The recent development in the field of superhard materials with Vickers hardness of ⩾40 GPa is reviewed. Two basic approaches are outlined including the intrinsic superhard materials, such as diamond, cubic boron nitride, C3N4, carbonitrides, etc. and extrinsic, nanostructured materials for which superhardness is achieved by an appropriate design of their microstructure. The theoretically predicted high hardness of C3N4 has not been experimentally documented so far. Ceramics made of cubic boron nitride prepared at high pressure and temperature find many applications whereas thin films prepared by activated deposition from the gas phase are still in the stage of fundamental development. The greatest progress has been achieved in the field of nanostructured materials including superlattices and nanocomposites where superhardness of ⩾50 GPa was reported for several systems. More recently, nc-TiN/SiNx nanocomposites with hardness of 105 GPa were prepared, reaching the hardness of diamond. The principles of design for these materials are summarized and some unresolved questions outlined.

1.
W. Schedler, Hartmetall für den Praktiker (VDI, Düsseldorf, 1988).
2.
Metals Handbook, 10th ed., edited by J. R. Davis, P. Allen, S. R. Lampman et al., (ASM International, Metals Park, OH, 1990), Vol. 2, pp. 950 ff.
3.
T.
Cselle
and
A.
Barimani
,
Surf. Coat. Technol.
76–77
,
712
(
1995
).
4.
Phase Diagrams of Ternary Boron Nitride and Silicon Nitride Systems, edited by P. Rogl and J. C. Schuster (ASM International, Metals Park, OH, 1992).
5.
J. S.
Koehler
,
Phys. Rev. B
2
,
547
(
1970
).
6.
S.
Vepřek
,
M.
Haussmann
,
S.
Reiprich
,
L.
Shizhi
, and
J.
Dian
,
Surf. Coat. Technol.
86–87
,
394
(
1996
).
7.
D. Tabor, The Hardness of Metals (Clarendon, Oxford, 1951).
8.
C.-M.
Sung
and
M.
Sung
,
Mater. Chem. Phys.
43
,
1
(
1996
).
9.
R. W. Hertzberg, Deformation and Fracture Mechanics of Engineering Materials, 3rd ed. (Wiley, New York, 1989).
10.
M. L.
Cohen
,
Phys. Rev. B
32
,
7988
(
1985
).
11.
A. Y.
Liu
and
M. L.
Cohen
,
Science
245
,
841
(
1989
).
12.
M. L.
Cohen
,
Solid State Commun.
92
,
45
(
1994
).
13.
M. L.
Cohen
,
Mater. Sci. Eng., A
209
,
1
(
1996
).
14.
S.
Vepřek
,
J.
Weidemann
, and
F.
Glatz
,
J. Vac. Sci. Technol. A
13
,
2914
(
1995
).
15.
Y.
Zhang
,
Z.
Zhou
, and
H.
Li
,
Appl. Phys. Lett.
68
,
634
(
1996
).
16.
Y. Zhang (private communication, 1997).
17.
Y.
Chen
,
L.
Guo
, and
E. G.
Wang
,
Mod. Phys. Lett. B
10
,
615
(
1996
).
18.
Y.
Chen
,
L.
Guo
, and
E. G.
Wang
,
J. Phys.: Condens. Mater.
8
,
685
(
1996
).
19.
Y.
Chen
,
L.
Guo
, and
E. G.
Wang
,
Philos. Mag. Lett.
75
,
155
(
1997
).
20.
D. J.
Johnson
,
Y.
Chen
,
Y.
He
, and
R. H.
Prince
,
Diamond Relat. Mater.
6
,
1799
(
1997
).
21.
E. C.
Cutiongco
,
D.
Li
,
Y.-W.
Chung
, and
C. S.
Bhatia
,
J. Tribol.
118
,
543
(
1996
).
22.
A.
Khurshudov
,
K.
Kato
, and
S.
Daisuke
,
J. Vac. Sci. Technol. A
14
,
2935
(
1996
).
23.
X.
Yun
,
R. C.
Hsiao
, and
D. B.
Bogy
,
IEEE Trans. Magn.
33
,
938
(
1997
).
24.
R. C.
Hsiao
,
D. B.
Bodgy
, and
C. S.
Bhatia
,
IEEE Trans. Magn.
34
,
1720
(
1998
).
25.
R. D.
Ott
,
T. W.
Scharf
,
D.
Yang
, and
J. A.
Barnard
,
IEEE Trans. Magn.
34
,
1735
(
1998
).
26.
Y. K.
Yap
,
S.
Kida
,
T.
Aoyama
,
Y.
Mori
, and
T.
Sasaki
,
Appl. Phys. Lett.
73
,
915
(
1998
).
27.
M. Y.
Cheng
and
P. T.
Murray
,
J. Vac. Sci. Technol. A
16
,
2093
(
1998
).
28.
Y. F.
Lu
,
Z. M.
Ren
,
W. D.
Song
, and
D. S. H.
Chan
,
J. Appl. Phys.
84
,
2133
(
1998
).
29.
R.
Soto
,
P.
Gonzáles
,
X.
Redondas
,
E. G.
Parada
,
J.
Pou
,
B.
León
,
M.
Pérez-Amor
,
M. F.
da Silvia
, and
J. C.
Soares
,
Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B
136–138
,
236
(
1998
).
30.
I. N.
Mihailescu
,
E.
Gyorgy
,
R.
Alexandrescu
,
A.
Luches
,
A.
Perrone
,
C.
Ghica
,
J.
Werckmann
,
I.
Cojocaru
, and
V.
Chumash
,
Thin Solid Films
323
,
72
(
1998
).
31.
X. Q.
Meng
,
Z. H.
Zhang
,
H. X.
Guo
,
A. G.
Li
, and
X. J.
Fan
,
Solid State Commun.
107
,
75
(
1998
).
32.
O.
Takai
,
Y.
Taki
, and
T.
Kitagawa
,
Thin Solid Films
317
,
380
(
1998
).
33.
E. Q.
Xie
,
Y. F.
Jin
,
Z. G.
Wang
, and
D. Y.
He
,
Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B
135
,
224
(
1998
).
34.
J.
Hartmann
,
M.
Schreck
,
T.
Baur
,
H.
Huber
,
W.
Assmann
,
H.
Schuler
,
B.
Strizker
, and
B.
Rauschenbach
,
Diamond Relat. Mater.
7
,
899
(
1998
).
35.
G.
Dinescu
,
E.
Aldea
,
G.
