29
.18.
U. M.
Christmas
, A. D.
Andreev
, and D. A.
Faux
, J. Appl. Phys.
98
, 073522
(2005
).19.
J.
Wu
, W.
Walukiewicz
, K. M.
Yu
, J. W.
Ager
, E. E.
Haller
Hai
Lu
, and W. J.
Schaff
, Appl. Phys. Lett.
80
, 4741
(2002
).20.
I.
Vurgaftman
and J. R.
Meyer
, J. Appl. Phys.
94
, 3675
(2003
).© 2011 American Vacuum Society.
2011
American Vacuum Society
You do not currently have access to this content.
