The knowledge and the manipulation of light polarization state in the vacuum ultraviolet and extreme ultraviolet (EUV) spectral regions play a crucial role from materials science analysis to optical component improvements. In this paper, we present an EUV spectroscopic ellipsometer facility for polarimetry in the 90-160 nm spectral range. A single layer aluminum mirror to be used as a quarter wave retarder has been fully characterized by deriving the optical and structural properties from the amplitude component and phase difference δ measurements. The system can be suitable to investigate the properties of thin films and optical coatings and optics in the EUV region.
REFERENCES
1.
E.
Allaria
, B.
Diviacco
, C.
Callegari
, P.
Finetti
, B. M.
Mahieu
, J.
Viefhaus
, M.
Zangrando
, G.
De Ninno
, G.
Lambert
, E.
Ferrari
, J.
Buck
, M.
Ilchen
, B.
Vodungbo
, N.
Mahne
, C.
Svetina
, C.
Spezzani
, S.
Di Mitri
, G.
Penco
, M.
Trovo
, W. M.
Fawley
, P. R.
Rebernik
, D.
Gauthier
, C.
Grazioli
, M.
Coreno
, B.
Ressel
, A.
Kivimäki
, T.
Mazza
, L.
Glaser
, F.
Scholz
, J.
Seltmann
, P.
Gessler
, J.
Grünert
, A.
De Fanis
, M.
Meyer
, A. K.
Knie
, S. P.
Moeller
, L.
Raimondi
, F.
Capotondi
, E.
Pedersoli
, O.
Plekan
, M. B.
Danailov
, A.
Demidovich
, I.
Nikolov
, A.
Abrami
, J.
Gautier
, J.
Lüning
, P.
Zeitoun
, and L.
Giannessi
, Phys. Rev. X
4
, 041040
(2014
).2.
G.
Capobianco
, M.
Malvezzi
, S.
Fineschi
, J. I.
Larruquert
, A.
Giglia
, J. A.
Aznarez
, G.
Massone
, G.
Crescenzio
, S.
Nannarone
, F.
Frassetto
, J. A.
Mendez
, L.
Rodríguez-de Marcos
, and P.
Miotti
, Proc. SPIE
8862
, 88620Y
(2013
).3.
D.
Wilson
, D.
Rudolf
, C.
Weier
, R.
Adam
, G.
Winkler
, R.
Frömter
, S.
Danylyuk
, K.
Bergmann
, D.
Detlev Grützmacher
, C. M.
Schneider
, and L.
Juschkin
, Rev. Sci. Instrum.
85
, 103110
(2014
).4.
Z.-Y.
Guo
, S.-B.
Xi
, J.-T.
Zhu
, Y.-D.
Zhao
, L.
Zheng
, C.-H.
Hong
, K.
Tang
, D.-L.
Yang
, and M.-Q.
Cui
, Chin. Phys. C
37
, 18001
(2013
).5.
M. F.
Tesch
, M. C.
Gilbert
, H.-C.
Mertins
, D. E.
Bürgler
, U.
Berges
, and C. M.
Schneider
, Appl. Opt.
52
, 4294
(2013
).6.
N. V.
Edwards
, AIP Conf. Proc.
683
, 723
(2003
).7.
J.
Jung
, J.
Bork
, T.
Holmgaard
, and N. A.
Kortbek
, Ellipsometry project report, Aalborg University, 2004
.8.
T.
Saito
, K.
Ozaki
, K.
Fukui
, H.
Iwai
, K.
Yamamoto
, H.
Miyake
, and K.
Hiramatsu
, Thin Solid Films
571
, 517
(2014
).9.
T.
Kihara
, Appl. Opt.
50
, 2582
(2011
).10.
11.
D.
Cubric
, D. R.
Cooper
, M. C. A.
Lopes
, P.
Bolognesi
, and G. C.
King
, Meas. Sci. Technol.
10
, 554
(1999
).12.
B.
Vodungbo
, A.
Barszczak Sardinha
, J.
Gautier
, G.
Lambert
, C.
Valentin
, M.
Lozano
, G.
Iaquaniello
, F.
Delmotte
, S.
Sebban
, J.
Lüning
, and P.
Zeitoun
, Opt. Express
19
, 4346
(2011
).13.
T.
Zama
and I.
Saito
, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom.
144-147
, 1087
(2005
).14.
L.
Nahon
and C.
Alcaraz
, Appl. Opt.
43
, 1024
(2004
).15.
A. J.
Corso
, E.
Tessarolo
, P.
Zuppella
, S.
Zuccon
, M.
Nardello
, and M. G.
Pelizzo
, Proc. SPIE
9207
, 92070M
(2014
).16.
V. G.
Horton
, E. T.
Ardkawa
, R. N.
Hamm
, and M. W.
Williams
, Appl. Opt.
8
, 667
(1969
).17.
C.
Lin
, S.
Chen
, Z.
Chen
, and Y.
Ding
, Opt. Commun.
347
, 98
(2015
).18.
S.
Chen
, C.
Lin
, and H.
Gao
, J. Opt.
17
, 075601
(2015
).19.
P.
Zhang
, Y.
Tan
, W.
Liu
, and W.
Chen
, Sci. China Technol. Sci.
56
, 1155
(2013
).20.
J.
Kim
, M.
Zukic
, D. G.
Torr
, and M. M.
Wilson
, Proc. SPIE
1742
, 403
–413
(1992
).21.
M. A.
MacDonald
, F.
Schaefers
, R.
Pohl
, I. B.
Poole
, A.
Gaupp
, and F. M.
Quinn
, Rev. Sci. Instrum.
79
, 25108
(2008
).22.
A. E. H.
Gaballah
, P.
Zuppella
, A. J.
Corso
, and P.
Nicolosi
, Proc. SPIE
9905
, 99053H
(2016
).23.
See https://www.physikinstrumente.com for more information about the rotation stage, 2016.
24.
See http://www.sjuts.com for the CEM detector, 2016.
25.
D.
Garoli
, F.
Frassetto
, G.
Monaco
, P.
Nicolosi
, M.-G.
Pelizzo
, F.
Rigato
, V.
Rigato
, A.
Giglia
, and S.
Nannarone
, Appl. Opt.
45
, 5642
(2006
).26.
See http://www.hamamatsu.com for more details about the deuterium lamp, 2016.
27.
28.
W. B.
Westerveld
, K.
Becker
, P. W.
Zetner
, J. J.
Corr
, and J. W.
McConkey
, Appl. Opt.
24
, 2256
(1985
).29.
A. E. H.
Gaballah
, P.
Zuppella
, N.
Ahmed
, K.
Jimenez
, G.
Pettinari
, A.
Gerardino
, and P.
Nicolosi
, Proc. SPIE
10235
, 102350X
(2017
).30.
H. G.
Berry
, G.
Gabrielse
, and A. E.
Livingston
, Appl. Opt.
16
, 3200
(1977
).31.
S.
Uschakow
, A.
Gaupp
, M.
Gerhard
, M.
MacDonald
, and F.
Schäfers
, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. A
710
, 120
(2013
).32.
T.
Saito
, A.
Ejiri
, and H.
Onuki
, Appl. Opt.
29
, 4538
(1990
).© 2018 Author(s).
2018
Author(s)
You do not currently have access to this content.