Musa
,
M. C. M.
van de Sanden
,
A.
de Graaf
,
C.
Ghica
,
M.
Gartner
, and
A.
Andrei
,
Thin Solid Films
325
,
123
(
1998
).
36.
H.
Oechsner
,
J. Vac. Sci. Technol. A
16
,
1956
(
1998
).
37.
Y. K.
Yap
,
S.
Kida
,
T.
Aoyama
,
Y.
Mori
, and
T.
Sasaki
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
37
,
L746
(
1998
).
38.
L. C.
Chen
,
T. R.
Lu
,
C. T.
Kuo
,
D. M.
Bushari
,
J. J.
Wu
,
K. H.
Chen
, and
T. M.
Chen
,
Appl. Phys. Lett.
72
,
3449
(
1998
).
39.
C.-Y.
Hsu
and
F.C.-N.
Hong
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
37
,
L675
(
1998
).
40.
A.
Czyzniewski
,
W.
Precht
,
M.
Pancielejko
,
P.
Myslinski
, and
W.
Walkowiak
,
Thin Solid Films
317
,
384
(
1998
).
41.
L.
Nobili
,
P. L.
Cavallotti
,
G.
Coccia Lecis
,
G.
De Ponti
, and
C.
Lenardi
,
Thin Solid Films
317
,
359
(
1998
).
42.
S.
Yoshida
,
T.
Itoh
,
N.
Takada
,
S.
Nitta
, and
S.
Nonomura
,
J. Non-Cryst. Solids
227–230
,
650
(
1998
).
43.
X.-A.
Zhao
,
C. W.
Omg
,
Y. C.
Tsang
,
K. F.
Chan
,
C. L.
Choy
,
P. W.
Chan
, and
R. W. M.
Kwok
,
Thin Solid Films
322
,
245
(
1998
).
44.
A.
Wei
,
D.
Chen
,
N.
Ke
,
S.
Peng
, and
S. P.
Wong
,
Thin Solid Films
323
,
217
(
1998
).
45.
N.
Tsubouchi
,
Y.
Horino
,
B.
Enders
,
A.
Chayahara
,
A.
Kinomura
, and
K.
Fujii
,
Mater. Chem. Phys.
54
,
325
(
1998
).
46.
J. M.
Méndez
,
A.
Gaona-Cuoto
,
E.
Andrade
,
J. C.
Pineda
,
E. P.
Zavala
, and
S.
Muhl
,
Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B
136–138
,
231
(
1998
).
47.
E. J.
Chi
,
J. Y.
Shim
,
D. J.
Choi
, and
H. K.
Baik
,
J. Vac. Sci. Technol. B
16
,
1219
(
1998
).
48.
S. S.
Todorov
,
D.
Marton
,
K. J.
Boyd
,
A. H.
Al-Bayati
, and
J. W.
Rabalais
,
J. Vac. Sci. Technol. A
12
,
3192
(
1994
).
49.
D.
Marton
,
K. J.
Boyd
, and
W.
Rabalais
,
Int. J. Mod. Phys. B
9
,
3527
(
1995
).
50.
S. C.
De Vries
,
Diamond Relat. Mater.
4
,
1093
(
1995
).
51.
C.-Z.
Wang
,
E.-G.
Wang
, and
Q.
Dai
,
J. Appl. Phys.
83
,
1975
(
1998
).
52.
C.
Ronning
,
H.
Feldermann
,
R.
Merk
,
H.
Hpfsäss
,
P.
Rienke
, and
J.-U.
Thiele
,
Phys. Rev. B
58
,
2207
(
1998
).
53.
B. L.
Korsounskii
and
V. I.
Pepekin
,
Russ. Chem. Rev.
66
,
901
(
1997
).
54.
D.
He
,
F.
Zhang
,
X.
Zhang
,
M.
Zhang
,
R.
Liu
,
Y.
Xu
, and
W.
Wang
,
Sci. China, Ser. A
41
,
405
(
1998
).
55.
D.
Li
,
E.
Cutiongco
,
Y.-W.
Chung
,
M.-S.
Wong
, and
W. D.
Sproul
,
Diamond Films Technol.
5
,
261
(
1995
).
56.
M. R.
Wixom
,
J. Am. Ceram. Soc.
73
,
1973
(
1990
).
57.
H.
Sjöström
,
S.
Stafström
,
M.
Boman
, and
J.-E.
Sundgren
,
Phys. Rev. Lett.
75
,
1336
(
1995
);
H.
Sjöström
,
S.
Stafström
,
M.
Boman
, and
J.-E.
Sundgren
,
Phys. Rev. Lett.
76
,
2205
(
1996
).
58.
H.
Sjöström
,
L.
Hultman
,
J.-E.
Sundgren
,
S. V.
Hainsworth
,
T. F.
Page
, and
G. S. A. M.
Theunissen
,
J. Vac. Sci. Technol. A
14
,
56
(
1996
).
59.
W. T.
Zheng
,
H.
Sjöström
,
I.
Ivanov
,
K. Z.
Xing
,
E.
Broitman
,
W. R.
Salaneck
,
J. E.
Greene
, and
J.-E.
Sundgren
,
J. Vac. Sci. Technol. A
14
,
2695
(
1996
).
60.
E.
Broitman
,
W. T.
Zheng
,
H.
Sjöström
,
I.
Ivanov
,
J. E.
Greene
, and
J.-E.
Sundgren
,
Appl. Phys. Lett.
72
,
2532
(
1998
).
61.
N.
Hellgren
,
M. P.
Johansson
,
E.
Broitman
,
L.
Hultman
, and
J.-E.
Sundgren
,
Phys. Rev. B
59
,
5162
(
1999
).
62.
Ch. Kittel, Introduction in Solid State Physics (Wiley, New York, 1971).
63.
E. Hornbogen and H. Warlimont, Metallkunde (Springer, Berlin, 1996).
64.
A. Kelly and N. H. MacMillan, Strong Solids, 3rd ed. (Clarendon, Oxford, 1986).
65.
K. G. Schmitt-Thomas, Metallkunde für das Maschinenwesen (Springer, Berlin, 1990), Vols. I and II.
66.
M. F.
Doerner
and
W. D.
Nix
,
J. Mater. Res.
1
,
601
(
1986
).
67.
H.-H.
Behnke
,
Härteri Technische. Mitteilungen
48
,
3
(
1993
).
68.
P.
Neumaier
,
Metalloberfläche
2
,
41
(
1989
).
69.
T. F.
Page
and
S. V.
Hainsworth
,
Surf. Coat. Technol.
