We designed, fabricated, and measured anti-reflection coating (ARC) on sapphire that has 116% fractional bandwidth and transmission of at least 97% in the millimeter wave band. The ARC was based on patterning pyramid-like sub-wavelength structures (SWS) using ablation with a 15 W femto-second laser operating at 1030 nm. One side of each of two disks was fabricated with SWS that had a pitch of 0.54 mm and a height of 2 mm. The average ablation volume removal rate was 1.6 mm/min. Measurements of the two-disk sandwich show transmission higher than 97% between 43 and 161 GHz. We characterize instrumental polarization (IP) arising from differential transmission due to asymmetric SWS. We find that with proper alignment of the two-disk sandwich, RMS IP across the band is predicted to be 0.07% at normal incidence and less than 0.6% at incidence angles up to . These results indicate that laser ablation of SWS on sapphire and on other hard materials such as alumina is an effective way to fabricate broadband ARC.
REFERENCES
1.
J. W.
Lamb
, “Miscellaneous data on materials for millimetre and submillimetre optics
,” Int. J. Infrared Millimeter Waves
17
(12
), 1997
–2034
(1996
). 2.
V. V.
Parshin
, R.
Heidinger
, B. A.
Andreev
, A. V.
Gusev
, and V. B.
Shmagin
, “Silicon as an advanced window material for high power gyrotrons
,” Int. J. Infrared Millimeter Waves
16
(5
), 863
–877
(1995
). 3.
G. E.
Childs
, L. J.
Ericks
, and R. L.
Powell
, “Thermal conductivity of solids at toom temperature and below,” Natl. Bur. Stand (U.S.) Monogram 131 (U.S. Department of Commerce, 1973).4.
R. J.
Thornton
, P. A. R.
Ade
, S.
Aiola
, F. E.
Angilè
, M.
Amiri
, J. A.
Beall
, D. T.
Becker
, H.-M.
Cho
, S. K.
Choi
, P.
Corlies
, K. P.
Coughlin
, R.
Datta
, M. J.
Devlin
, S. R.
Dicker
, R.
Dünner
, J. W.
Fowler
, A. E.
Fox
, P. A.
Gallardo
, J.
Gao
, E.
Grace
, M.
Halpern
, M.
Hasselfield
, S. W.
Henderson
, G. C.
Hilton
, A. D.
Hincks
, S. P.
Ho
, J.
Hubmayr
, K. D.
Irwin
, J.
Klein
, B.
Koopman
, D.
Li
, T.
Louis
, M.
Lungu
, L.
Maurin
, J.
McMahon
, C. D.
Munson
, S.
Naess
, F.
Nati
, L.
Newburgh
, J.
Nibarger
, M. D.
Niemack
, P.
Niraula
, M. R.
Nolta
, L. A.
Page
, C. G.
Pappas
, A.
Schillaci
, B. L.
Schmitt
, N.
Sehgal
, J. L.
Sievers
, S. M.
Simon
, S. T.
Staggs
, C.
Tucker
, M.
Uehara
, J.
van Lanen
, J. T.
Ward
, and E. J.
Wollack
, “The Atacama Cosmology Telescope: The polarization-sensitive ACTPol instrument
,” Astrophys. J. Suppl. Ser.
227
(2
), 21
(2016
). 5.
A. M.
Aboobaker
, P.
Ade
, D.
Araujo
, F.
Aubin
, C.
Baccigalupi
, C.
Bao
, D.
Chapman
, J.
Didier
, M.
Dobbs
, C.
Geach
, W.
Grainger
, S.
Hanany
, K.
Helson
, S.
Hillbrand
, J.
Hubmayr
, A.
Jaffe
, B.
Johnson
, T.
Jones
, J.
Klein
, A.
Korotkov
, A.
Lee
, L.
Levinson
, M.
Limon
, K.
MacDermid
, T.
Matsumura
, A. D.
Miller
, M.
Milligan
, K.
Raach
, B.
Reichborn-Kjennerud
, I.
Sagiv
, G.
Savini
, L.
Spencer
, C.
Tucker
, G. S.
Tucker
, B.
Westbrook
, K.
Young
, and K.
Zilic
, “The EBEX balloon-borne experiment—Optics, receiver, and polarimetry
,” Astrophys. J. Suppl. Ser.
239
(1
), 7
(2018
). 6.
J.
Sobrin
, P.
Ade
, Z.
Ahmed
, A. J.
Anderson
, J.
