Lattice-matched Al1−xInxN / GaN heterostructures with InN mole fraction (x) of 0.18 have attracted considerable interest for use in GaN-based optoelectronic devices. Because the light emission efficiency (ηemission) of Al1−xInxN alloys is far less than that of InxGa1−xN, understanding its causes is essential. For this purpose, room-temperature photoluminescence lifetime (τPLRT), which almost represents the nonradiative recombination lifetime that limits the internal quantum efficiency in low ηemission semiconductors, of c-plane Al1−xInxN epilayers nearly and modestly lattice-matched to GaN (0.11x0.21) was examined. For the epilayers grown on low threading dislocation density (TDD) GaN substrates (107cm2), τPLRT principally decreased with increasing x, indicating a progressive increase in the concentration of nonradiative recombination centers (NRCs), NNRC. One of the probable causes is the growth temperature (Tg) reduction that is indispensable to incorporate more In, because in insufficient Tg regime higher Tg is preferred for enhancing the surface migration of adatoms to decrease the concentrations of vacancies that compose NRCs. The Al1−xInxN epilayers of the same x but grown on high TDD (>108cm2) GaN-on-sapphire templates exhibited shorter τPLRT. Because the diffusion length of minority carriers was nearly zero in the Al1−xInxN epilayers, the shorter τPLRT indicates higher bulk NNRC in high TDD epilayers. The Al1−xInxN epilayers of considerably rough surface morphologies exhibited spatially inhomogeneous τPLRT, implying that excited carriers recombined everywhere at InN-rich to InN-poor portions, where NNRC were likely lower to higher, respectively, than the average due to the deviations in the surface stoichiometry at various non-c-plane surfaces at a given Tg.

1.
Y.
Taniyasu
,
M.
Kasu
, and
T.
Makimoto
,
Appl. Phys. Lett.
90
,
261911
(
2007
);
H.
Ikeda
,
T.
Okamura
,
K.
Matsukawa
,
T.
Sota
,
M.
Sugawara
,
T.
Hoshi
,
P.
Cantu
,
R.
Sharma
,
J. F.
Kaeding
,
S.
Keller
,
U. K.
Mishra
,
K.
Kosaka
,
K.
Asai
,
S.
Sumiya
,
T.
Shibata
,
M.
Tanaka
,
J. S.
Speck
,
S. P.
DenBaars
,
S.
Nakamura
,
T.
Koyama
,
T.
Onuma
, and
S. F.
Chichibu
,
J. Appl. Phys.
102
,
123707
(
2007
);
H.
Ikeda
,
T.
Okamura
,
K.
Matsukawa
,
T.
Sota
,
M.
Sugawara
,
T.
Hoshi
,
P.
Cantu
,
R.
Sharma
,
J. F.
Kaeding
,
S.
Keller
,
U. K.
Mishra
,
K.
Kosaka
,
K.
Asai
,
S.
Sumiya
,
T.
Shibata
,
M.
Tanaka
,
J. S.
Speck
,
S. P.
DenBaars
,
S.
Nakamura
,
T.
Koyama
,
T.
Onuma
, and
S. F.
Chichibu
,
J. Appl. Phys.
103
,
089901
(
2008
);
B.
Gil
,
Phys. Rev. B
81
,
205201
(
2010
).
2.
T.
Inushima
,
V. V.
Mamutin
,
V. A.
Vekshin
,
S. V.
Ivanov
,
T.
Sakon
, and
S.
Motokawa
,
J. Cryst. Growth
227
,
481
(
2001
);
V. Yu.
Davydov
,
A. A.
Klochikhin
,
R. P.
Seisyan
,
V. V.
Emtsev
,
S. V.
Ivanov
,
F.
Bechstedt
,
J.
Furthmüller
,
H.
Harima
,
A. V.
Mudryi
,
J.
Aderhold
,
O.
Semchinova
,
J.
Graul
,
Phys. Status Solidi B
229
,
R1
(
2002
).
3.
M.
Miyoshi
,
M.
Yamanaka
,
T.
Egawa
, and
T.