61
,
201
(
1993
).
70.
G. M.
Pharr
,
W. C.
Oliver
, and
F. R.
Brotzen
,
J. Mater. Res.
7
,
613
(
1992
);
W. C.
Oliver
and
G. M.
Pharr
J. Mater. Res.
7
,
1564
(
1992
).
71.
G. M.
Pharr
,
Mater. Sci. Eng., A
253
,
151
(
1998
).
72.
A. Niederhofer, P. Nesladek, and S. Vepřek (unpublished).
73.
D. A.
Dietrich
and
B.
Rother
,
Materialprüfung
37
,
9
(
1995
).
74.
S. Vepřek, in Hard Ceramic Materials, edited by R. Riedel (Wiley–VCH, Weinhein, in press).
75.
S.
Vepřek
,
Thin Solid Films
317
,
449
(
1998
).
76.
S.
Vepřek
,
A.
Niederhofer
,
P.
Nesladek
, and
F.
Glatz
,
Electrochem. Soc. Proc.
97-25
,
317
(
1997
).
77.
S.
Vepřek
,
P.
Nesladek
,
A.
Niederhofer
,
F.
Glatz
,
M.
Jilek
, and
M.
Sima
,
Surf. Coat. Technol.
108/109
,
138
(
1998
).
78.
I. M.
Hutchings
,
Tribol. Int.
31
,
5
(
1998
).
79.
K.
Tanaka
,
J. Mater. Sci.
22
,
1501
(
1987
).
80.
C. B.
Poton
and
R. D.
Rawlings
,
Mater. Sci. Technol.
5
,
865
(
1989
).
81.
P.
Chantikul
,
G. R.
Anstis
,
B. R.
Lawn
, and
D. B.
Marshall
,
J. Am. Ceram. Soc.
64
,
533
(
1981
);
P.
Chantikul
,
G. R.
Anstis
,
B. R.
Lawn
, and
D. B.
Marshall
,
J. Am. Ceram. Soc.
64
,
539
(
1981
).
82.
A. Niederhofer, K. Moto, P. Nesladek, and S.Vepřek, Phys. Rev. B (submitted).
83.
B.
Rother
and
D. A.
Dietrich
,
Phys. Status Solidi A
142
,
389
(
1994
).
84.
B.
Rother
,
J. Mater. Sci.
30
,
5394
(
1995
).
85.
B.
Rother
,
Mat. -wiss. u. Werkstofftech
26
,
477
(
1995
).
86.
B.
Rother
,
Mat. -wiss. u. Werkstofftech.
27
,
487
(
1996
).
87.
K.-Th. Wilke and J. Bohm, Kristallzüchtung (Deutsch, Frankfurt/Main, 1988).
88.
N. N. Greenwood and A. Earnshaw, Chemistry of the Elements (Pergamon, Oxford, 1984) German Translation (VCH, Weinheim, 1990).
89.
K. Nassau, Gemstone Enhancement, 2nd ed. (Butterworth-Heineman, Oxford, 1994).
90.
G. B.
Bokii
,
N. F.
Kirova
, and
V. I.
Nepsha
,
Sov. Phys. Dokl.
24
,
83
(
1979
).
91.
R. H.
Wentorf
,
Chem. Eng.
68
,
177
(
1961
).
92.
L.
Vel
,
G.
Demazeau
, and
J.
Etourneau
,
Mater. Sci. Eng., B
10
,
149
(
1991
).
93.
K.
Albe
,
Phys. Rev. B
55
,
6203
(
1997
).
94.
J. E.
Buttler
and
H.
Windischmann
,
MRS Bull.
23
,
22
(
1998
).
95.
W. G. Eversole, U.S. Patent Nos. 3,030,187 and
3,030,188 (1962).
96.
J. C.
Angus
,
H. A.
Will
, and
W. S.
Stanko
,
J. Appl. Phys.
39
,
2915
(
1968
).
97.
D. J.
Poferl
,
N. C.
Gardner
, and
J. C.
Angus
,
J. Appl. Phys.
44
,
1428
(
1973
).
98.
S. P.
Chauhan
,
J. C.
Angus
, and
N. C.
Gardner
,
J. Appl. Phys.
47
,
4746
(
1976
).
99.
B. V.
Deryagin
,
L. L.
Builov
,
V. M.
Zubkov
,
A. A.
Kochergina
, and
D. V.
Fedoseev
,
Sov. Phys. Crystallogr.
14
,
449
(
1969
).
100.
B. V.
Deryagin
and
D. V.
Fedoseev
,
Russ. Chem. Rev.
39
,
783
(
1970
).
101.
B. V.
Deryagin
and
D. V.
Fedoseev
,
Sci. Am.
233
,
102
(
1975
).
102.
H.
Schmellenmeier
,
Exp. Tech. Phys. (Berlin)
1
,
49
(
1953
).
103.
H.
Schmellenmeier
,
Z. Phys. Chem. (Leipzig)
205
,
349
(
1956
).
104.
S.
Aeisenberg
and
R.
Chabot
,
J. Appl. Phys.
42
,
2953
(
1971
).
105.
S.
Aeisenberg
and
R.
Chabot
,
J. Vac. Sci. Technol.
10
,
104
(
1973
).
106.
E. G.
Spencer
,
P. H.
Schmidt
,
P. H.
Joy
, and
F. J.
Sansalone
,
Appl. Phys. Lett.
29
,
118
(
1976
).
107.
V. E.
Strelnitskii
,
I. I.
Aksenov
,
S. I.
Vakula
, and
V.G.
Padakula
,
Sov. Phys. Tech. Phys.
23
,
222
(
1978
).
108.
P.
Bachmann
,
D.
Leers
, and
H.
Lydtin
,
Diamond Relat. Mater.
1
,
1
(
1991
).
109.
D. M.
Gruen
,
MRS Bull.
23
,
32
(
1998
).
110.
A. R.
Patel
and
K. A.
Cherian
,
Indian J. Pure Appl. Phys.
19
,
803
(
1981
).
111.
MRS Bull.
23
,
16
(
1998
).
112.
T.
Yoshida
,
Diamond Relat. Mater.
5
,
501
(
1996
).
113.
S.
Ulrich
,
J.
Scherer
,
J.
Schwan
,
I.
Barzen
,
K.
Jung
, and
H.
Erhard
,
Diamond Relat. Mater.
4
,
288
(
1995
).
114.
M.
Sueda
,
T.
Kobayashi
,
T.
