In this work, a novel laser-produced plasma source is presented which delivers pulsed broadband soft X-radiation in the range between 100 and 1200 eV. The source was designed in view of long operating hours, high stability, and cost effectiveness. It relies on a rotating and translating metal target and achieves high stability through an on-line monitoring device using a four quadrant extreme ultraviolet diode in a pinhole camera arrangement. The source can be operated with three different laser pulse durations and various target materials and is equipped with two beamlines for simultaneous experiments. Characterization measurements are presented with special emphasis on the source position and emission stability of the source. As a first application, a near edge X-ray absorption fine structure measurement on a thin polyimide foil shows the potential of the source for soft X-ray spectroscopy.

1.
E. F.
Aziz
,
J. Phys. Chem. Lett.
2
,
320
(
2011
).
2.
H.
Legall
,
H.
Stiel
,
M.
Beck
,
D.
Leupold
,
W. I.
Gruszecki
, and
H.
Lokstein
,
J. Biochem. Biophys. Methods
70
,
369
(
2007
).
3.
S.
Schreck
,
G.
Gavrila
,
C.
Weniger
, and
P.
Wernet
,
Rev. Sci. Instrum.
82
,
103101
(
2011
).
4.
C.
Streeck
,
S.
Brunken
,
M.
Gerlach
,
C.
Herzog
,
P.
Hönicke
,
C. A.
Kaufmann
,
J.
Lubeck
,
B.
Pollakowski
,
R.
Unterumsberger
,
A.
Weber
,
B.
Beckhoff
,
B.
Kanngießer
,
H.-W.
Schock
, and
R.
Mainz
,
Appl. Phys. Lett.
103
,
113904
(
2013
).
5.
Y.
Kayser
,
D.
Banaś
,
W.
Cao
,
J. C.
Dousse
,
J.
Hoszowska
,
P.
Jagodziński
,
M.
Kavčič
,
A.
Kubala-Kukuś
,
S.
Nowak
,
M.
Pajek
, and
J.
Szlachetko
,
Spectrochim. Acta, Part B
65
,
445
(
2010
).
6.
E.
Seres
and
C.
Spielmann
,
Appl. Phys. Lett.
91
,
121919
(
2007
).
7.
C.
Ding
,
W.
Xiong
,
T.
Fan
,
D. D.
Hickstein
,
T.
Popmintchev
,
X.
Zhang
,
M.
Walls
,
M. M.
Murnane
, and
H. C.
Kapteyn
,
Opt. Express
22
,
6194
(
2014
).
8.
U.
Vogt
,
T.
Wilhein
,
H.
Stiel
, and
H.
Legall
,
Rev. Sci. Instrum.
75
,
4606
(
2004
).
9.
P.
Grossmann
,
I.
Rajkovic
,
R.
More
,
J.
Norpoth
,
S.
Techert
,
C.
Jooss
, and
K.
Mann
,
Rev. Sci. Instrum.
83
,
053110
(
2012
).
10.
S.
Fourmaux
,
L.
Lecherbourg
,
M.
Harmand
,
M.
Servol
, and
J. C.
Kieffer
,
Rev. Sci. Instrum.
78
,
113104
(
2007
).
11.
T.
Popmintchev
,
M.-C.
Chen
,
D.
Popmintchev
,
P.
Arpin
,
S.
Brown
,
S.
Alijauskas
,
G.
Andriukaitis
,
T.
Balciunas
,
O. D.
Mucke
,
A.
Pugzlys
,
A.
Baltuska
,
B.
Shim
,
S. E.
Schrauth
,
A.
Gaeta
,
C.
Hernandez-Garcia
,
L.
Plaja
,
A.
Becker
,
A.
Jaron-Becker
,
M. M.
Murnane
, and
H. C.
Kapteyn
,
Science
336
,
1287
(
2012
).
12.
G. A.
Rochau
,
J. E.
Bailey
, and
J. J.
Macfarlane
,
Phys. Rev. E
72
,
066405
(
2005
).
13.
M.
Benk
and
K.
Bergmann
,
J. Micro/Nanolithogr., MEMS, MOEMS
11
,
021106
(
2012
).
14.
C.
Peth
,
F.
Barkusky
, and
K.
Mann
,
J. Phys. D: Appl. Phys.
41
,
105202
(
2008
).
15.
I.
Mantouvalou
,
R.
Jung
,
J.
Tuemmler
,
H.
Legall
,
T.
Bidu
,
H.
Stiel
,
W.
Malzer
,
B.
Kanngießer
, and
W.
Sandner
,
Rev. Sci. Instrum.
82
,
066103
(
2011
).
16.
H.
Legall
,
G.
Blobel
,
H.
Stiel
,
W.
Sandner
,
C.
Seim
,
P.
Takman
,
D. H.
Martz
,
M.
Selin
,
U.
Vogt
,
H. M.
Hertz
,
D.
Esser
,
H.
Sipma
,
J.
Luttmann
,
M.
Höfer
,
H. D.
Hoffmann
,
S.
Yulin
,
T.
Feigl
,
S.
Rehbein
,
P.
Guttmann
,
G.
Schneider
,
U.
Wiesemann
,
M.
Wirtz
, and
W.
Diete
,
Opt. Express
20
,
18362
(
2012
).
17.
H.
Legall
,
H.
Stiel
,
U.
Vogt
,
H.
Schönnagel
,
P. V.
Nickles
,
J.
Tümmler
,
F.
Scholz
, and
F.
Scholze
,
Rev. Sci. Instrum.
75
,
4981
(
2004
).
18.
J.
Tümmler
,
R.
Jung
,
H.
Stiel
,
P. V.
Nickles
, and
W.
Sandner
,
Opt. Lett.
34
,
1378
(
2009
).
19.
F.
Zamponi
,
Z.
Ansari
,
C. v.
Korff Shmising
,
P.
Rothhardt
,
N.
Zhavoronkov
,
M.
Woerner
,
T.
Elsaesser
,
M.
Bargheer
,
T.
Trobitzsch-Ryll
, and
M.
Haschke
,
Appl. Phys. A
96
,
51
(
2009
).
20.
T.
Wilhein
,
S.
Rehbein
,
D.
Hambach
,
M.
Berglund
,
L.
Rymell
, and
H. M.
Hertz
,
Rev. Sci. Instrum.
70
,
1694
(
1999
).
21.
S.
Bollanti
,
R.
Cotton
,
P.
di Lazzaro
,
F.
Flora
,
T.
Letardi
,
N.
Lisi
,
D.
Batani
,
A.
Conti
,
A.
Mauri
,
L.
Palladino
,
A.
Reale
,
M.
Belli
,
F.
Ianzini
,
A.
Scafati
,
L.
Reale
,
M. A.
Tabocchini
,
P.
Albertano
,
A. Y.
Faenov
,
T.
Pikuz
, and
A.
Oesterheld
,
Il Nuovo Cimento D
18
,
1241
(
1996
).
22.
M.
Beck
,
U.
Vogt
,
I.
Will
,
A.
Liero
,
H.
Stiel
,
W.
Sandner
, and
T.
Wilhein
,
Opt. Commun.
190
,
317
(
2001
).
23.
B. L.
Henke
,
E. M.
Gullikson
, and
J. C.
Davis
,
Atomic Data and Nuclear Data Tables
54
(
2
),
181
342
(
1993
).
24.
J. L.
Jordan-Sweet
,
C. A.
Kovac
,
M. J.
Goldberg
, and
J. F.
Morar
,
J. Chem. Phys.
89
,
2482
(
1988
).
You do not currently have access to this content.