Avva
, R.
Basu Thakur
, A.
Bender
, B.
Benson
, J.
Carlstrom
, F.
Carter
, T.
Cecil
, C.
Chang
, J.
Ding
, A.
Harke-Hosemann
, J.
Henning
, T.
Khaire
, S.
Kuhlmann
, V.
Novosad
, J.
Pearson
, C.
Posada
, G.
Wang
, and V.
Yefremenko
, Proc. SPIE
10708, 107081H (2018). 7.
D.
Kaneko
, S.
Adachi
, P. A. R.
Ade
, M.
Aguilar Faúndez
, Y.
Akiba
, K.
Arnold
, C.
Baccigalupi
, D.
Barron
, D.
Beck
, S.
Beckman
, F.
Bianchini
, D.
Boettger
, J.
Borrill
, J.
Carron
, S.
Chapman
, K.
Cheung
, Y.
Chinone
, K.
Crowley
, A.
Cukierman
, M.
Dobbs
, R.
Dünner
, H.
El-Bouhargani
, T.
Elleflot
, J.
Errard
, G.
Fabbian
, S. M.
Feeney
, C.
Feng
, T.
Fujino
, N.
Galitzki
, A.
Gilbert
, N.
Goeckner-Wald
, J.
Groh
, G.
Hall
, N. W.
Halverson
, T.
Hamada
, M.
Hasegawa
, M.
Hazumi
, C. A.
Hill
, L.
Howe
, Y.
Inoue
, G.
Jaehnig
, O.
Jeong
, N.
Katayama
, B.
Keating
, R.
Keskitalo
, S.
Kikuchi
, T.
Kisner
, N.
Krachmalnicoff
, A.
Kusaka
, A. T.
Lee
, D.
Leon
, E.
Linder
, L. N.
Lowry
, A.
Mangu
, F.
Matsuda
, Y.
Minami
, M.
Navaroli
, H.
Nishino
, J.
Peloton
, A. T. P.
Pham
, D.
Poletti
, G.
Puglisi
, C. L.
Reichardt
, C.
Ross
, Y.
Segawa
, M.
Silva-Feaver
, P.
Siritanasak
, N.
Stebor
, R.
Stompor
, A.
Suzuki
, O.
Tajima
, S.
Takakura
, S.
Takatori
, D.
Tanabe
, G. P.
Teply
, T.
Tomaru
, C.
Tsai
, C.
Verges
, B.
Westbrook
, and Y.
Zhou
, “Deployment of polarbear-2a
,” J. Low Temp. Phys.
199
(3
), 1137
–1147
(2020
). 8.
H. K.
Raut
, V.
Anand Ganesh
, A.
Sreekumaran Nair
, and S.
Ramakrishna
, “Anti-reflective coatings: A critical, in-depth review,” Energy Environ. Sci.
4, 3779–3804 (2011). 9.
R. W.
Klopfenstein
, “A transmission line taper of improved design
,” Proc. IRE
44
(1
), 31
–35
(1956
). 10.
B. R.
Johnson
, J.
Collins
, M. E.
Abroe
, P. A. R.
Ade
, J.
Bock
, J.
Borrill
, A.
Boscaleri
, P.
de Bernardis
, S.
Hanany
, A. H.
Jaffe
, T.
Jones
, A. T.
Lee
, L.
Levinson
, T.
Matsumura
, B.
Rabii
, T.
Renbarger
, P. L.
Richards
, G. F.
Smoot
, R.
Stompor
, H. T.
Tran
, C. D.
Winant
, J. H. P.
Wu
, and J.
Zuntz
, “MAXIPOL: Cosmic microwave background polarimetry using a rotating half-wave plate
,” Astrophys. J.
665
(1
), 42
–54
(2007
). 11.
S. M.
Simon
, J. A.
Beall
, N. F.
Cothard
, S. M.
Duff
, P. A.
Gallardo
, S. P.
Ho
, J.
Hubmayr
, B. J.
Koopman
, J. J.
McMahon
, F.
Nati
, M. D.
Niemack
, S. T.
Staggs
, E. M.
Vavagiakis
, and E. J.
Wollack
, “The Advanced ACTpol 27/39 GHz array
,” J. Low Temp. Phys.
193
(5
), 1041
–1047
(2018
). 12.
N.
Galitzki
, A.
Ali
, K. S.
Arnold
, P. C.
Ashton
, J. E.
Austermann
, C.