Rokkaku
,
M.
Ogawa
,
T.
Watanabe
, and
S.
Morimoto
,
J. Vac. Sci. Technol. A
16
,
3287
(
1998
).
115.
L.
Holland
and
S. M.
Ojha
,
Thin Solid Films
38
,
L17
(
1976
).
116.
S. M.
Ojha
and
L.
Holland
,
Thin Solid Films
40
,
L31
(
1977
).
117.
S. M. Ojha and L. Holland, Proceedings of the 7th International Vacuum Congress and 3rd International Conference on Solid Surfaces, Vienna, 1977, edited by R. Dobrozemsky, F. Rüdenauer, F. P. Viehböck, and A. Breth (F. Berger & Söhue, Horu, Austria, 1997), p. 1667.
118.
L. P.
Anderson
and
S.
Berg
,
Vacuum
28
,
449
(
1978
).
119.
S.
Berg
and
L. P.
Anderson
,
Thin Solid Films
58
,
117
(
1979
).
120.
T. J.
Moravec
,
Thin Solid Films
70
,
L9
(
1980
).
121.
K.
Enke
,
H.
Dimigen
, and
H.
Hubsch
,
Appl. Phys. Lett.
36
,
291
(
1980
).
122.
C.
Weissmantel
,
Thin Solid Films
58
,
101
(
1979
).
123.
C.
Weissmantel
,
J. Vac. Sci. Technol.
18
,
179
(
1981
).
124.
A.
Bubenzer
,
B.
Dischler
,
G.
Brandt
, and
P.
Koidl
,
J. Appl. Phys.
54
,
4590
(
1983
).
125.
B.
Dischler
,
A.
Bubenzer
, and
P.
Koidl
,
Appl. Phys. Lett.
42
,
636
(
1983
).
126.
J.
Robertson
,
Pure Appl. Chem.
66
,
1789
(
1994
).
127.
J.
Robertson
,
Diamond Relat. Mater.
3
,
361
(
1994
).
128.
A. A.
Voevodin
and
M. S.
Donley
,
Surf. Coat. Technol.
82
,
199
(
1996
).
129.
W.
Jacobs
,
Thin Solid Films
326
,
1
(
1998
).
130.
F.
Falk
,
J.
Meinschien
,
K.
Schuster
, and
H.
Stafast
,
Carbon
36
,
765
(
1998
).
131.
A. R. Badzian, T. Niemyski, and E. Olkusnik, in Proceedings of the 3rd International Conference on Chemical Vapor Deposition, (Salt Lake City, April 1972), edited by F. A. Galski, p. 747.
132.
A. R.
Badzian
,
MRS Bull.
16
,
1385
(
1981
).
133.
K.
Montasser
,
S.
Hattori
, and
S.
Morita
,
Thin Solid Films
117
,
311
(
1984
).
134.
K.
Montasser
,
S.
Morita
, and
S.
Hattori
,
Mater. Sci. Forum
54/55
,
295
(
1990
).
135.
R. A.
Levy
,
E.
Mastromatteo
,
J. M.
Grow
,
V.
Patari
, and
V. P.
Kuo
,
J. Mater. Res.
10
,
320
(
1995
).
136.
T. M.
Besmann
,
J. Am. Ceram. Soc.
73
,
2498
(
1990
).
137.
J.
Löffler
,
F.
Steinbach
,
J.
Bill
,
J.
Mayer
, and
F.
Aldinger
,
Z. Metallkd.
87
,
170
(
1996
).
138.
D.
Hegemann
,
R.
Riedel
,
W.
Dressler
,
C.
Oehr
,
B.
Schindler
, and
H.
Brunner
,
Adv. Mater. Chem. Vap. Deposition
3
,
257
(
1997
).
139.
D.
Hegemann
,
R.
Riedel
, and
C.
Oehr
,
Thin Solid Films
331
,
154
(
1999
).
140.
D.
Hegemann
,
R.
Riedel
, and
C.
Oehr
,
Adv. Mater., Chem. Vap. Deposition
5
,
61
(
1999
).
141.
N. N.
Sirota
,
M. M.
Zhuk
,
A. M.
Mazurenko
, and
A. I.
Olekhnovich
,
Vesti. Adak. Nauk BSSR, Ser. Fiz.-Mat. Nauk
2
,
111
(
1977
);
N. N.
Sirota
,
M. M.
Zhuk
,
A. M.
Mazurenko
, and
A. I.
Olekhnovich
,
Chem. Abstr.
87
,
59009j
(
1977
).
142.
A. K.
Butylenko
,
G. V.
Samsonov
,
I. I.
Timofeeva
, and
G.
Makarenko
,
Pis'ma Zh. Tekh. Fiz.
3
,
186
(
1977
);
A. K.
Butylenko
,
G. V.
Samsonov
,
I. I.
Timofeeva
, and
G.
Makarenko
,
Chem. Abstr.
86
,
175831z
(
1977
).
143.
S. Vepřek and M. Jurcik-Rajman, Proceedings of the 7th International Symposium on Plasma Chemistry, edited by J. Timmermans (Eindohoven University of Technology Press, Eindhoven, 1985), p. 90.
144.
S.
Vepřek
,
Plasma Chem. Plasma Process.
12
,
219
(
1992
).
145.
S.
Ulrich
,
T.
Theel
,
J.
Schwan
, and
H.
Erhardt
,
Surf. Coat. Technol.
97
,
45
(
1997
).
146.
R.
Riedel
,
Adv. Mater.
4
,
759
(
1992
).
147.
G.
Will
and
K. H.
Kossobutzki
,
J. Less-Common Met.
47
,
43
(
1976
).
148.
A.
Inoue
,
H. M.
Kimura
,
K.
Sasamori
, and
T.
Matsumoto
,
Japan. Inst. Metals Mater. Trans.
35
,
85
(
1994
).
149.
W.
Dressler
and
R.
Riedel
,
Int. J. Refract. Met. Hard Mater.
15
,
13
(
1997
).
150.
A.
Badzian
,
T.
Badzian
,
W. D.
Drawl
, and
R.
Roy
,
Diamond Relat. Mater.
7
,
1519
(
1998
).
151.
O.
Knotek
,
R.
Breidenbach
,
F.
Jungblut
, and
F.
Löffler
,
Surf. Coat. Technol.
43/44
,
107
(
1990
).
152.
O.
Knotek
and
F.
Löffler
,
J. Hard Mater.
3
,
29
(
1992
).
153.
S.
Vepřek
,
F.-A.