Takeuchi
,
Jpn. J. Appl. Phys.
58
,
SC1006
(
2019
).
4.
M.
Higashiwaki
and
T.
Matsui
,
Jpn. J. Appl. Phys.
43
,
L768
(
2004
).
5.
M.
Miyoshi
,
T.
Tsutsumi
,
G.
Nishino
,
Y.
Miyachi
,
M.
Okada
,
J. J.
Freedsman
, and
T.
Egawa
,
J. Vac. Sci. Technol. B
34
,
050602
(
2016
).
6.
J.-F.
Carlin
and
M.
Ilegems
,
Appl. Phys. Lett.
83
,
668
(
2003
).
7.
K.
Arakawa
,
K.
Miyoshi
,
R.
Iida
,
Y.
Kato
,
T.
Takeuchi
,
M.
Miyoshi
,
S.
Kamiyama
,
M.
Iwaya
, and
I.
Akasaki
,
Jpn. J. Appl. Phys.
58
,
SCCC28
(
2019
).
8.
K. S.
Kim
,
A.
Saxler
,
P.
Kung
,
M.
Razeghi
, and
K. Y.
Lim
,
Appl. Phys. Lett.
71
,
800
(
1997
).
9.
S.
Yamaguchi
,
M.
Kariya
,
S.
Nitta
,
H.
Kato
,
T.
Takeuchi
,
C.
Wetzel
,
H.
Amano
, and
I.
Akasaki
,
J. Cryst. Growth
195
,
309
(
1998
).
10.
M.
Miyoshi
,
Y.
Kuraoka
,
M.
Tanaka
, and
T.
Egawa
,
Appl. Phys. Express
1
,
081102
(
2008
).
11.
V. Z.
Zubialevich
,
T. C.
Sadler
,
D. V.
Dinh
,
S. N.
Alam
,
H.
Li
,
P.
Pampili
, and
P. J.
Parbrook
,
J. Lumin.
155
,
108
(
2014
).
12.
S. F.
Chichibu
,
K.
Hazu
,
K.
Furusawa
,
Y.
Ishikawa
,
T.
Onuma
,
T.
Ohtomo
,
H.
Ikeda
, and
K.
Fujito
,
J. Appl. Phys.
116
,
213501
(
2014
).
13.
S.
Marcinkevičius
,
A.
Sztein
,
S.
Nakamura
, and
J. S.
Speck
,
Semicond. Sci. Technol.
30
,
115017
(
2015
).
14.
V. Z.
Zubialevich
,
D. V.
Dinh
,
S. N.
Alam
,
S.
Schulz
,
E. P.
O’Reilly
, and
P. J.
Parbrook
,
Semicond. Sci. Technol.
31
,
025006
(
2016
).
15.
M.
Miyoshi
,
M.
Yamanaka
,
T.
Egawa
, and
T.
Takeuchi
,
Appl. Phys. Express
11
,
051001
(
2018
).
16.
M.
Miyoshi
,
M.
Yamanaka
,
T.
Egawa
, and
T.
Takeuchi
,
J. Cryst. Growth
506
,
40
(
2019
).
17.
P.
Pampili
,
V. Z.
Zubialevich
,
P.
Maaskant
,
M.
Akhter
,
B.
Corbett
, and
P. J.
Parbrook
,
Jpn. J. Appl. Phys.
58
,
SCCB33
(
2019
).
18.
R. B. K.
Chung
,
J. Appl. Phys.
128
,
043104
(
2020
).
19.
S.
Chichibu
,
T.
Azuhata
,
T.
Sota
, and
S.
Nakamura
,
Appl. Phys. Lett.
69
,
4188
(
1996
);
S. F.
Chichibu
,
A.
Uedono
,
T.
Onuma
,
B. A.
Haskell
,
A.
Chakraborty
,
T.
Koyama
,
P. T.
Fini
,
S.
Keller
,
S. P.
DenBaars
,
J. S.
Speck
,
U. K.
Mishra
,
S.
Nakamura
,
S.
Yamaguchi
,
S.
Kamiyama
,
H.
Amano
,
I.
Akasaki
,
J.
