The last decade has witnessed significant advances in energy harvesting technologies as a possible alternative to provide a continuous power supply for small, low-power devices in applications, such as wireless sensing, data transmission, actuation, and medical implants. Piezoelectric energy harvesting (PEH) has been a salient topic in the literature and has attracted widespread attention from researchers due to its advantages of simple architecture, high power density, and good scalability. This paper presents a comprehensive review on the state-of-the-art of piezoelectric energy harvesting. Various key aspects to improve the overall performance of a PEH device are discussed, including basic fundamentals and configurations, materials and fabrication, performance enhancement mechanisms, applications, and future outlooks.

1.
M. Z.
Jacobson
,
M. A.
Delucchi
,
Z. A. F.
Bauer
,
S. C.
Goodman
,
W. E.
Chapman
, and
M. A.
Cameron
,
Joule
1
(
1
),
108
121
(
2017
).
2.
T. W.
Brown
,
T.
Bischof-Niemz
,
K.
Blok
,
C.
Breyer
,
H.
Lund
, and
B. V.
Mathiesen
,
Renewable Sustainable Energy Rev.
92
,
834
847
(
2018
).
3.
J. A.
Paradiso
and
T.
Starner
,
IEEE Pervasive Comput.
4
(
1
),
18
27
(
2005
).
4.
P. D.
Mitcheson
,
E. M.
Yeatman
, and
G. K.
Rao
,
Proc. IEEE
96
(
9
),
1457
1486
(
2008
).
5.
C.
Wei
and
X.
Jing
,
Renew. Sust. Energy Rev.
74
,
1
18
(
2017
).
6.
A.
Dewan
,
S. U.
Ay
,
M. N.
Karim
, and
H.
Beyenal
,
J. Power Sources
245
(
1
),
129
143
(
2014
).
7.
K. V.
Selvan
and
M. S.
Mohamed Ali
,
Renewable Sustainable Energy Rev.
54
,
1035
1047
(
2016
).
8.
See https://perpetuum.com/ for commercial energy harvester from Perpetuum Ltd.
9.
J.
He
,
T.
Wen
,
S.
Qian
,
Z.
Zhang
,
Z.
Tian
,
J.
Zhu
,
J.
Mu
,
X.
Hou
,
W.
Geng
, and
J.
Cho
,
Nano Energy
43
,
326
339
(
2018
).
10.
D. P.
Arnold
,
IEEE Trans. Magn.
43
(
11
),
3940
3951
(
2007
).
11.
Y.
Suzuki
,
IEEJ Trans. Electr. Electron. Eng.
6
(
2
),
101
111
(
2011
).
12.
H.
Liu
,
K. H.
Koh
, and
C.
Lee
,
Appl. Phys. Lett.
104
(
5
),
053901
(
2014
).
13.
H.
Liu
,
Z.
Ji
,
T.
Chen
,
L.
Sun
,
S. C.
Menon
, and
C.
Lee
,
IEEE Sens. J.
15
(
9
),
4782
4790
(
2015
).
14.
K.
Tao
,
L. H.
Tang
,
J.
Wu
,
S. W.
Lye
,
H. L.
Chang
, and
J. M.
Miao
,
J. Microelectromech. Syst.
27
(
2
),
276
288
(
2018
).
15.
Y.
Zhang
,
T.
Wang
,
A.
Luo
,
Y.
Hu
,
X.
Li
, and
F.
Wang
,
Appl. Energy
212
,
362
371
(
2018
).
16.
S. H.
Wang
,
L.
Lin
, and
Z. L.
Wang
,
Nano Lett.
12
(
12
),
6339
6346
(
2012
).
17.
W.
Jiang
,
H.
Li
,
Z.
Liu
,
Z.
Li
,
J.
Tian
,
B.
Shi
,
Y.
Zou
,
H.
Ouyang
,
C.
Zhao
,
L.
Zhao
,
R.
Sun
,
H.
Zheng
,
Y.
Fan
,
Z. L.
Wang
, and
Z.
Li
,
Adv. Mater.
30
(
32
),
1801895
(
2018
).
18.
L.
Chen
,
Q.
Shi
,
Y.
Sun
,
T.
Nguyen
,
C.
Lee
, and
S.
Soh
,
Adv. Mater.
30
,
1802405
(
2018
).
19.
S.
Roundy
,
IEEE Pervasive Comput.
4
(
1
),
28
36
(
2005
).
20.
S.
Roundy
and
P. K.
Wright
,
Smart Mater. Struct.
13
(
5
),
1131
1142
(
2004
).
21.
Z.
Yang
,
S.
Zhou
,
J.
Zu
, and
D.
Inman
,
Joule
,
S2542435118301260
(
2018
).
22.
Z. L.
Wang
,
ACS Nano
7
(
11
),
9533
(
2013
).
23.
Z. L.
Wang
,
Nano Energy
54
,
477
483
(
2018
).
24.
F. U.
Khan
,
J. Renewable Sustainable Energy
8
(
4
),
044702
(
2016
).
