An in situ approach to the formation of cavities in liquid Sn droplets for the purpose of increasing ion density from Sn plasma produced by a CO2 laser is investigated. Two-dimensional hydrodynamic simulations, treating the laser as a pulsed pressure source, are compared both spatially and temporally to experimental shadowgraphs for verification of cavity formation. It is shown that a 15 ns pulse from a 1.064 μm laser with intensity of 2 × 1010 W/cm2 creates a cavity approximately 300 μm wide and 100 μm deep in approximately 1.4 μs. The presence of the cavity enhances the conversion of laser energy to 13.5 nm radiation from the plasma.

1.
P. J.
Silverman
,
J. Microlighogr., Microfabr., Microsyt.
4
,
011006
(
2005
).
2.
S.
Bajt
,
J.
Alameda
,
T.
Barbee
, Jr.
,
W.
Clift
,
J.
Folta
,
B.
Kaufmann
, and
E.
Spiller
,
Opt. Eng.
41
,
1797
(
2002
).
3.
G.
O’Sullivan
and
R.
Faulkner
,
Opt. Eng.
33
,
3978
(
1994
).
4.
Y.
Tao
,
H.
Nishimura
,
T.
Okuno
,
S.
Fujioka
,
N.
Ueda
,
M.
Nakai
,
K.
Nagai
,
T.
Norimatsu
,
N.
Miyanaga
, and
K.
Nishihara
,
Appl. Phys. Lett.
87
,
241502
(
2005
).
5.
M.
Richardson
,
C.
Koay
,
K.
Takenoshita
,
C.
Keyser
, and
M.
Al-Rabban
,
J. Vac. Sci. Technol., B
22
,
785
(
2004
).
6.
S.
Yuspeh
,
K. L.
Sequoia
,
Y.
Tao
,
M. S.
Tillack
,
R.
Burdt
, and
F.
Najmabadi
,
Appl. Phys. Lett.
93
,
221503
(
2008
).
7.
A.
Sunahara
,
A.
Sasaki
, and
K.
Nishihara
,
J. Phys.: Conf. Ser.
112
,
042048
(
2008
).
8.
K.
Okazaki
,
D.
Nakamura
,
T.
Akiyama
,
K.
Toya
,
A.
Takahashi
, and
T.
Okada
,
Proc. SPIE
7201
,
72010T
(
2009
).
9.
Y.
Tao
,
M. S.
Tillack
,
S. S.
Harilal
,
K. L.
Sequoia
, and
F.
Najmabadi
,
J. Appl. Phys.
101
,
023305
(
2007
).
10.
Y.
Ueno
,
G.
Soumagne
,
A.
Sumitani
,
A.
Endo
, and
T.
Higashiguchi
,
Appl. Phys. Lett.
91
,
231501
(
2007
).
11.
S.
Harilal
,
T.
Sizyuk
,
V.
Sizyuk
, and
A.
Hassanein
,
Appl. Phys. Lett.
96
,
111503
(
2010
).
12.
D.
Brandt
,
I.
Fomenkov
,
A.
Ershov
,
W.
Partlo
,
D.
Myers
,
N.
Böwering
,
N.
Farrar
,
G.
Vaschenko
,
O.
Khodykin
, and
A.
Bykanov
,
Proc. SPIE
7271
,
727103
(
2009
).
13.
Y.
Ueno
,
T.
Yanagida
,
T.
Suganuma
,
H.
Komori
,
A.
Sumitani
, and
A.
Endo
,
Proc. SPIE
7361
,
73610X
(
2009
).
14.
J.
Larson
,
h2d, Cascade Applied Sciences Incorporated
,
Longmont, CO
.
15.
S.
Atzeni
and
J.
Meyer-ter-Vehn
,
The Physics of Inertial Fusion.
(
Clarendon
,
New York
,
2004
).
16.
F.
Dahmani
and
T.
Kerdja
,
Laser Part Beams
9
,
769
(
1991
).
17.
A.
Ng
,
D.
Pasini
,
P.
Celliers
,
D.
Parfeniuk
,
L.
Da Silva
, and
J.
Kwan
,
Appl. Phys. Lett.
45
,
1046
(
1984
).
18.
R.
Burdt
,
S.
Yuspeh
,
K.
Sequoia
,
Y.
Tao
,
M.
Tillack
, and
F.
Najmabadi
,
J. Appl. Phys.
106
,
033310
(
2009
).
19.
S.
Yuspeh
,
K. L.
Sequoia
,
Y.
Tao
,
M. S.
Tillack
,
R. A.
Burdt
, and
F.
Najmabadi
,
Appl. Phys. Lett.
96
,
261501
(
2010
).
20.
I.
Fomenkov
,
D.
Brandt
,
A.
Bykanov
,
A.
Ershov
,
W.
Partlo
,
D.
Myers
,
N.
Böwering
,
N.
Farrar
,
G.
Vaschenko
, and
O.
Khodykin
,
Proc. SPIE
7271
,
727138
(
2009
).
21.
D.
Brandt
,
I.
Fomenkov
,
A.
Ershov
,
W.
Partlo
,
D.
Myers
,
D.
Brown
,
R.
Sandstrom
,
B.
LaFontaine
,
A.
Bykanov
,
G.
Vaschenko
,
O.
Khodykin
,
N.
Bowering
,
P.
Das
,
V.
Fleurov
,
K.
Zhang
,
S.
Srivastava
,
I.
Ahmad
,
C.
Rajyaguru
,
S.
De Dea
,
R.
Hou
,
W.
Dunstan
,
P.
Baumgart
,
T.
Isihara
,
R.
Simmons
,
R.
Jacques
, and
R.
Bergstedt
, presented at the International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography,
Kobe, Japan
,
2010
.
22.
Y.
Tao
,
M. S.
Tillack
,
K. L.
Sequoia
,
R. A.
Burdt
,
S.
Yuspeh
, and
F.
Najmabadi
,
Appl. Phys. Lett.
92
,
251501
(
2008
).
You do not currently have access to this content.