Baccigalupi
, T.
Baildon
, D.
Barron
, J. A.
Beall
, S.
Beckman
, S. M. M.
Bruno
, S.
Bryan
, P. G.
Calisse
, G. E.
Chesmore
, Y.
Chinone
, S. K.
Choi
, G.
Coppi
, K. D.
Crowley
, K. T.
Crowley
, A.
Cukierman
, M. J.
Devlin
, S.
Dicker
, B.
Dober
, S. M.
Duff
, J.
Dunkley
, G.
Fabbian
, P. A.
Gallardo
, M.
Gerbino
, N.
Goeckner-Wald
, J. E.
Golec
, J. E.
Gudmundsson
, E. E.
Healy
, S.
Henderson
, C. A.
Hill
, G. C.
Hilton
, S.-P.
Patty Ho
, L. A.
Howe
, J.
Hubmayr
, O.
Jeong
, B.
Keating
, B. J.
Koopman
, K.
Kiuchi
, A.
Kusaka
, J.
Lashner
, A. T.
Lee
, Y.
Li
, M.
Limon
, M.
Lungu
, F.
Matsuda
, P. D.
Mauskopf
, A. J.
May
, N.
McCallum
, J.
McMahon
, F.
Nati
, M. D.
Niemack
, J. L.
Orlowski-Scherer
, S. C.
Parshley
, L.
Piccirillo
, M.
Sathyanarayana Rao
, C.
Raum
, M.
Salatino
, J. S.
Seibert
, C.
Sierra
, M.
Silva-Feaver
, S. M.
Simon
, S. T.
Staggs
, J. R.
Stevens
, A.
Suzuki
, G.
Teply
, R.
Thornton
, C.
Tsai
, J. N.
Ullom
, E. M.
Vavagiakis
, M. R.
Vissers
, B.
Westbrook
, E. J.
Wollack
, Z.
Xu
, and N.
Zhu
, Proc. SPIE
10708, 1070804 (2018). 13.
14.
B. J.
Dober
, P. A. R.
Ade
, P.
Ashton
, F. E.
Angilè
, J. A.
Beall
, D.
Becker
, K. J.
Bradford
, G.
Che
, H.-M.
Cho
, M. J.
Devlin
, L. M.
Fissel
, Y.
Fukui
, N.
Galitzki
, J.
Gao
, C. E.
Groppi
, S.
Hillbrand
, G. C.
Hilton
, J.
Hubmayr
, K. D.
Irwin
, J.
Klein
, J.
Van Lanen
, D.
Li
, Z.-Y.
Li
, N. P.
Lourie
, H.
Mani
, P. G.
Martin
, P.
Mauskopf
, F.
Nakamura
, G.
Novak
, D. P.
Pappas
, E.
Pascale
, F. P.
Santos
, G.
Savini
, D.
Scott
, S.
Stanchfield
, J. N.
Ullom
, M.
Underhill
, M. R.
Vissers
, and D.
Ward-Thompson
, Proc. SPIE
9153, 91530H (2014). 15.
N. P.
Lourie
, P. A. R.
Ade
, F. E.
Angile
, P. C.
Ashton
, J. E.
Austermann
, M. J.
Devlin
, B.
Dober
, N.
Galitzki
, J.
Gao
, S.
Gordon
, C. E.
Groppi
, J.
Klein
, G. C.
Hilton
, J.
Hubmayr
, D.
Li
, I.
Lowe
, H.
Mani
, P.
Mauskopf
, C. M.
McKenney
, F.
Nati
, G.
Novak
, E.
Pascale
, G.
Pisano
, A.
Sinclair
, J. D.
Soler
, C.
Tucker
, J. N.
Ullom
, M.
Vissers
, and P. A.
Williams
, Proc. SPIE
10708, 107080L (2018). 16.
A.
Monfardini
, C.
Tucker
, P. A. R.
Ade
, A.
Shitvov
, A.
Benoit
, M.
Calvo
, A.
Catalano
, J.
Goupy
, S.
Leclercq
, J.
Macias-Perez
, A.
Andrianasolo
, N.
Ponthieu
, G.
Pisano
, and A.
Ritacco
, Development and application of metamaterial-based Half-Wave plates for the NIKA and NIKA2 polarimeters, arXiv:2006.12081.17.
H.
Sugai
, P. A. R.
Ade
, Y.
Akiba
, D.
Alonso
, K.
Arnold
, J.
Aumont
, J.
