We investigate the chemical properties of nanostructures fabricated by local anodic oxidation (LAO) on epitaxial GaAsAlAsGaAs layers. We find evidence for the presence of Al compounds located in the topmost surface layers of the LAO structures. Our results cannot be explained within the framework of the commonly accepted mechanism that describes the growth of the LAO oxides in terms of diffusion of oxygen-rich ions through the growing oxide. A more general mechanism that explains our experimental findings is proposed.

1.
R.
Garcia
,
M.
Calleja
, and
F.
Perez-Murano
,
Appl. Phys. Lett.
72
,
2295
(
1998
).
2.
R.
Garcia
,
M.
Calleja
, and
H.
Rohrer
,
J. Appl. Phys.
86
,
1898
(
1999
).
3.
E. S.
Snow
,
W. H.
Juan
,
S. W.
Pang
, and
P. M.
Campbell
,
Appl. Phys. Lett.
66
,
1729
(
1995
).
4.
F. S.S.
Chien
,
J. W.
Chang
,
S. W.
Lin
,
Y. C.
Chou
,
T. T.
Chen
,
S.
Gwo
,
T. S.
Chao
, and
W. F.
Hsieh
,
Appl. Phys. Lett.
76
,
360
(
2000
).
5.
L. P.
Rokhinson
,
V.
Larkina
,
Y. B.
Lyanda-Geller
,
L. N.
Pfeiffer
, and
K. W.
West
,
Phys. Rev. Lett.
93
,
146601
(
2004
).
6.
N. J.
Curson
,
R.
Nemutudi
,
N. J.
Appleyard
,
M.
Pepper
,
D. A.
Ritchie
, and
G. A.C.
Jones
,
Appl. Phys. Lett.
78
,
3466
(
2001
).
7.
A.
Fuhrer
,
S.
Luescher
,
T.
Ihn
,
T.
Heinzel
,
K.
Ensslin
,
W.
Wegscheider
, and
M.
Bichler
,
Nature (London)
413
,
822
(
2001
).
8.
U. F.
Keyser
,
C.
Fuhner
,
S.
Borck
,
R. J.
Haug
,
M.
Bichler
,
G.
Abstreiter
, and
W.
Wegscheider
,
Phys. Rev. Lett.
90
,
196601
(
2003
).
9.
G.
Mori
,
M.
Lazzarino
,
D.
Ercolani
,
G.
Biasiol
, and
L.
Sorba
,
J. Vac. Sci. Technol. B
22
,
570
(
2004
).
10.
R.
Held
,
T.
Vancura
,
T.
Heinzel
,
K.
Ensslin
,
M.
Holland
, and
W.
Wegscheider
,
Appl. Phys. Lett.
73
,
262
(
1998
).
11.
K.
Matsumoto
,
M.
Ishii
,
K.
Segawa
,
Y.
Oka
,
B. J.
Vartanian
, and
J. S.
Harris
,
Appl. Phys. Lett.
68
,
34
(
1996
).
12.
E. S.
Snow
,
D.
Park
, and
P. M.
Campbell
,
Appl. Phys. Lett.
69
,
269
(
1996
).
13.
M.
Tello
and
R.
Garcia
,
Appl. Phys. Lett.
83
,
2339
(
2003
).
14.
M.
Lazzarino
,
S.
Heun
,
B.
Ressel
,
K. C.
Prince
,
P.
Pingue
, and
C.
Ascoli
,
Appl. Phys. Lett.
81
,
2842
(
2002
).
15.
M.
Lazzarino
,
G.
Mori
,
L.
Sorba
,
M.
Padovani
,
M.
Fanetti
, and
M.
Sancrotti
,
Chem. Phys. Lett.
402
,
155
(
2005
).
16.
D.
Ercolani
 et al,
Adv. Funct. Mater.
15
,
587
(
2005
).
17.
G.
Mori
,
M.
Lazzarino
,
D.
Ercolani
,
L.
Sorba
,
S.
Heun
, and
A.
Locatelli
,
J. Appl. Phys.
97
,
114324
(
2005
).
18.
A.
Locatelli
,
A.
Bianco
,
D.
Cocco
,
S.
Cherifi
,
S.
Heun
,
M.
Marsi
,
M.
Pasqualetto
, and
E.
Bauer
,
J. Phys. IV
104
,
99
(
2003
).
19.
M. P.
Seah
and
W. A.
Dench
,
Surf. Interface Anal.
1
,
2
(
1979
).
20.
J.-J.
Yeh
and
I.
Lindau
,
At. Data Nucl. Data Tables
32
,
1
(
1985
).
21.
G.
Mori
,
M.
Lazzarino
,
D.
Ercolani
,
G.
Biasiol
,
A.
Locatelli
,
L.
Sorba
, and
S.
Heun
,
Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B
(in press).
22.
P.
Avouris
,
T.
Hertel
, and
R.
Martel
,
Appl. Phys. Lett.
71
,
285
(
1997
).
23.
D.
Stievenard
,
P. A.
Fontaine
, and
E.
Dubois
,
Appl. Phys. Lett.
70
,
3272
(
1997
).
24.
J. A.
Dagata
,
T.
Inoue
,
J.
Itoh
, and
H.
Yokoyama
,
Appl. Phys. Lett.
73
,
271
(
1998
).
25.
P. A.
Fontaine
,
E.
Dubois
, and
D.
Stievenard
,
J. Appl. Phys.
84
,
1776
(
1998
).
26.
J. A.
Dagata
,
F.
Perez-Murano
,
C.
Martin
,
H.
Kuramochi
, and
H.
Yokoyama
,
J. Appl. Phys.
96
,
2386
(
2004
).
27.
N.
Cabrera
and
N. F.
Mott
,
Rep. Prog. Phys.
12
,
163
(
1949
).
28.
A. E.
Gordon
,
R. T.
Fayfield
,
D. D.
Litfin
, and
T. K.
Higman
,
J. Vac. Sci. Technol. B
13
,
2805
(
1995
).
29.
E.
Dubois
and
J. L.
Bubendorff
,
J. Appl. Phys.
87
,
8148
(
2000
).
30.
S. D.
Tzeng
,
C. L.
Wu
,
Y. C.
You
,
T. T.
Chen
,
S.
Gwo
, and
H.
Tokumoto
,
Appl. Phys. Lett.
81
,
5042
(
2002
).
You do not currently have access to this content.