It has been shown that glancing angle deposition (GLAD) coupled with a prefabricated seed layer can be used to fabricate periodic microstructures. In this article, we show that the column competition effects inherent within aperiodic GLAD films can be delayed in periodic films due to the tendency of the film to achieve a preferred density at a given flux incidence angle. This technique, coupled with the use of the three-dimensional ballistic simulator, may allow for the design and use of periodic GLAD microstructures in such applications as magnetic pillars and three-dimensional photonic crystals.

1.
K.
Robbie
and
M. J.
Brett
,
J. Vac. Sci. Technol. A
15
,
1460
(
1997
).
2.
K.
Robbie
,
J. C.
Sit
, and
M. J.
Brett
,
J. Vac. Sci. Technol. B
16
,
1115
(
1998
).
3.
T.
Motohiro
and
Y.
Taga
,
Appl. Opt.
28
,
2466
(
1989
).
4.
K.
Robbie
,
L. J.
Friedrich
,
S. K.
Dew
,
T.
Smy
, and
M. J.
Brett
,
J. Vac. Sci. Technol. A
13
,
1032
(
1995
).
5.
K.
Robbie
,
M. J.
Brett
, and
A.
Lakhtakia
,
J. Vac. Sci. Technol. A
13
,
2991
(
1995
).
6.
K.
Robbie
,
M. J.
Brett
, and
A.
Lakhtakia
,
Nature (London)
384
,
616
(
1996
).
7.
K.
Robbie
,
C.
Shafair
, and
M. J.
Brett
,
J. Mater. Res.
14
,
3158
(
1999
).
8.
R.
Messier
,
T.
Gehrke
,
C.
Frankel
,
V. C.
Venugopal
,
W.
Otano
, and
A.
Lakhtakia
,
J. Vac. Sci. Technol. A
15
,
2148
(
1997
).
9.
R. B.
Meyer
,
Phys. Rev. Lett.
22
,
918
(
1969
).
10.
H. L.
Ong
and
R. B.
Meyer
,
J. Opt. Soc. Am.
73
,
167
(
1983
).
11.
S. R.
Kennedy
,
M. J.
Brett
,
O.
Toader
, and
S.
John
,
Nano Lett.
2
,
59
(
2002
).
12.
M.
Suzuki
and
Y.
Taga
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
40
,
L258
(
2001
).
13.
A.
Lakhtakia
and
W. S.
Weiglhofer
,
Proc. R. Soc. London, Ser. A
448
,
419
(
1995
).
14.
R.
Azzam
,
Appl. Phys. Lett.
61
,
3118
(
1992
).
15.
K. Robbie and M. J. Brett, U.S. Patent No. 5,866,204 (2 February 1999).
16.
K. Robbie and M. J. Brett, U.S. Patent No. 6,206,065 (27 March 2001).
17.
K. Robbie and M. J. Brett, U.S. Patent No. 6,248,422 (19 June 2001).
18.
A. T.
Wu
and
M. J.
Brett
,
Sens. Mater.
13
,
399
(
2001
).
19.
K. D.
Harris
,
J. R.
McBride
,
K. E.
Nietering
, and
M. J.
Brett
,
Sens. Mater.
13
,
225
(
2001
).
20.
M.
Suzuki
,
T.
Ito
, and
Y.
Taga
,
Appl. Phys. Lett.
78
,
3968
(
2001
).
21.
J. C.
Sit
,
D. J.
Broer
, and
M. J.
Brett
,
Liq. Cryst.
27
,
387
(
2000
).
22.
K. D.
Harris
,
M. J.
Brett
,
T. J.
Smy
, and
C.
Backhouse
,
J. Electrochem. Soc.
147
,
2002
(
2000
).
23.
M.
Seto
,
K.
Westra
, and
M. J.
Brett
,
J. Mater. Chem.
12
,
2348
(
2002
).
24.
D.
Vick
,
T.
Smy
,
B.
Dick
,
S.
Kennedy
, and
M. J.
Brett
,
Mater. Res. Soc. Symp. Proc.
648
,
P3
.
43
(
2001
).
25.
B. A.
Orlowski
,
W. E.
Spicer
, and
A. D.
Baer
,
Thin Solid Films
34
,
31
(
1976
).
26.
R. N.
Tait
,
T.
Smy
, and
M. J.
Brett
,
Thin Solid Films
226
,
196
(
1993
).
27.
T.
Smy
,
D.
Vick
,
M. J.
Brett
,
S. K.
Dew
,
A. T.
Wu
,
J. C.
Sit
, and
K. D.
Harris
,
J. Vac. Sci. Technol. A
18
,
2507
(
2000
).
28.
D. K.
Pandya
,
A. C.
Rastogi
, and
K. L.
Chopra
,
J. Appl. Phys.
46
,
2966
(
1975
).
29.
F.
Liu
,
M. T.
Umlor
,
L.
Shen
,
J.
Weston
,
W.
Eads
,
J. A.
Barnard
, and
G. J.
Mankey
,
J. Appl. Phys.
85
,
5486
(
1999
).
30.
F.
Liu
,
C.
Yu
,
L.
Shen
,
J.
Barnard
, and
G. J.
Mankey
,
IEEE Trans. Magn.
36
,
2939
(
2000
).
31.
B.
Dick
,
M. J.
Brett
,
T.
Smy
,
M.
Belov
, and
M. R.
Freeman
,
J. Vac. Sci. Technol. B
19
,
1813
(
2001
).
32.
M.
Malac
,
R. F.
Egerton
,
M. J.
Brett
, and
B.
Dick
,
J. Vac. Sci. Technol. B
17
,
2671
(
1999
).
33.
T. A.
Savas
,
M.
Farhoud
,
H. I.
Smith
,
M.
Hwang
, and
C. A.
Ross
,
J. Appl. Phys.
85
,
6160
(
1999
).
34.
B.
Dick
,
J. C.
Sit
,
M. J.
Brett
,
I. M. N.
Votte
, and
C. W. M.
Bastiaansen
,
Nano Lett.
1
,
71
(
2001
).
35.
B.
Dick
,
M. J.
Brett
,
T. J.
Smy
,
M. R.
Freeman
,
M.
Malac
, and
R. F.
Egerton
,
J. Vac. Sci. Technol. A
18
,
1838
(
2000
).
36.
T.
Smy
,
D.
Vick
,
M. J.
Brett
,
S. K.
Dew
,
A. T.
Wu
,
J. C.
Sit
, and
K. D.
Harris
,
J. Vac. Sci. Technol. A
18
,
2507
(
2000
).
37.
R. N.
Tait
,
S. K.
Dew
,
W.
Tsai
,
D.
Hodul
,
T.
Smy
, and
M. J.
Brett
,
J. Vac. Sci. Technol. B
14
,
679
(
1996
).
38.
S. M.
Rossnagel
,
D.
Mikalsen
,
H.
Kinoshita
, and
J. J.
Cuomo
,
J. Vac. Sci. Technol. A
9
,
261
(
1991
).
39.
S. M.
Rossnagel
and
J.
Hopwood
,
Appl. Phys. Lett.
63
,
3285
(
1993
).
40.
J. N.
Broughton
,
M. J.
Brett
,
S. K.
Dew
, and
G.
Este
,
IEEE Trans. Semicond. Manuf.
9
,
122
(
1996
).
41.
J. C.
Sit
,
D.
Vick
,
K.
Robbie
, and
M. J.
Brett
,
J. Mater. Res.
14
,
1197
(
1999
).
This content is only available via PDF.
You do not currently have access to this content.