Austermann
, C.
Baccigalupi
, A. J.
Banday
, R.
Banerji
, R. B.
Barreiro
, S.
Basak
, J.
Beall
, S.
Beckman
, M.
Bersanelli
, J.
Borrill
, F.
Boulanger
, M. L.
Brown
, M.
Bucher
, A.
Buzzelli
, E.
Calabrese
, F. J.
Casas
, A.
Challinor
, V.
Chan
, Y.
Chinone
, J.-F.
Cliche
, F.
Columbro
, A.
Cukierman
, D.
Curtis
, P.
Danto
, P.
de Bernardis
, T.
de Haan
, M.
De Petris
, C.
Dickinson
, M.
Dobbs
, T.
Dotani
, L.
Duband
, A.
Ducout
, S.
Duff
, A.
Duivenvoorden
, J.-M.
Duval
, K.
Ebisawa
, T.
Elleflot
, H.
Enokida
, H. K.
Eriksen
, J.
Errard
, T.
Essinger-Hileman
, F.
Finelli
, R.
Flauger
, C.
Franceschet
, U.
Fuskeland
, K.
Ganga
, J.-R.
Gao
, R.
Génova-Santos
, T.
Ghigna
, A.
Gomez
, M. L.
Gradziel
, J.
Grain
, F.
Grupp
, A.
Gruppuso
, J. E.
Gudmundsson
, N. W.
Halverson
, P.
Hargrave
, T.
Hasebe
, M.
Hasegawa
, M.
Hattori
, M.
Hazumi
, S.
Henrot-Versille
, D.
Herranz
, C.
Hill
, G.
Hilton
, Y.
Hirota
, E.
Hivon
, R.
Hlozek
, D.-T.
Hoang
, J.
Hubmayr
, K.
Ichiki
, T.
Iida
, H.
Imada
, K.
Ishimura
, H.
Ishino
, G. C.
Jaehnig
, M.
Jones
, T.
Kaga
, S.
Kashima
, Y.
Kataoka
, N.
Katayama
, T.
Kawasaki
, R.
Keskitalo
, A.
Kibayashi
, T.
Kikuchi
, K.
Kimura
, T.
Kisner
, Y.
Kobayashi
, N.
Kogiso
, A.
Kogut
, K.
Kohri
, E.
Komatsu
, K.
Komatsu
, K.
Konishi
, N.
Krachmalnicoff
, C. L.
Kuo
, N.
Kurinsky
, A.
Kushino
, M.
Kuwata-Gonokami
, L.
Lamagna
, M.
Lattanzi
, A. T.
Lee
, E.
Linder
, B.
Maffei
, D.
Maino
, M.
Maki
, A.
Mangilli
, E.
Martínez-González
, S.
Masi
, R.
Mathon
, T.
Matsumura
, A.
Mennella
, M.
Migliaccio
, Y.
Minami
, K.
Mistuda
, D.
Molinari
, L.
Montier
, G.
Morgante
, B.
Mot
, Y.
Murata
, J. A.
Murphy
, M.
Nagai
, R.
Nagata
, S.
Nakamura
, T.
Namikawa
, P.
Natoli
, S.
Nerval
, T.
Nishibori
, H.
Nishino
, Y.
Nomura
, F.
Noviello
, C.
O’Sullivan
, H.
Ochi
, H.
Ogawa
, H.
Ohsaki
, I.
Ohta
, N.
Okada
, L.
Pagano
, A.
Paiella
, D.
Paoletti
, G.
Patanchon
, F.
Piacentini
, G.
Pisano
, G.
Polenta
, D.
Poletti
, T.
Prouvé
, G.
Puglisi
, D.
Rambaud
, C.
Raum
, S.
Realini
, M.
Remazeilles
, G.
Roudil
, J. A.
Rubiño-Martín
, M.
Russell
, H.
Sakurai
, Y.
Sakurai
, M.
Sandri
, G.
Savini
, D.
Scott
, Y.
Sekimoto
, B. D.
Sherwin
, K.
Shinozaki
, M.
Shiraishi
, P.
Shirron
, G.
Signorelli
, G.
Smecher
, P.
Spizzi
, S. L.
Stever
, R.
Stompor
, S.
Sugiyama
, A.
Suzuki
, J.
Suzuki
, E.
Switzer
, R.
Takaku
, H.
Takakura
, S.
Takakura
, Y.
Takeda
, A.
Taylor
, E.
Taylor
, Y.