Han
, and
T.
Sota
,
Nat. Mater.
5
,
810
(
2006
);
[PubMed]
precisely reviewed in
S. F.
Chichibu
,
ECS J. Solid State Sci. Technol.
9
,
015016
(
2020
).
20.
Y.
Narukawa
,
Y.
Kawakami
,
S.
Fujita
,
S.
Fujita
, and
S.
Nakamura
,
Phys. Rev. B
55
,
R1938
(
1997
).
21.
S. D.
Lester
,
F. A.
Ponce
,
M. G.
Crawford
, and
D. A.
Steigerwald
,
Appl. Phys. Lett.
66
,
1249
(
1995
).
22.
S.
Nakamura
,
Science
281
,
956
(
1998
).
23.
S. F.
Chichibu
,
H.
Miyake
, and
A.
Uedono
,
Jpn. J. Appl. Phys.
61
,
050501
(
2022
).
24.
D. V.
Dinh
,
N.
Hu
,
Y.
Honda
,
H.
Amano
, and
M.
Pristovsek
,
Semicond. Sci. Technol.
35
,
035004
(
2020
).
25.
T.
Onuma
,
S. F.
Chichibu
,
T.
Sota
,
S.
Yamaguchi
,
S.
Kamiyama
,
H.
Amano
, and
I.
Akasaki
,
J. Appl. Phys.
94
,
2449
(
2003
).
26.
K.
Wang
,
R. W.
Martin
,
D.
Amabile
,
P. R.
Edwards
,
S.
Hernandez
,
E.
Nogales
,
K. P.
O’Donnell
,
K.
Lorenz
,
E.
Alves
,
V.
Matias
,
A.
Vantomme
,
D.
Wolverson
, and
I. M.
Watson
,
J. Appl. Phys.
103
,
073510
(
2008
).
27.
S. F.
Chichibu
,
K.
Kojima
,
A.
Uedono
, and
Y.
Sato
,
Adv. Mater.
29
,
1603644
(
2017
).
28.
S. F.
Chichibu
,
K.
Shima
,
K.
Kojima
, and
Y.
Kangawa
,
Sci. Rep.
10
,
18570
(
2020
).
29.
R.
Krause-Rehberg
and
H. S.
Leipner
, in
Positron Annihilation in Semiconductors, Solid-State Sciences
(
Springer
,
Berlin
,
1999
), Vol.
127
.
30.
P. G.
Coleman
,
Positron Beams and Their Application
(
World Scientific
,
Singapore
,
2000
).
31.
K.
Saarinen
,
T.
Laine
,
S.
Kuisma
,
J.
Nissilä
,
P.
Hautojärvi
,
L.
Dobrzynski
,
J. M.
Baranowski
,
K.
Pakula
,
R.
Stepniewski
,
M.
Wojdak
,
A.
Wysmolek
,
T.
Suski
,
M.
Leszczynski
,
I.
Grzegory
, and
S.
Porowski
,
Phys. Rev. Lett.
79
,
3030
(
1997
).
32.
A.
Uedono
,
S. F.
Chichibu
,
Z. Q.
Chen
,
M.
Sumiya
,
R.
Suzuki
,
T.
Ohdaira
,
T.
Mikado
,
T.
Mukai
, and
S.
Nakamura
,
J. Appl. Phys.
90
,
181
(
2001
).
33.
F.
Tuomisto
and
I.
Makkonen
,
Rev. Mod. Phys.
85
,
1583
(
2013
).
34.
S. F.
Chichibu
,
A.
Uedono
,
T.
Onuma
,
T.
Sota
,
B. A.
Haskell
,
S. P.
DenBaars
,
J. S.
Speck
, and
S.
Nakamura
,
Appl. Phys. Lett.
86
,
021914
(
2005
);
S. F.
Chichibu
,
A.
Uedono
,
K.
Kojima
,
H.
Ikeda
,
K.
Fujito
,
S.
Takashima
,
M.
Edo
,
K.
Ueno
, and
S.
Ishibashi
,
J. Appl. Phys.
123
,
161413
(
2018
).