25.
F. K.
Shaikh
and
S.
Zeadally
,
Renewable Sustainable Energy Rev.
55
,
1041
1054
(
2016
).
26.
Y.
Bai
,
H.
Jantunen
, and
J.
Juuti
,
Adv. Mater.
30
(
34
),
1707271
(
2018
).
27.
E.
Arroyo
,
A.
Badel
, and
F.
Formosa
,
Sens. Actuators, A
183
,
148
156
(
2012
).
28.
A. R. M.
Siddique
,
S.
Mahmud
, and
B. V.
Heyst
,
Energy Convers. Manage.
106
,
728
747
(
2015
).
29.
K. Y.
Lee
,
M. K.
Gupta
, and
S. W.
Kim
,
Nano Energy
14
,
139
160
(
2015
).
30.
H.
Li
,
C.
Tian
, and
Z. D.
Deng
,
Appl. Phys. Rev.
1
(
4
),
041301
(
2014
).
31.
A.
Toprak
and
O.
Tigli
,
Appl. Phys. Rev.
1
(
3
),
031104
(
2014
).
32.
C. R.
Bowen
,
H. A.
Kim
, and
P. M.
Weaver
,
Energy Environ. Sci.
7
(
1
),
25
44
(
2014
).
33.
G.
M′boungui
,
K.
Adendorffand
, and
R.
Naidoo
,
Renewable Sustainable Energy Rev.
49
,
1136
1144
(
2015
).
34.
S.
Saadon
and
O.
Sidek
,
Energy Convers. Manage.
52
(
1
),
500
504
(
2011
).
35.
M. T.
Todaro
,
F.
Guido
, and
V.
Mastronardi
,
Microelectron. Eng.
183–184
,
23
36
(
2017
).
36.
J.
Briscoe
and
S.
Dunn
,
Nano Energy
14
,
15
29
(
2015
).
37.
S. H.
Lee
,
K. J.
Chang
, and
G. T.
Hwang
,
Nano Energy
14
,
111
125
(
2015
).
38.
H.
Wu
,
Y.
Huang
, and
F.
Xu
,
Adv. Mater.
28
(
45
),
9881
9919
(
2016
).
39.
A.
Erturk
and
D. J.
Inman
,
Piezoelectric Energy Harvesting
(
John Wiley & Sons
,
New York
,
2011
).
40.
T.
Rödig
,
A.
Schönecker
, and
G.
Gerlach
,
J. Am. Ceram. Soc.
93
(
4
),
901
912
(
2010
).
41.
S.-H.
Baek
,
M. S.
Rzchowski
, and
V. A.
Aksyuk
,
MRS Bull.
37
(
11
),
1022
1029
(
2012
).
42.
X.
Chou
,
J.
Zhu
,
S.
Qian
,
X.
Niu
,
J.
Qian
,
X.
Hou
,
J.
Mu
,
W.
Geng
,
J.
Cho
,
J.
He
, and
C.
Xue
,
Nano Energy
53
,
550
558
(
2018
).
43.
K.
Shibata
,
R.
Wang
,
T.
Tou
, and
J.
Koruza
,
MRS Bull.
43
(
8
),
612
616
(
2018
).
44.
Q. M.
Wang
,
X. H.
Du
,
B.
Xu
, and
L. E.
Cross
,
J. Appl. Phys.
85
(
3
),
1702
1712
(
1999
).
45.
B. S.
Lee
,
S. C.
Lin
,
W. J.
Wu
,
X. Y.
Wang
,
P. Z.
Chang
, and
C. K.
Lee
,
J. Micromech. Microeng.
19
(
6
),
065014
(
2009
).
46.
S. B.
Kim
,
H.
Park
,
S. H.
Kim
,
H. C.
Wikle
 III
,
J. H.
Park
, and
D. J.
Kim
,
J. Micorelectromech. Syst.
22
(
1
),
26
33
(
2013
).
47.
L.
Mateu
and
F.
Moll
,
J. Intell. Mater. Syst. Struct.
16
(
10
),
835
845
(
2005
).
48.
S.
Roundy
,
J. Intell. Mater. Syst. Struct.
16
(
16
),
809
823
(
2005
).
49.
J.
Baker
,
S.
Roundy
, and
P.
Wright
, in
Proceeding of the 3rd International Energy Conversion Engineering Conference
,
San Francisco, California
,
15–18 August
2005
.
50.
N.
Sharpes
,
A.
Abdelkefi
, and
S.
Priya
,
Energy Harvesting Syst.
1
(
3–4
),
209
216
(
2014
).
51.
M. A.
Karami
and
D. J.
Inman
,
J. Intell. Mater. Syst. Struct.
22
(
3
),
271
282
(
2011
).
52.
A. M.
Karami
and
D. J.
Inman
,
J. Microelectromech. Syst.
21
(
1
),
145
160
(
2012
).
53.
N.
Sharpes
,
A.