Terao
, K. L.
Thompson
, B.
Thorne
, M.
Tomasi
, H.
Tomida
, N.
Trappe
, M.
Tristram
, M.
Tsuji
, M.
Tsujimoto
, C.
Tucker
, J.
Ullom
, S.
Uozumi
, S.
Utsunomiya
, J.
Van Lanen
, G.
Vermeulen
, P.
Vielva
, F.
Villa
, M.
Vissers
, N.
Vittorio
, F.
Voisin
, I.
Walker
, N.
Watanabe
, I.
Wehus
, J.
Weller
, B.
Westbrook
, B.
Winter
, E.
Wollack
, R.
Yamamoto
, N. Y.
Yamasaki
, M.
Yanagisawa
, T.
Yoshida
, J.
Yumoto
, M.
Zannoni
, and A.
Zonca
, “Updated design of the CMB polarization experiment satellite LiteBIRD
,” J. Low Temp. Phys.
199
, 1107
–1117
(2020
). 18.
19.
L. A. O.
Araujo
, C. R.
Foschini
, R. G.
Jasinevícius
, and C. A.
Fortulan
, “Precision dicing of hard materials with abrasive blade
,” Int. J. Adv. Manuf. Technol.
86
(9
), 2885
–2894
(2016
). 20.
V. K.
Jain
, S. K.
Choudhury
, and K. M.
Ramesh
, “On the machining of alumina and glass
,” Int. J. Mach. Tools Manuf.
42
(11
), 1269
–1276
(2002
). 21.
I. P.
Tuersley
, A.
Jawaid
, and I. R.
Pashby
, “Review: Various methods of machining advanced ceramic materials
,” J. Mater. Proc. Technol.
42
(4
), 377
–390
(1994
). 22.
H. A.
Kishawy
and A.
Hoseini
, Machining Difficult to Cut Materials: Basic Principles and Challenges
(Springer International Publishing
, 2019
).23.
H.
Li
, S.-Y.
Li
, Y.
Liu
, Y.-P.
Li
, Y.
Cai
, M.
Li
, G.-B.
Zhao
, C.-Z.
Liu
, Z.-W.
Li
, H.
Xu
, D.
Wu
, Y.-J.
Zhang
, Z.-H.
Fan
, Y.-Q.
Yao
, C.-L.
Kuo
, F.-J.
Lu
, and X.
Zhang
, “Probing primordial gravitational waves: Ali CMB polarization telescope
,” Nat. Sci. Rev.
6
(1
), 145
–154
(2018
). 24.
T.
Matsumura
, K.
Young
, Q.
Wen
, S.
Hanany
, H.
Ishino
, Y.
Inoue
, M.
Hazumi
, J.
Koch
, O.
Suttman
, and V.
Schütz
, “Millimeter-wave broadband antireflection coatings using laser ablation of subwavelength structures
,” Appl. Opt.
55
(13
), 3502
–3509
(2016
). 25.
K.
Young
, Q.
Wen
, S.
Hanany
, H.
Imada
, J.
Koch
, T.
Matsumura
, O.
Suttmann
, and V.
Schütz
, “Broadband millimeter-wave anti-reflection coatings on silicon using pyramidal sub-wavelength structures
,” J. Appl. Phys.
121
(21
), 213103
(2017
). 26.
V.
Schütz
, K.
Young
, T.
Matsumura
, S.
Hanany
, J.
Koch
, O.
Suttmann
, L.
Overmeyer
, and Q.
Wen
, “Laser processing of sub-wavelength structures on sapphire and alumina for millimeter wavelength broadband anti-reflection coatings
,” J. Laser Micro Nanoeng.
11
, 204
–209
(2016
).27.
T.
Matsumura
, R.
Takaku
, S.
Hanany
, H.
Imada
, H.
Ishino
, N.
Katayama
, Y.
Kobayashi
, K.
Komatsu
, K.
Konishi
, M.
Kuwata-Gonokami
, S.
Nakamura
, H.
Sakurai
, Y.
Sakurai
, Q.
Wen
, K.
Young
, and J.
Yumoto
, “Prototype demonstration of the broadband anti-reflection coating on sapphire using a sub-wavelength structure,” in 29th IEEE International Symposium on Space Terahertz Technology, ISSTT 2018, 26–28 March 2018 [The National Radio Astronomy Observatory (NRAO), 2018], pp. 54–60; available at https://www.nrao.edu/meetings/isstt/index.shtml.28.
