1.
B.
Ilic
,
D.
Czaplewski
,
H. G.
Craighead
,
P.
Neuzil
,
C.
Campagnolo
, and
C.
Batt
,
Appl. Phys. Lett.
77
,
450
(
2000
).
2.
A.
Erbe
,
R. H.
Blick
,
A.
Tilke
,
A.
Kriele
, and
J. P.
Kotthaus
,
Appl. Phys. Lett.
73
,
3751
(
1998
).
3.
Kuo-Shen
Chen
,
A. A.
Ayon
,
Xin
Zhang
, and
S. M.
Spearing
,
J. Microelectromech. Syst.
11
,
264
(
2002
).
4.
S.
Grigoropoulos
,
E.
Gogolides
,
A. D.
Tserepi
, and
A. G.
Nassiopoulos
,
J. Vac. Sci. Technol. B
15
,
640
(
1997
).
5.
R.
Legtenberg
,
H.
Jansen
,
M.
de Boer
, and
M.
Elwenspoek
,
J. Electrochem. Soc.
142
,
2020
(
1995
).
6.
M. J.
de Boer
,
J. G. E.
Gardeniers
,
H. V.
Jansen
,
E.
Smulders
,
M.-J.
Gilde
,
G.
Roelofs
,
J. N.
Sasserath
, and
M.
Elwenspoek
,
J. Microelectromech. Syst.
11
,
385
(
2002
).
7.
R.
Dussart
 et al,
J. Micromech. Microeng.
14
,
190
(
2004
).
8.
V.
Grigaliunas
,
V.
Kopustinskas
,
S.
Meskinis
,
M.
Margelevicius
,
I.
Mikulskas
, and
R.
Tomasiunas
,
Opt. Mater. (Amsterdam, Neth.)
17
,
15
(
2001
).
10.
J.
Blake
, in
Encyclopedia of Physical Science and Technology
, 3rd ed., edited by
R.
Meyers
(
Academic
,
New York
,
2002
), Vol.
14
, pp.
805
813
.
12.
D. W.
Carr
and
H. G.
Craighead
,
J. Vac. Sci. Technol. B
15
,
2760
(
1997
).
You do not currently have access to this content.