Radiation-induced property changes in materials originate from the energy transfer from an incoming particle to the existing lattice, displacing atoms. The displaced atoms can cause the formation of extended defects including dislocation loops, voids, or precipitates. The non-equilibrium defects created during damage events determine the extent of these larger defects and are a function of dose rate, material, and temperature. However, these defects are transient and can only be probed indirectly. This work presents direct experimental measurements and evidence of irradiated non-equilibrium vacancy formation, where in situ positron annihilation spectroscopy was used to prove the generation of non-equilibrium defects in silicon.

1.
F.
Schmidt
,
P.
Hosemann
,
R. O.
Scarlat
,
D. K.
Schreiber
,
J. R.
Scully
, and
B. P.
Uberuaga
,
Ann. Rev. Mater.
51
,
293
328
(
2021
).
2.
A. P. C.
Wyliem
,
K. B.
Woller
,
S. A. A.
Al Dajani
,
B. R.
Dacus
,
E. J.
Pickering
,
M.
Preuss
, and
M. P.
Short
,
J. Appl. Phys.
132
,
045102
(
2022
).
3.
H.
Kim
,
M. R.
Chancey
,
T.
Chung
,
I.
Brackenbury
,
M. O.
Liedke
,
M.
Butterling
,
E.
Hirschmann
,
A.
Wagner
,
J. K.
Baldwin
,
B. K.
Derby
,
N.
Li
,
K. H.
Yano
,
D. J.
Edwards
,
Y.
Wang
, and
F. A.
Selim
,
Appl. Phys.
132
,
105901
(
2022
).
4.
M.
Hong
,
A. L.
Morales
,
H. L.
Chan
,
D. D.
Macdonald
,
M.
Balooch
,
Y.
Xie
,
E.
Romanovskaia
,
J. R.
Scully
,
D.
Kaoumi
, and
P.
Hosemann
,
Appl. Phys.
132
,
185104
(
2022
).
5.
D. J.
Bacon
and
Y. N.
Osetsky
,
Mater. Sci. Eng.: A
365
,
46
56
(
2004
).
6.
B. D.
Wirth
,
M. J.
Caturla
,
T. D.
De La Rubia
,
T.
Khraishi
, and
H.
Zbib
,
Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B
180
(
1–4
),
23
31
(
2001
).
7.
J. S.
Robach
,
I. M.
Robertson
,
B. D.
Wirth
, and
A.
Arsenlis
,
Philos. Mag.
83
(
8
),
955
967
(
2003
).
8.
H.
Wiedersich
,
Radiat. Effects
12
(
1-2
),
111
125
(
1972
).
9.
R. E.
Stoller
,
Primary Radiation Damage Formation
,
1st ed.
(
Elsevier Ltd
,
Amsterdam
,
2019
), Chap. 1.
10.
M. L.
Jenkins
,
J. Nucl. Mater.
216
,
124
156
(
1994
).
11.
R.
Kerl
,
J.
Wolff
, and
T.
Hehenkamp
,
Intermetallics
7
,
301
308
(
1999
).
12.
C.
Dimitrov
,
M.
Tenti
, and
O.
Dimitrov
,
J. Phys. F: Met. Phys.
11
(
4
),
753
765
(
1981
).
13.
A.
Persaud
,
J. J.
Barnard
,
H.
Guo
,
P.
Hosemann
,
S.
Lidia
,
A. M.
Minor
,
P. A.
Seidl
, and
T.
Schenkel
,
Phys. Proc.
66
,
604
609
(
2015
).
14.
D. J.
Sprouster
,
C.
Sun
,
Y.
Zhang
,
S. N.
Chodankar
,
J.
Gan
, and
L. E.
Ecker
,
Sci. Rep.
9
(
1
),
1
(
2019
).
15.
A.
Lupinacci
,
K.
Chen
,
Y.
Li
,
M.
Kunz
,
Z.
Jiao
,
G. S.
Was
,
M. D.
Abad
,
A. M.
Minor
, and
P.
Hosemann
,
J. Nucl. Mater.
458
,
70
76
(
2015
).
16.
Q.
Yan
,
J.
Gigax
,
D.
Chen
,
F. A.
Garner
, and
L.
Shao
,
J. Nucl. Mater.
480
,
420
428
(
2016
).
17.
R. W.
Siegel
,
Ann. Rev. Mater Sci.
10
,
393
425
(
1980
).
18.
P.
Hautojärvi
,
Positrons in Solids
,
1st ed.
(
Springer-Verlag
,
Berlin
,
1979
), pp.
491
522
.
19.
20.
M.
Clement
,
J. M. M.
De Nijs
,
P.
Balk
,
H.
Schut
, and
A.
Van Veen
,
J. Appl. Phys.
79
,
9029
9036
(
1996
).
21.
M. O.
Liedke
,
W.
Anwand
,
R.
Bali
,
S.
Cornelius
,
M.
Butterling
,
T. T.
Trinh
,
A.
Wagner
,
S.
Salamon
,
D.
Walecki
,
A.
Smekhova
, and
H.
Wende
,
J. Appl. Phys.
117
(
16
),
163908
(
2015
).
22.
A.
Wagner
,
M.
Butterling
,
M. O.
Liedke
,
K.
Potzger
, and
R.
Krause-Rehberg
, “
Positron annihilation lifetime and Doppler broadening spectroscopy at the ELBE facility
,”
AIP Conf. Proc.