J.
Bonse
, S.
Baudach
, J.
Krüger
, W.
Kautek
, and M.
Lenzner
, “Femtosecond laser ablation of silicon-modification thresholds and morphology
,” Appl. Phys. A
74
(1
), 19
–25
(2002
). 29.
J.
Ihlemann
, A.
Scholl
, H.
Schmidt
, and B.
Wolff-Rottke
, “Nanosecond and femtosecond excimer-laser ablation of oxide ceramics
,” Appl. Phys. A
60
(4
), 411
–417
(1995
). 30.
X. C.
Wang
, G. C.
Lim
, H. Y.
Zheng
, F. L.
Ng
, W.
Liu
, and S. J.
Chua
, “Femtosecond pulse laser ablation of sapphire in ambient air
,” Appl. Surf. Sci.
228
(1
), 221
–226
(2004
). 31.
H.
Sakurai
, N.
Nemoto
, K.
Konishi
, R.
Takaku
, Y.
Sakurai
, N.
Katayama
, T.
Matsumura
, J.
Yumoto
, and M.
Kuwata-Gonokami
, “Terahertz broadband anti-reflection moth-eye structures fabricated by femtosecond laser processing
,” OSA Continuum
2
(9
), 2764
–2772
(2019
). 32.
E. B.
Grann
, M. G.
Moharam
, and D. A.
Pommet
, “Optimal design for antireflective tapered two-dimensional subwavelength grating structures
,” J. Opt. Soc. Am. A
12
(2
), 333
–339
(1995
). 33.
F. T.
Chen
and H. G.
Craighead
, “Diffractive phase elements based on two-dimensional artificial dielectrics
,” Opt. Lett.
20
(2
), 121
–123
(1995
). 34.
R.
Bräuer
and O.
Bryngdahl
, “Design of antireflection gratings with approximate and rigorous methods
,” Appl. Opt.
33
(34
), 7875
–7882
(1994
). 35.
T. K.
Gaylord
and M. G.
Moharam
, “Analysis and applications of optical diffraction by gratings
,” Proc. IEEE
73
(5
), 894
–937
(1985
). 36.
M. G.
Moharam
, E. B.
Grann
, D. A.
Pommet
, and T. K.
Gaylord
, “Formulation for stable and efficient implementation of the rigorous coupled-wave analysis of binary gratings
,” J. Opt. Soc. Am. A
12
(5
), 1068
–1076
(1995
). 37.
Synopsys, See https://www.synopsys.com/photonic-solutions/rsoft-photonic-device-tools/passive-device-diffractmod.html for “DiffractMOD Product Overview.”
38.
S.
Pancharatnam
, “Achromatic combinations of birefringent plates. Part I. An achromatic circular polarizer
,” Indian Acad. Sci.
41
, 130
–136
(1995
). 39.
K.
Komatsu
, T.
Matsumura
, H.
Imada
, H.
Ishino
, N.
Katayama
, and Y.
Sakurai
, “Demonstration of the broadband half-wave plate using the nine-layer sapphire for the cosmic microwave background polarization experiment
,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst.
5
(4
), 1
–14
(2019
). 40.
J.
Ruze
, “Antenna tolerance theory—A review
,” Proc. IEEE
54
(4
), 633
–640
(1966
). 41.
42.
S.
Hanany
, J.
Hubmayr
, B. R.
Johnson
, T.
Matsumura
, P.
Oxley
, and M.
Thibodeau
, “Millimeter-wave achromatic half-wave plate
,” Appl. Opt.
44
(22
), 4666
–4670
(2005
). 43.
C.
Brückner
, B.
Pradarutti
, O.
Stenzel
, R.
Steinkopf
, S.
Riehemann
, G.
Notni
, and A.
Tünnermann
, “Broadband antireflective surface-relief structure for THz optics
,” Opt. Express
15
(3
), 779
–789
(2007
). 44.
B.
Neuenschwander
, B.
Jaeggi
, M.
Schmid
, V.
Rouffiange
, and P.-E.
Martin
, Proc. SPIE
8243, 824307 (2012). 45.
P.
Boerner
, M.
Hajri
, N.
Ackerl
, and K.
Wegener
, “Experimental and theoretical investigation of ultrashort pulsed laser ablation of diamond
,” J. Laser Appl.
31
(2
), 022202
(2019
). © 2020 Author(s).
2020
Author(s)
You do not currently have access to this content.