35.
S. F.
Chichibu
,
K.
Shima
,
K.
Kojima
,
S.
Takashima
,
M.
Edo
,
K.
Ueno
,
S.
Ishibashi
, and
A.
Uedono
,
Appl. Phys. Lett.
112
,
211901
(
2018
);
K.
Shima
,
H.
Iguchi
,
T.
Narita
,
K.
Kataoka
,
K.
Kojima
,
A.
Uedono
, and
S. F.
Chichibu
,
App. Phys. Lett.
113
,
191901
(
2018
).
36.
S. F.
Chichibu
,
H.
Miyake
,
Y.
Ishikawa
,
M.
Tashiro
,
T.
Ohtomo
,
K.
Furusawa
,
K.
Hazu
,
K.
Hiramatsu
, and
A.
Uedono
,
J. Appl. Phys.
113
,
213506
(
2013
).
37.
L. Y.
Li
,
K.
Shima
,
M.
Yamanaka
,
K.
Kojima
,
T.
Egawa
,
A.
Uedono
,
S.
Ishibashi
,
T.
Takeuchi
,
M.
Miyoshi
, and
S. F.
Chichibu
,
Appl. Phys. Lett.
119
,
091105
(
2021
).
38.
F.
Bertram
,
S.
Srinivasan
,
L.
Geng
,
F. A.
Ponce
,
T.
Riemann
, and
J.
Christen
,
Appl. Phys. Lett.
80
,
3524
(
2002
).
39.
K.
Nishizuka
,
M.
Funato
,
Y.
Kawakami
,
S.
Fujita
,
Y.
Narukawa
, and
T.
Mukai
,
Appl. Phys. Lett.
85
,
3122
(
2004
).
40.
A.
Chakraborty
,
S.
Keller
,
C.
Meier
,
B. A.
Haskell
,
S.
Keller
,
P.
Waltereit
,
S. P.
DenBaars
,
S.
Nakamura
,
J. S.
Speck
, and
U. K.
Mishra
,
Appl. Phys. Lett.
86
,
031901
(
2005
).
41.
H.
Tang
,
S.
Haffouz
,
A.
Powell
,
J. A.
Bardwell
, and
J.
Webb
,
Appl. Phys. Lett.
86
,
121110
(
2005
).
42.
T.
Koyama
,
T.
Onuma
,
H.
Masui
,
A.
Chakraborty
,
B. A.
Haskell
,
S.
Keller
,
U. K.
Mishra
,
J. S.
Speck
,
S.
Nakamura
,
S. P.
DenBaars
,
T.
Sota
, and
S. F.
Chichibu
,
Appl. Phys. Lett.
89
,
091906
(
2006
);
T.
Onuma
,
T.
Koyama
,
A.
Chakraborty
,
M.
McLaurin
,
B. A.
Haskell
,
P. T.
Fini
,
S.
Keller
,
S. P.
DenBaars
,
J. S.
Speck
,
S.
Nakamura
,
U. K.
Mishra
,
T.
Sota
, and
S. F.
Chichibu
,
J. Vac. Sci. Technol. B
25
,
1524
(
2007
);
S. F.
Chichibu
,
H.
Yamaguchi
,
L.
Zhao
,
M.
Kubota
,
T.
Onuma
,
K.
Okamoto
, and
H.
Ohta
,
Appl. Phys. Lett.
93
,
151908
(
2008
).
43.
H.
Yamada
,
K.
Iso
,
M.
Saito
.
K.
Fujito
,
S. P.
DenBaars
,
J. S.
Speck
, and
S.
Nakamura
,
Jpn. J. Appl. Phys.
46
,
L1117
(
2007
);
H.
Yamada
,
K.
Iso
,
H.
Masui
,
M.
Saito
.
K.
Fujito
,
S. P.
DenBaars
, and
S.
Nakamura
,
J. Cryst. Growth
310
,
4968
(
2008
).
44.
S.
Schulz
,
M. A.
Caro
,
L. T.
Tan
,
P. J.
Parbrook
,
R. W.
Martin
, and
E. P.
O’Reilly
,
Appl. Phys. Express
6
,
121001
(
2013
).