Sarott
, and
Z.
Iqbal
,
Phys. Rev. B
36
,
3344
(
1987
).
154.
H.
Oettel
,
R.
Wiedemann
, and
S.
Preissler
,
Surf. Coat. Technol.
74/75
,
273
(
1995
).
155.
W.
Herr
and
E.
Broszeit
,
Surf. Coat. Technol.
97
,
335
(
1997
).
156.
A. R.
Badzian
,
T.
Badzian
, and
L.
Pilione
,
Int. J. Refract. Met. Hard Mater.
9
,
92
(
1990
).
157.
A. R.
Badzian
,
Appl. Phys. Lett.
53
,
2495
(
1988
).
158.
T. Y.
Tsui
,
G. M.
Pharr
,
W. C.
Olivier
,
Y. W.
Chung
,
E. C.
Cutiongco
,
C. S.
Bhatia
,
R. L.
White
,
R. L.
Rhoades
, and
S. M.
Gorbatkin
,
Mater. Res. Soc. Symp. Proc.
356
,
767
(
1995
).
159.
H.
Holleck
,
J. Vac. Sci. Technol. A
4
,
2661
(
1986
).
160.
J. M.
Léger
,
J.
Haines
,
M.
Schmidt
,
J. P.
Petitet
,
A. S.
Fereira
, and
J. A. H.
da Jornada
,
Nature (London)
383
,
401
(
1996
).
161.
J. M.
Léger
and
B.
Blanzat
,
J. Mater. Sci. Lett.
13
,
1688
(
1994
).
162.
J.
Haines
and
J. M.
Léger
,
Phys. Rev. B
48
,
13344
(
1993
).
163.
U.
Lundin
,
L.
Fast
,
L.
Nordström
,
B.
Johansson
,
J. M.
Wills
, and
O.
Eriksson
,
Phys. Rev. B
57
,
4979
(
1998
).
164.
E. O.
Hall
,
Proc. Phys. Soc. London, Sect.
B64
,
747
(
1951
).
165.
N. J.
Petch
,
J. Iron Steel Inst., London
174
,
25
(
1953
).
166.
A.
Lasalmonie
and
J. L.
Strudel
,
J. Mater. Sci.
21
,
1837
(
1986
).
167.
E.
Arzt
,
Acta Mater.
46
,
5611
(
1998
).
168.
A. I.
Gusev
,
Usp. Fiz. Nauk
41
,
49
(
1998
).
169.
E. M.
Lehockey
,
G.
Palumbo
,
K. T.
Aust
,
U.
Erb
, and
P.
Lin
,
Scr. Mater.
39
,
341
(
1998
).
170.
N.
Hansen
,
Metall. Trans. A
16
,
2167
(
1985
).
171.
U. F.
Koks
,
Metall. Trans. A
1
,
1121
(
1970
).
172.
R. W.
Siegel
and
G. E.
Fougere
,
Mater. Res. Soc. Symp. Proc.
362
,
219
(
1995
).
173.
R. W.
Siegel
and
G. E.
Fougere
,
Nanostruct. Mater.
6
,
205
(
1995
).
174.
H.
Hahn
and
K. A.
Padmanabhan
,
Philos. Mag. B
76
,
559
(
1997
).
175.
S.
Yip
,
Nature (London)
391
,
532
(
1998
).
176.
J.
Schiotz
,
E. D.
Di Tolla
, and
K. W.
Jacobsen
,
Nature (London)
391
,
561
(
1998
).
177.
J. E.
Carsley
,
J.
Ning
,
W. W.
Milligan
,
S. A.
Hackney
, and
E. C.
Aifantis
,
Nanostruct. Mater.
5
,
441
(
1995
).
178.
A. H.
Chokshi
,
A.
Rosen
,
J.
Karch
, and
H.
Gleiter
,
Scr. Metall.
23
,
1679
(
1989
).
179.
G. W.
Nieman
,
J. R.
Weertman
, and
R. W.
Siegel
,
Scr. Metall.
23
,
2013
(
1989
).
180.
J. S. C.
Jang
and
C. C.
Koch
,
Scr. Metall. Mater.
24
,
1599
(
1990
).
181.
K.
Lu
,
W. D.
Wie
, and
J. T.
Wang
,
Scr. Metall. Mater.
24
,
2319
(
1990
).
182.
G. W.
Nieman
,
J. R.
Weertman
, and
R. W.
Siegel
,
Scr. Metall. Mater.
24
,
145
(
1990
).
183.
G. W.
Nieman
,
J. R.
Weertman
, and
R. W.
Siegel
,
J. Mater. Res.
6
,
1012
(
1991
).
184.
G. E.
Fougere
,
J. R.
Weertman
,
R. W.
Siegel
, and
S.
Kim
,
Scr. Metall. Mater.
26
,
1879
(
1992
).
185.
R. Z.
Valiev
,
F.
Chmelik
,
F.
Bordeaux
,
G.
Kapelski
, and
B.
Baudelet
,
Scr. Metall. Mater.
27
,
855
(
1992
).
186.
A. M.
El-Sherik
,
U.
Erb
,
G.
Palumbo
, and
K. T.
Aust
,
Scr. Metall. Mater.
27
,
1185
(
1992
).
187.
P. G.
Sanders
,
C. J.
Youngdahl
, and
J. R.
Weertman
,
Mater. Sci. Eng., A
234
,
77
(
1997
).
188.
P. G.
Sanders
,
J. A.
Eastman
, and
J. R.
Weertman
,
Acta Mater.
45
,
4019
(
1997
).
189.
C. J.
Youngdahl
,
P. G.
Sanders
,
J. A.
Eastman
, and
J. R.
Weertman
,
Scr. Mater.
37
,
809
(
1997
).
190.
P. G.
Sanders
,
J. A.
Eastman
, and
J. R.
Weertman
,
Acta Mater.
46
,
4195
(
1998
).
191.
J.
Musil
and
F.
Regent
,
J. Vac. Sci. Technol. A
16
,
3301
(
1998
).
192.
M. F.
Ashby
,
Acta Metall.
20
,
887
(
1972
).
193.
H.
Lüthy
,
R. A.
White
, and
O. D.
Sherby
,
Mater. Sci. Eng.
39
,
211
(
1979
).
194.
F. A.
Mohamed
and
T. G.
Langdon
,
Metall. Trans. A
5
,
2339
(
1974
).
195.
J.
Crampon
and
B.
Escaig
,
J. Am. Ceram. Soc.
63
,
680
(
1980
).
