Exposure of an Al substrate to energetic Ga ions is found to result in enhanced growth rate of its nanochannels during a subsequent anodization process. Depending on the ion dose, the nanochannels in the pre-irradiated area exhibit different lengths. This interesting phenomenon is exploited by scanning a Ga focused ion beam over the desired area to facilitate the fabrication of arrays of anodic alumina nanochannels with custom-designed super-structure, which is based on the variation of channel length in different areas.

1.
H.
Masuda
and
K.
Fukuda
,
Science
268
,
1466
(
1995
).
2.
T. G.
Tsai
,
K. J.
Chao
,
X. J.
Guo
,
S. L.
Sung
,
C. N.
Wu
,
Y. L.
Wang
, and
H. C.
Shih
,
Adv. Mater. (Weinheim, Ger.)
9
,
1154
(
1997
).
3.
A. P.
Li
,
F.
Müller
,
A.
Bimer
,
K.
Nielsch
, and
U.
Gösele
,
Adv. Mater. (Weinheim, Ger.)
11
,
483
(
1999
).
4.
J.
Li
,
C.
Papadopoulos
, and
J.
Xu
,
Nature (London)
402
,
253
(
1999
).
5.
C.
Papadopoulos
,
A.
Rakitin
,
J.
Li
,
A. S.
Vedeneev
, and
J. M.
Xu
,
Phys. Rev. Lett.
85
,
3476
(
2000
).
6.
E. J.
Bae
,
W. B.
Choi
,
K. S.
Jeong
,
J. U.
Chu
,
G. S.
Park
,
S.
Song
, and
I. K.
Yoo
,
Adv. Mater. (Weinheim, Ger.)
14
,
277
(
2002
).
7.
R. Z.
Chen
,
D. S.
Xu
,
G. L.
Guo
, and
L. L.
Gui
,
J. Mater. Chem.
12
,
2435
(
2002
).
8.
G.
Sauer
,
G.
Brehm
,
S.
Schneider
,
K.
Nielsch
,
R. B.
Wehrspohn
,
J.
Choi
,
H.
Hofmeister
, and
U.
Gösele
,
J. Appl. Phys.
91
,
3243
(
2002
).
9.
M. N.
Lin
,
C. Y.
Liu
,
N. W.
Liu
,
M. Y.
Lai
,
C. Y.
Peng
,
H. H.
Wang
,
Y. L.
Wang
, and
M. T.
Lin
,
Nanotechnology
17
,
315
(
2006
).
10.
H. H.
Wang
,
C. Y.
Liu
,
S. B.
Wu
,
N. W.
Liu
,
C. Y.
Peng
,
T. H.
Chan
,
C. F.
Hsu
,
J. W.
Wang
, and
Y. L.
Wang
,
Adv. Mater. (Weinheim, Ger.)
18
,
491
(
2006
).
11.
A. P.
Li
,
F.
Müller
,
A.
Birner
,
K.
Nielsch
, and
U.
Gösele
,
J. Appl. Phys.
84
,
6023
(
1998
).
12.
H. D. L.
Lira
and
R.
Paterson
,
J. Membr. Sci.
206
,
375
(
2002
).
13.
O.
Jessensky
,
F.
Müller
, and
U.
Gösele
,
Appl. Phys. Lett.
72
,
1173
(
1998
).
14.
F.
Li
,
L.
Zhang
, and
R. M.
Metzger
,
Chem. Mater.
10
,
2470
(
1998
).
15.
H.
Masuda
,
H.
Yamada
,
M.
Satoh
, and
H.
Asoh
,
Appl. Phys. Lett.
71
,
2770
(
1997
).
16.
C. Y.
Liu
,
A.
Datta
, and
Y. L.
Wang
,
Appl. Phys. Lett.
78
,
120
(
2001
).
17.
Z.
Sun
and
H. K.
Kima
,
Appl. Phys. Lett.
81
,
3458
(
2002
).
18.
N. W.
Liu
,
A.
Datta
,
C. Y.
Liu
, and
Y. L.
Wang
,
Appl. Phys. Lett.
82
,
1281
(
2003
).
19.
S.
Fournier-Bidoz
,
V.
Kitaev
,
D.
Routkevitch
,
I.
Manners
, and
G. A.
Ozin
,
Adv. Mater. (Weinheim, Ger.)
16
,
2193
(
2004
).
20.
N. W.
Liu
,
A.
Datta
,
C. Y.
Liu
,
C. Y.
Peng
,
H. H.
Wang
, and
Y. L.
Wang
,
Adv. Mater. (Weinheim, Ger.)
17
,
222
(
2005
).
21.
J.
Choi
,
K.
Nielsch
,
M.
Reiche
,
R. B.
Wehrspohn
, and
U.
Gösele
,
J. Vac. Sci. Technol. B
21
,
763
(
2003
).
22.
H.
Oshima
,
H.
Kikuchi
,
H.
Nakao
,
K. I.
Itoh
,
T.
Kamimura
,
T.
Morikawa
,
K.
Matsumoto
,
T.
Umada
,
H.
Tamura
,
K.
Nishio
, and
H.
Masuda
,
Appl. Phys. Lett.
91
,
022508
(
2007
).
23.
J. M.
Woodall
, Making of Hydrogen from Aluminum, http://hydrogen.ecn.purdue.edu/.
24.
D. O.
Flamini
,
S. B.
Saidman
, and
J. B.
Bessone
,
Corros. Sci.
48
,
1413
(
2006
).
25.
J. F.
Zeigler
and
J. P.`
Biersack
, SRIM (TRIM 90) Simulation package, IBM Research, 28–024 Yorktown, NY, 10598 (
1995
).
26.
C. Y.
Liu
,
A.
Datta
,
N. W.
Liu
,
C. Y.
Peng
, and
Y. L.
Wang
,
Appl. Phys. Lett.
84
,
2509
(
2004
).
27.
C. M. S.
Sotomayor Torres
,
S.
Zankovych
,
J.
Seekamp
,
A. P.
Kam
,
C. C.
Cedeño
,
T.
Hoffmann
,
J.
Ahopelto
,
F.
Reuther
,
K.
Pfeiffer
,
G.
Bleidiessel
,
G.
Gruetzner
,
M. V.
Maximov
, and
B.
Heidari
,
Mater. Sci. Eng., C
23
,
23
(
2003
).
28.
H. H.
Lee
,
K. S.
Chou
, and
K. C.
Huang
,
Nanotechnology
16
,
2436
(
2005
).
29.
H. S.
Koo
,
M.
Chen
,
P. C.
Pan
,
L. T.
Chou
,
F. M.
Wu
,
S. J.
Chang
, and
T.
Kawai
,
Displays
27
,
124
(
2006
).
You do not currently have access to this content.