45.
S. F.
Chichibu
,
H.
Marchand
,
M. S.
Minsky
,
S.
Keller
,
P. T.
Fini
,
J. P.
Ibbetson
,
S. B.
Fleischer
,
J. S.
Speck
,
J. E.
Bowers
,
E.
Hu
,
U. K.
Mishra
,
S. P.
DenBaars
,
T.
Deguchi
,
T.
Sota
, and
S.
Nakamura
,
Appl. Phys. Lett.
74
,
1460
(
1999
).
46.
H.
Chen
,
R. M.
Feenstra
,
J. E.
Northrup
,
T.
Zywietz
,
J.
Neugebauer
, and
D. W.
Greve
,
J. Vac. Sci. Technol. B
18
,
2284
(
2000
).
47.
H.
Chen
,
R. M.
Feenstra
,
J.
Northrup
,
J.
Neugebauer
, and
D. W.
Greve
,
MRS Internet J. Nitride Semicond. Res.
6
,
11
(
2001
).
48.
M.
Moseley
,
J.
Lowder
,
D.
Billingsley
, and
W. A.
Doolittle
,
Appl. Phys. Lett.
97
,
191902
(
2010
).
49.
H.
Turski
,
M.
Siekacz
,
M.
Sawicka
,
Z. R.
Wasilewski
,
S.
Porowski
, and
C.
Skierbiszewski
,
Proc. SPIE
8625
,
862527
(
2013
).
50.
T.
Koyama
,
M.
Sugawara
,
T.
Hoshi
,
A.
Uedono
,
J. F.
Kaeding
,
R.
Sharma
,
S.
Nakamura
, and
S. F.
Chichibu
,
Appl. Phys. Lett.
90
,
241914
(
2007
).
51.
A.
Uedono
,
S.
Ishibashi
, private communication (2021).
52.
G.
Koblmuellera
,
R.
Averbeck
,
L.
Geelhaar
,
H.
Riechert
,
W.
Hoesler
, and
P.
Pongratz
,
J. Appl. Phys.
93
,
9591
(
2003
).
53.
A.
Uedono
,
K.
Tenjinbayashi
,
T.
Tsutsui
,
Y.
Shimahara
,
H.
Miyake
,
K.
Hiramatsu
,
N.
Oshima
,
R.
Suzuki
, and
S.
Ishibashi
,
J. Appl. Phys.
111
,
013512
(
2012
).
54.
S. F.
Chichibu
,
H.
Miyake
,
Y.
Ishikawa
,
K.
Furusawa
, and
K.
Hiramatsu
,
Appl. Phys. Lett.
107
,
121602
(
2015
).
55.
K.
Kojima
,
F.
Horikiri
,
Y.
Narita
,
T.
Yoshida
,
H.
Fujikura
, and
S. F.
Chichibu
,
Appl. Phys. Express
13
,
012004
(
2020
).
56.
T.
Aggerstam
,
A.
Pinos
,
S.
Marcinkevicius
,
M.
Linnarsson
, and
S.
Lourdudoss
,
J. Electron. Mater.
36
,
1621
(
2007
).
57.
S. F.
Chichibu
,
K.
Hazu
,
Y.
Ishikawa
,
M.
Tashiro
,
H.
Namita
,
S.
Nagao
,
K.
Fujito
, and
A.
Uedono
,
J. Appl. Phys.
111
,
103518
(
2012
).
58.
K.
Kawakami
,
T.
Nakano
, and
A. A.
Yamaguchi
,
Proc. SPIE
9748
,
97480S
(
2016
).
59.
V.
Liuolia
,
S.
Marcinkevičius
,
D.
Billingsley
,
M.
Shatalov
,
J.
Yang
,
R.
Gaska
, and
M. S.
Shur
,
Appl. Phys. Lett.
100
,
242104
(
2012
).
60.
S.
Schulz
,
M. A.
Caro
, and
E. P.
O’Reilly
,
Appl. Phys. Lett.
104
,
172102
(
2014
).
You do not currently have access to this content.