196.
R. C.
Gifkins
,
Metall. Trans. A
7
,
1225
(
1976
).
197.
J. W.
Edington
,
Metall. Trans. A
13
,
703
(
1982
).
198.
S.C.
Lim
,
Tribol. Int.
31
,
87
(
1998
).
199.
S. L.
Lehoczky
,
J. Appl. Phys.
49
,
5479
(
1978
).
200.
S. L.
Lehoczky
,
Phys. Rev. Lett.
41
,
1814
(
1978
).
201.
C. A. O.
Henning
,
F. W.
Boswell
, and
J. M.
Cobert
,
Acta Metall.
23
,
193
(
1975
).
202.
R. F.
Bunshah
,
R.
Nimmagadda
,
H. J.
Doerr
,
B. A.
Movchan
,
N. I.
Grechanuk
, and
E. V.
Dabizha
,
Thin Solid Films
72
,
261
(
1980
).
203.
S.
Menezes
and
D. P.
Anderson
,
J. Electrochem. Soc.
137
,
440
(
1990
).
204.
U.
Helmersson
,
S.
Todorova
,
S. A.
Barnett
,
J.-E.
Sundgren
,
L. C.
Markert
, and
J. E.
Greene
,
J. Appl. Phys.
62
,
481
(
1987
).
205.
M.
Shinn
,
L.
Hultman
, and
S. A.
Barnett
,
J. Mater. Res.
7
,
901
(
1992
).
206.
X.
Chu
,
M. S.
Wong
,
W. D.
Sproul
,
S. L.
Rohde
, and
S. A.
Barnett
,
J. Vac. Sci. Technol. A
10
,
1604
(
1992
).
207.
M.
Larsson
,
P.
Hollman
,
P.
Hedenqvist
,
S.
Hogmark
,
U.
Wahlström
, and
L.
Hultman
,
Surf. Coat. Technol.
86/87
,
351
(
1996
).
208.
K. M.
Hubbard
,
T. R.
Jervis
,
P. B.
Mirkarimi
, and
S. C.
Barnett
,
J. Appl. Phys.
72
,
4466
(
1992
).
209.
P. B.
Mirkarimi
,
L.
Hultman
, and
S. A.
Barnett
,
Appl. Phys. Lett.
57
,
2654
(
1990
).
210.
P. B.
Mirkarimi
,
S. A.
Barnett
,
K. M.
Hubbard
,
T. R.
Jervis
, and
L.
Hultman
,
J. Mater. Res.
9
,
1456
(
1994
).
211.
J.-E.
Sundgren
,
J.
Birch
,
G.
Hakansson
,
L.
Hultman
, and
U.
Helmersson
,
Thin Solid Films
193–194
,
818
(
1990
).
212.
K. K.
Shih
and
D. B.
Dove
,
Appl. Phys. Lett.
61
,
654
(
1992
).
213.
W. D.
Sproul
,
J. Vac. Sci. Technol. A
12
,
1595
(
1994
).
214.
W. D.
Sproul
,
Surf. Coat. Technol.
86/87
,
170
(
1996
).
215.
W. D.
Sproul
,
Science
273
,
889
(
1996
).
216.
M. L.
Wu
,
X. W.
Lin
,
V. P.
Dravid
,
Y. W.
Chung
,
M. S.
Wong
, and
W. D.
Sproul
,
J. Vac. Sci. Technol. A
15
,
946
(
1997
).
217.
D.
Li
,
X.
Chu
,
S. C.
Cheng
,
X. W.
Lin
,
V. P.
Dravid
,
Y. W.
Chung
,
M. W.
Wong
, and
W. D.
Sproul
,
Appl. Phys. Lett.
67
,
203
(
1995
).
218.
D.
Li
,
X. W.
Lin
,
S. C.
Cheng
,
V. P.
Dravid
,
Y. W.
Chung
,
M. S.
Wong
, and
W. D.
Sproul
,
Appl. Phys. Lett.
68
,
1211
(
1996
).
219.
Y.-W.
Chung
,
Surf. Rev. Lett.
3
,
1597
(
1996
).
220.
H.
Jensen
,
J.
Sobota
, and
G.
Sorensen
,
Surf. Coat. Technol.
94/95
,
174
(
1997
).
221.
H.
Jensen
,
J.
Sobota
, and
G.
Sorensen
,
J. Vac. Sci. Technol. A
16
,
1880
(
1998
).
222.
S. A. Barnett, in Physics of Thin Films, Vol. 17 Mechanics and Dielectric Properties, edited by M. H. Francombe and J. L. Vossen (Academic, Boston, 1993), p. 2.
223.
P. M.
Anderson
and
C.
Li
,
Nanostruct. Mater.
5
,
349
(
1995
).
224.
J. E.
Krzanowski
,
Scr. Metall. Mater.
25
,
1465
(
1991
).
225.
X.
Chu
and
S. A.
Barnett
,
J. Appl. Phys.
77
,
4403
(
1995
).
226.
A.
Madan
,
X.
Chu
, and
S. A.
Barnett
,
Appl. Phys. Lett.
68
,
2198
(
1996
).
227.
A.
Madan
,
P.
Yashar
,
M.
Shinn
, and
S. A.
Barnett
,
Thin Solid Films
302
,
147
(
1997
).
228.
S.
Barnett
and
A.
Madan
,
Phys. World
11
,
45
(
1998
).
229.
A.
Madan
,
Y.-Y.
Wang
,
S. A.
Barnett
,
C.
Enrgstöm
,
H.
Ljungcrantz
,
L.
Hultman
, and
M.
Grimsditch
,
J. Appl. Phys.
84
,
776
(
1998
).
230.
M.
Setoyama
,
A.
Nakayama
,
T.
Yoshioka
,
T.
Nomura
,
A.
Shibata
,
M.
Chudou
, and
H.
Arimoto
,
Sumimoto Electr. Ind.
146
,
91
(
1995
) (in Japanese).
231.
M.
Setoyama
,
A.
Nakayama
,
M.
Tanaka
,
N.
Kitagawa
, and
T.
Nomura
,
Surf. Coat. Technol.
86/87
,
225
(
1996
).
232.
L.
Hultman
,
G.
Håkansson
,
U.
Wahlström
,
J.-E.
Sundgren
,
I.
Petrov
,
F.
Abidi
, and
J. E.
Greene
,
Thin Solid Films
205
,
153
(
1991
).
233.
I.
Petrov
,
F.
Adibi
,
J. E.
Greene
,
L.
