Nanocrystalline carbon nitride films were synthesized on cobalt-covered Si(111) wafers using a nitrogen-atom-beam-assisted pulsed laser ablation method. Raman spectroscopy and other analyses showed that as-synthesized films were constructed primarily from nanometer-sized β-C3N4 and CNx crystallites. Catalyzation by the cobalt in the synthesis process is considered to play an important role in the formation of nanocrystalline β-C3N4. The effect of the experimental conditions on the characters of the as-synthesized films has been discussed.

1.
A. Y.
Liu
and
M. L.
Cohen
,
Science
245
,
841
(
1989
).
2.
A. Y.
Liu
and
M. L.
Cohen
,
Phys. Rev. B
41
,
10727
(
1990
).
3.
Y. F.
Zhang
,
Z. H.
Zhou
, and
H. L.
Li
,
Appl. Phys. Lett.
68
,
634
(
1996
).
4.
T. Y.
Yen
and
C. P.
Chou
,
Appl. Phys. Lett.
67
,
2801
(
1995
).
5.
K.
Ogata
,
J. F. D.
Chubaci
, and
F.
Fujimoto
,
J. Appl. Phys.
76
,
3791
(
1994
).
6.
X. M.
He
,
S.
Li
,
W. Z.
Li
, and
H. D.
Li
,
J. Mater. Res.
12
,
1595
(
1997
).
7.
R.
Kaltofen
,
T.
Sebald
, and
G.
Weise
,
Thin Solid Films
290–291
,
112
(
1996
).
8.
D.
Li
,
Y. W.
Chung
,
M. S.
Wong
, and
W. D.
Sproul
,
Tribology
1
,
87
(
1995
).
9.
K. M.
Yu
,
M. L.
Cohen
,
E. E.
Haller
,
W. L.
Hansen
,
A. Y.
Liu
, and
I. C.
Wu
,
Phys. Rev. B
49
,
5034
(
1994
).
10.
Z. M.
Ren
,
Y. C.
Du
,
Z. F.
Ying
,
Y. X.
Qiu
,
X. X.
Xiong
,
J. D.
Wu
, and
F. M.
Li
,
Appl. Phys. Lett.
65
,
1361
(
1994
).
11.
N.
Xu
,
Y. C.
Du
,
Z. F.
Ying
,
Z. M.
Ren
,
F. M.
Li
,
J.
Lin
,
Y. Z.
Ren
, and
X. F.
Zhong
,
J. Phys. D
30
,
1370
(
1997
).
12.
P. N.
Wang
,
N.
Xu
,
Z. F.
Ying
,
X. T.
Ying
,
Z. P.
Liu
, and
W. D.
Yang
,
Thin Solid Films
382
,
34
(
2001
).
13.
C.
Niu
,
Y. Z.
Lu
, and
C. M.
Lieber
,
Science
261
,
334
(
1993
).
14.
N.
Xu
,
Y. C.
Du
,
Z. F.
Ying
, and
F. M.
Li
,
Appl. Phys. Lett.
69
,
1364
(
1996
).
15.
N.
Xu
,
Y. C.
Du
,
Z. F.
Ying
,
Z. M.
Ren
, and
F. M.
Li
,
Rev. Sci. Instrum.
68
,
2994
(
1997
).
16.
C.
Ronning
,
H.
Felderman
,
R.
Merk
,
H.
Hofsass
,
P.
Reinke
, and
J. U.
Thiele
,
Phys. Rev. B
58
,
2207
(
1998
).
17.
A. K.
Sharma
and
J.
Narayan
,
Int. Mater. Rev.
42
,
137
(
1997
).
18.
D. W.
Wu
,
W.
Fan
,
H. X.
Guo
,
M. B.
He
,
X. Q.
Meng
, and
X. J.
Fan
,
Solid State Commun.
103
,
193
(
1997
).
19.
J. L.
He
and
W. L.
Chang
,
Surf. Coat. Technol.
99
,
184
(
1998
).
20.
F.
Tuinstra
and
J. L.
Koenig
,
J. Chem. Phys.
53
,
1126
(
1970
).
21.
J. H.
Kaufman
,
S.
Metin
, and
D. D.
Saperstein
,
Phys. Rev. B
39
,
13053
(
1989
).
22.
M. Y.
Chen
,
D.
Li
,
X.
Lin
,
V. P.
Dravid
,
Y. W.
Chung
,
M. S.
Wong
, and
W. D.
Sproul
,
J. Vac. Sci. Technol. A
11
,
521
(
1993
).
23.
L. H.
Robins
,
J. Mater. Res.
5
,
2456
(
1990
).
24.
J.
Widany
,
F.
Weich
,
T.
Kohler
,
D.
Porezag
, and
T.
Frauenheim
,
Diamond Relat. Mater.
5
,
1031
(
1996
).
25.
M.
Wixam
,
J. Am. Ceram. Soc.
73
,
1973
(
1990
).
26.
T. Y.
Yen
and
C. P.
Chou
,
Solid State Commun.
95
,
281
(
1995
).
27.
B. S.
Elman
,
M. S.
Dresselhaus
,
G.
Dresselhaus
,
E. W.
Maby
, and
H.
Mazurek
,
Phys. Rev. B
24
,
1027
(
1981
).
28.
Y. F.
Lu
,
Z. M.
Ren
,
T. C.
Chong
,
B. A.
Cheong
,
S. I.
Pang
,
J. P.
Wang
, and
K.
Li
,
J. Appl. Phys.
86
,
4954
(
1999
).
29.
Y.
Sato
and
M.
Kamo
,
Surf. Coat. Technol.
39/40
,
199
(
1989
).
30.
J.
Gonzalez-Hernandez
,
G. H.
Azarbayejani
,
R.
Tsu
, and
F. H.
Pollak
,
Appl. Phys. Lett.
47
,
1350
(
1985
).
31.
B. C.
Holloway
,
D. K.
Shuh
,
J. A.
Carlisle
,
I.
Jimenez
,
D. G. J.
Sutherland
, and
S.
Hagstrom
,
Thin Solid Films
290–291
,
94
(
1996
).
32.
D. P.
Yu
,
X. S.
Sun
,
C. S.
Lee
,
I.
Bello
,
S. T.
Lee
,
H. D.
Gu
,
K. M.
Leung
,
G. W.
Zhou
,
Z. F.
Dong
, and
Z.
Zhang
,
Appl. Phys. Lett.
72
,
1966
(
1998
).
33.
H.
Tojima
,
T.
Okamoto
,
A.
Yamada
,
M.
Konagai
, and
K.
Takahashi
,
J. Cryst. Growth
138
,
408
(
1994
).
This content is only available via PDF.
You do not currently have access to this content.