1970
,
040003
(
2018
).
23.
A.
Kinomura
,
R.
Suzuki
,
T.
Ohdaira
,
N.
Oshima
,
B. E.
O’Rourke
, and
T.
Nishijima
,
Phys. Proc.
35
,
111
116
(
2012
).
24.
A.
Kinomura
,
R.
Suzuki
,
T.
Ohdaira
,
N.
Oshima
,
B. E.
O'Rourke
, and
T.
Nishijima
,
J. Phys.: Conf. Ser.
443
(
1
),
012043
(
2013
).
25.
M. J.
Puska
and
R. M.
Nieminen
, “
Theory of positrons in solids and on solid surfaces
,”
Rev. Mod. Phys.
66
(
3
),
841
897
(
1994
).
26.
P.
Asoka-Kumar
and
K. G.
Lynn
,
Appl. Phys. Lett.
57
,
1634
1636
(
1990
).
27.
P. J.
Schultz
and
K. G.
Lynn
,
Rev. Mod. Phys.
60
(
3
),
701
779
(
1988
).
28.
A. P.
Knights
,
F.
Malik
, and
P. G.
Coleman
,
Appl. Phys. Lett.
75
(
4
),
466
468
(
1999
).
29.
W.
Anwand
,
G.
Brauer
,
M.
Butterling
,
H. R.
Kissener
, and
A.
Wagner
,
Defect Diffusion Forum
331
,
25
40
(
2012
).
30.
J. F.
Ziegler
,
M. D.
Ziegler
, and
J. P.
Biersack
,
Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B
268
(
11–12
),
1818
1823
(
2010
).
31.
A.
Wagner
,
W.
Anwand
,
A. G.
Attallah
,
G.
Dornberg
,
M.
Elsayed
,
D.
Enke
,
A. E. M.
Hussein
,
R.
Krause-Rehberg
,
M. O.
Liedke
,
K.
Potzger
, and
T. T.
Trinh
,
J. Phys.: Conf. Ser.
791
(
1
),
012004
(
2017
).
32.
E.
Hirschmann
,
M.
Butterling
,
U. H.
Acosta
,
M. O.
Liedke
,
A. G.
Attallah
,
P.
Petring
,
M.
Görler
,
R.
Krause-Rehberg
, and
A.
Wagner
,
J. Instrum.
16
(
8
),
P08001
(
2021
).
33.
J. V.
Olsen
,
P.
Kirkegaard
,
N. J.
Pedersen
, and
M.
Eldrup
,
Phys. Status Solidi C
4
(
10
),
4004
4006
(
2007
).
34.
R.
Krause-Rehberg
and
H. S.
Leipner
, Positron Annihilation in Semiconductors: Defect Studies (Springer, Berlin, 1999), p. 378.
35.
F.
Tuomisto
and
I.
Makkonen
,
Rev. Mod. Phys.
85
(
4
),
1583
1631
(
2013
).
36.
S.
Agarwal
,
M. O.
Liedke
A. C. L.
Jones
,
E.
Reed
,
A. A.
Kohnert
,
B. P.
Uberuaga
,
Y. Q.
Wang
,
J.
Cooper
,
D.
Kaoumi
,
N.
Li
,
R.
Auguste
,
P.
Hosemann
,
L.
Capolungo
,
D. J.
Edwards
,
M.
Butterling
,
E.
Hirschmann
,
A.
Wagner
, and
F. A.
Selim
,
Sci. Adv.
6
(
31
),
eaba8437
(
2020
).
37.
T. E. M.
Staab
,
A.
Sieck
,
M.
Haugk
,
M. J.
Puska
,
T.
Frauenheim
, and
H. S.
Leipner
,
Phys. Rev. B
65
(
11
),
115210
(
2002
).
38.
F. F.
Morehead
,
B. L.
Crowder
, and
R. S.
Title
,
J. Appl. Phys.
43
(
3
),
1112
1118
(
1972
).
39.
L.
Pelaz
,
L. A.
Marqués
, and
J.
Barbolla
,
J. Appl. Phys.
96
(
11
),
5947
5976
(
2004
).
40.
X.
Huang
,
M.
Balooch
,
T.
Xie
,
S.
Leuber
, and
P.
Hosemann
,
J. Appl. Phys.
132, 025106 (
2022
).
41.
P. G.
Coleman
,
N. B.
Chilton
, and
J. A.
Baker
,
J. Phys.: Condens. Matter
2
(
47
),
9355
9361
(
1990
).
42.
C. S.
Gorham
,
K.
Hattar
,
R.
Cheaito
,
J. C.
Duda
,
J. T.
Gaskins
,
T. E.
Beechem
,
J. F.
Ihlefeld
,
L. B.
Biedermann
,
E. S.
Piekos
,
D. L.
Medlin
, and
P. E.
Hopkins
,
Phys. Rev. B
90
(
2
),
024301
(
2014
).
43.
M.
Hakala
,
M. J.
Puska
, and
R. M.
Nieminen
,
Phys. Rev. B
57
,
7621
7627
(
1998
).
44.
S.
Mäkinen
,
H.
Rajainmäki
, and
S.
Linderoth
,
Phys. Rev. B
42
(
17
),
11166
11173
(
1990
).
45.
J. C. M.
Robles
,
E.
Ogando
, and
F.
Plazaola
,
J. Phys.: Condens. Matter
19
(
17
),
176222
(
2007
).
You do not currently have access to this content.