Hultman
, and
J.-E.
Sundgren
,
Appl. Phys. Lett.
63
,
36
(
1993
).
234.
F.
Adibi
,
I.
Petrov
,
J. E.
Greene
,
L.
Hultman
, and
J.-E.
Sundgren
,
J. Appl. Phys.
73
,
8580
(
1993
).
235.
M.
Stüber
,
V.
Schier
, and
H.
Holleck
,
Surf. Coat. Technol.
74–75
,
833
(
1995
).
236.
H.
Holleck
and
V.
Schier
,
Surf. Coat. Technol.
76–77
,
328
(
1995
).
237.
H.
Holleck
,
Ch.
Kühl
, and
H.
Schulz
,
J. Vac. Sci. Technol. A
3
,
2345
(
1985
).
238.
H.
Holleck
and
H.
Schulz
,
Surf. Coat. Technol.
36
,
707
(
1988
).
239.
S. A. Barnett, TSM Annual Meeting, San Antonio, TX, February 1998 (private communication).
240.
T. L. Selinder, M. E. Sjöstrand, Ä. Östlund, M. Larsson, S. Hogmark, and P. Hedenqvist, Proceedings of the 14th International Plansee Seminar, edited by G. Kneringer, P. Rödhammer, and P. Wilharditz (Plansee AG, Reutte, Austria, 1997), p. 44.
241.
S.
Vepřek
,
S.
Reiprich
, and
L.
Shizhi
,
Appl. Phys. Lett.
66
,
2540
(
1995
).
242.
S.
Vepřek
and
S.
Reiprich
,
Thin Solid Films
268
,
64
(
1996
).
243.
S.
Vepřek
,
M.
Haussmann
, and
S.
Reiprich
,
J. Vac. Sci. Technol. A
14
,
46
(
1996
).
244.
S.
Vepřek
,
M.
Haussmann
, and
L.
Shizhi
,
Electrochemical Soc. Proc.
96-5
,
619
(
1996
).
245.
S.
Vepřek
,
S.
Christiansen
,
M.
Albrecht
, and
H. P.
Strunk
,
Mater. Res. Soc. Symp. Proc.
457
,
407
(
1997
).
246.
S.
Christiansen
,
M.
Albrecht
,
H. P.
Strunk
, and
S.
Vepřek
,
J. Vac. Sci. Technol. B
16
,
19
(
1998
).
247.
S.
Vepřek
,
M.
Haussmann
, and
S.
Reiprich
,
Mater. Res. Soc. Symp. Proc.
400
,
261
(
1996
).
248.
S.
Vepřek
,
Thin Solid Films
297
,
145
(
1997
).
249.
W. W.
Milligan
,
S. A.
Hackney
,
M.
Ke
, and
E. C.
Aifantis
,
Nanostruct. Mater.
2
,
267
(
1993
).
250.
H.
Tan
and
W.
Yang
,
Mech. Mater.
30
,
111
(
1998
).
251.
G. W. Samsonow, Nitridi (Naukova Dumka, Kiev, 1969) (in Russian).
252.
H. Fischmeister and H. Jehn, Hartstoffschichten zur Verschleissminderung (DGM Informationsgesellschaft, Stuttgart, 1987).
253.
S.
Sambasivan
and
W. T.
Petuskey
,
J. Mater. Res.
9
,
2362
(
1994
).
254.
JANAF Thermochemical Tables, 3rd ed., edited by M. W. Chase, C. A. Davies, J. R. Downey, D. J. Fruip, R. A. McDonald, and A. N. Syverud, J. Phys. Chem. Ref. Data 14 (1985).
255.
T.
Hirai
and
S.
Hayashi
,
J. Mater. Sci.
17
,
1320
(
1982
);
T.
Hirai
and
S.
Hayashi
,
J. Mater. Sci.
17
,
3336
(
1982
);
T.
Hirai
and
S.
Hayashi
,
J. Mater. Sci.
18
,
2401
(
1983
).
256.
For the TiN/Si3N4, similar thermodynamic calculations were also done by
A. G.
Dias
,
J. H.
Breda
,
P.
Moretto
, and
J.
Ordelman
,
J. Phys. IV
,
2
,
C5
(
1995
).
However, the reported hardness was similar to that of TiN, presumably due to the high content of about 66 mol % Si3N4 (cf. Refs. 210 and 211).
257.
T. P.
Mollart
,
J.
Haupt
,
R.
Gilmore
, and
W.
Gissler
,
Surf. Coat. Technol.
86/87
,
231
(
1996
).
258.
P. Holubar, M. Jilek, and M. Sima, 26th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, April 1999, Surf. Coat. Technol. (in press).
259.
L.
Shizhi
,
S.
Yulong
, and
P.
Hongrui
,
Plasma Chem. Plasma Process.
12
,
287
(
1992
).
260.
SHM Ltd. Company, Masarykovo Nam. 3, CZ-78701 Sumperk, Czech Republic.
261.
M.
Diserens
,
J.
Patscheider
, and
F.
Lévy
,
Surf. Coat. Technol.
108/109
,
241
(
1998
).
262.
S. Vepřek, P. Nesladek, A. Niederhofer, H. Männling, and M. Jilek, Surface Engineering: Science and Technology I, edited by A. Kumar, Y.-W. Chung, J. J. Moore, and J. E. Smugeresky (The Minerals, Metals & Materials Society, 1999), p. 219.
263.
A. Niederhofer, P. Nesladek, H.-D. Männing, S. Vepřek, and M. Jilek, International Conference on Metallic Coatings and Thin Films, San Diego, April 1999, Surf. Coatings Technol. (in press).
264.
A. von Engel, Ionized Gases, 2nd ed. (Clarendon, Oxford, 1965).
265.
S. C. Brown, Introduction to Electrical Discharges in Gases (Wiley, New York, 1966).
266.
G. Francis, Ionization Phenomenon in Gases (Butterworth, London, 1960).
267.
S.
Vepřek
,
J. Th.
Elmer
,
Ch.
Eckmann
, and
M.
Jurcik-Rajman
,
J. Electrochem. Soc.
136
,
2398
(
1987
).
268.
S.
Vepřek
,
Ch.
Eckmann
, and
J. Th.
Elmer
,
Plasma Chem. Plasma Process.
8
,
445
(
1988
).
269.
T.
Arai
,
H.
Fujita
, and
K.
Oguri
,
Thin Solid Films
165
,
139
(
1988
).
270.
D.
Hoon
,
J. J. S.
Chun
, and
J. G.
Kim
,
J. Vac. Sci. Technol. A
7
,
31
(
1989
).
271.
J.
Patscheider
,
L.
Shizhi
, and
S.
Vep̌rek
,
Plasma Chem. Plasma Process.
16
,
341
(
1996
).
272.
S.
Vepřek
,
C.
Brendel
, and
H.
Schäfer
,
J. Cryst. Growth
9
,
266
(
1971
).
273.
O.
Knotek
,
M.
Böhmer
, and
T.
Leyendecker
,
J. Vac. Sci. Technol. A
4
,
2695
(
1986
).
274.
T.
Leyendecker
,
O.
Lemmer
,
S.
Esser
, and
J.
Ebberink
,
Surf. Coat. Technol.
48
,
175
(
1991
).
275.
Y.
Tanaka
,
T. M.
Gür
,
M.
Kelly
,
S. B.
Hagstrom
,
T.
Ikeda
,
K.
Wakihira
, and
H.
Satoh
,
J. Vac. Sci. Technol. A
10
,
1749
(
1992
).
276.
O.
Knotek
,
A.
Schrey
,
J. W.
Schultze
, and
B.
Siemensmeyer
,
Werkst. Korros.
43
,
511
(
1992
).
277.
C.
Mitterer
,
M.
Rauter
, and
P.
Röhdammer
,
Surf. Coat. Technol.
41
,
351
(
1990
).
278.
M.
Tamura
and
H.
Kubo
,
Surf. Coat. Technol.
54/55
,
255
(
1992
).
279.
W.
Gissler
,
Surf. Coat. Technol.
68/69
,
556
(
1994
).
280.
P.
Hammer
,
A.
Steiner
,
R.
Villa
,
M.
Baker
,
P. N.
Gibson
,
J.
Haupt
, and
W.
Gissler
,
Surf. Coat. Technol.
68/69
,
194
(
1994
).
281.
T. P.
Mollart
,
M.
Baker
,
J.
Haupt
,
A.
Steiner
,
P.
Hammer
, and
W.
Gissler
,
Surf. Coat. Technol.
74/75
,
491
(
1995
).
282.
P.
Losbichler
,
C.
Mitterer
,
P. N.
Gibson
,
W.
Gissler
,
F.
Hofer
, and
P.
Warbichler
,
Surf. Coat. Technol.
94/95
,
297
(
1997
).
283.
W.
Gissler
,
M. A.
Baker
,
J.
Haupt
,
P. N.
Gibson
,
R.
Gilmore
, and
T. P.
Mollart
,
Diamond Films Technol.
7
,
165
(
1997
).
284.
C.
Mitterer
,
P.
Losbichler
,
F.
Hofer
,
P.
Warbichler
,
P. N.
Gibson
, and
W.
Gisler
,
Vacuum
50
,
313
(
1998
).
285.
O.
Knotek
and
A.
Barimani
,
Thin Solid Films
174
,
51
(
1989
).
286.
R. A.
Andrievski
,
I. A.
Anisimova
, and
V. P.
Anisimov
,
Thin Solid Films
205
,
171
(
1991
).
287.
R. A.
Andrievski
,
J. Solid State Chem.
133
,
249
(
1997
).
288.
R. A.
Andrievski
,
J. Mater. Sci.
32
,
4463
(
1997
).
289.
M. Jilek, P. Klapetek, and M. Sima, Proceedings of the 14th International Seminar, edited by G. Kneringer, P. Rödhammer, and P. Wilharitz (Plansee AG, Reute, 1997), p. 294.
290.
R. Zallen, The Physics of Amorphous Solids (Wiley, New York, 1983).
291.
H.
Warlimont
and
H. P.
Aubauer
,
Z. Metallkd.
64
,
484
(
1973
).
292.
H. P.
Aubauer
and
H.
Warlimont
,
Z. Metallkd.
65
,
297
(
1974
).
293.
H. Schmalzried, Chemical Kinetics of Solids (VCH, Weinheim 1995).
294.
H. Schmalzried, Solid State Reactions (Verlag Chemie, Weinheim, 1981).
295.
Diffusion Phenomena in Thin Films and Microelectronic Materials, edited by D. Gupta and P. S. Ho (Noyes, Park Ridge, NJ, 1988), p. 43.
296.
A. L.
Greer
,
Appl. Surf. Sci.
86
,
329
(
1995
).
297.
A. L. Greer, in Mechanical Properties and Deformation Behavior of Materials Having Ultra-Fine Microstructures, edited by M. Nastasi, D. M. Parkin, and H. Gleiter (Kluwer Academic, Dordrecht, 1993), p. 53.
298.
H. W.
Sheng
,
J.
Xu
,
L. G.
Yu
,
K. K.
Sun
,
Z. Q.
Hu
, and
K.
Lu
,
J. Mater. Res.
11
,
2841
(
1996
).
299.
H. W.
Sheng
,
G.
Ren
,
L. M.
Peng
,
Z. Q.
Hu
, and
K.
Lu
,
J. Mater. Res.
12
,
119
(
1997
).
300.
H. W.
Sheng
,
K.
Lu
, and
E.
Ma
,
Nanostruct. Mater.
10
,
865
(
1998
).
301.
T. P.
Mollart
,
J.
Haupt
,
R.
Gilmore
, and
W.
Gissler
,
Surf. Coat. Technol.
86/87
,
231
(
1996
).
302.
L. E. Toth, Transition Metal Carbides and Nitrides (Academic, New York, 1971).
303.
A. F. Wells, Structural Inorganic Chemistry (Clarendon, Oxford, 1984).
304.
H.
Holleck
and
M.
Lahres
,
Mater. Sci. Eng., A
140
,
609
(
1991
).
305.
O. Knotek (private communication).
306.
A. A.
Voevodin
and
J. S.
Zabinski
,
J. Mater. Sci.
33
,
319
(
1998
).
307.
A. A.
Voevodin
and
J. S.
Zabinski
,
Diamond Relat. Mater.
7
,
463
(
1998
).
308.
A. P.
Alivisatos
,
Science
271
,
933
(
1996
).
309.
F.-R. F.
Fan
and
A. J.
Bard
,
Science
277
,
1791
(
1997
).
310.
D. L.
Feldheim
and
Ch. D.
Keating
,
Chem. Soc. Rev.
27
,
1
(
1998
).
311.
L.
Tsybeskov
,
MRS Bull.
23
,
33
(
1998
).
This content is only available via PDF.
You do not currently have access to this content.