Abdelkefi
, and
S.
Priya
,
Appl. Phys. Lett.
107
(
9
),
093901
(
2015
).
54.
M.
Deterre
,
E.
Lefeuvre
, and
E.
Dufour-Gergam
,
Smart Mater. Struct.
21
(
8
),
085004
(
2012
).
55.
S.
Kim
,
W. W.
Clark
, and
Q. M.
Wang
,
J. Intell. Mater. Syst. Struct.
16
(
10
),
847
854
(
2005
).
56.
S. B.
Horowitz
,
M.
Sheplak
,
L. N.
Cattafesta
, and
T.
Nishida
,
J. Micromech. Microeng.
16
(
9
),
S174
S181
(
2006
).
57.
C. K.
Mo
,
L. J.
Radziemski
, and
W. W.
Clark
,
Smart Mater. Struct.
19
(
7
),
075010
(
2010
).
58.
X.-r.
Chen
,
T.-q.
Yang
,
W.
Wang
, and
X.
Yao
,
Ceram. Int.
38
,
S271
S274
(
2012
).
59.
H.
Florian
,
F.
Fabien
,
B.
Adrien
,
C.
Jean-Fabien
, and
L.
Mickaël
,
Sens. Actuators, A
247
,
12
23
(
2016
).
60.
T. B.
Xu
,
E. J.
Siochi
,
J. H.
Kang
,
L.
Zuo
,
W.
Zhou
,
X.
Tang
, and
X.
Jiang
,
Smart Mater. Struct.
22
(
6
),
065015
(
2013
).
61.
H. W.
Kim
,
A.
Batra
,
S.
Priya
,
K.
Uchino
,
D.
Markley
,
R. E.
Newnham
, and
H. F.
Hofmann
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 1
43
(
9A
),
6178
6183
(
2004
).
62.
J.
Feenstra
,
J.
Granstrom
, and
H.
Sodano
,
Mech. Syst. Signal Process.
22
(
3
),
721
734
(
2008
).
63.
E.
Tufekcioglu
and
A.
Dogan
,
Sens. Actuators, A
216
,
355
363
(
2014
).
64.
S.
Wen
,
IEEE Sens. J.
18
(
10
),
3989
4000
(
2018
).
65.
L.
Wang
,
S.
Chen
,
W.
Zhou
,
T. B.
Xu
, and
L.
Zuo
,
J. Intell. Mater. Syst. Struct.
28
(
9
),
1175
1187
(
2017
).
66.
A.
Manbachi
and
R.
Cobbold
,
Ultrasound
19
(
4
),
187
196
(
2011
).
67.
O. E.
Mattiat
,
Ultrasonic Transducer Materials
(
Springer
,
1971
).
68.
S. R.
Anton
and
H. A.
Sodano
,
Smart Mater. Struct.
16
(
3
),
R1
R21
(
2007
).
69.
H.
Kim
,
J.
Kim
, and
J.
Kim
,
Int. J. Precis. Eng. Manuf.
12
(
6
),
1129
1141
(
2011
).
70.
D.
Polsongkram
,
P.
Chamninok
,
S.
Pukird
,
L.
Chow
,
O.
Lupan
,
G.
Chai
,
H.
Khallaf
,
S.
Park
, and
A.
Schulte
,
Physica B
403
(
9
),
3713
3717
(
2008
).
71.
E.
Ohshima
,
H.
Ogino
,
I.
Niikura
,
K.
Maeda
,
M.
Sato
,
M.
Ito
, and
T.
Fukuda
,
J. Cryst. Growth
260
(
1
),
166
170
(
2004
).
72.
L. E.
Greene
,
M.
Law
,
J.
Goldberger
,
F.
Kim
,
C.
Justin
,
Y.
Zhang
,
J.
Richard
, and
P.
Yang
,
Angew. Chem., In. Ed.
42
(
26
),
3031
3014
(
2003
).
73.
Z.
Wang
and
J.
Song
,
Science
312
(
5771
),
242
246
(
2006
).
74.
R.
Feng
,
W.
Tang
, and
Z.
Wang
,
Adv. Mater.
28
(
22
),
4283
(
2016
).
75.
G.
Zhu
,
A.
Wang
,
Y.
Liu
,
Y.
Zhou
, and
Z.
Wang
,
Nano Lett.
12
(
6
),
3086
3090
(
2012
).
76.
R.
Yang
,
Y.
Qin
,
L.
Dai
, and
Z.
Wang
,
Nat. Nanotechnol.
4
(
1
),
34
39
(
2009
).
77.
S.
Cha
,
J.
Seo
,
S.
Kim
,
H.
Kim
,
Y.
Park
,
S.
Kim
, and
J.
Kim
,
Adv. Mater.
22
(
42
),
4726
(
2010
).
78.
Y.
Qi
and
M.
McAlpine
,
Energy Environ. Sci.
3
(
9
),
1275
1285
(
2010
).
79.
G.
Zhu
,
R.
Yang
,
S.
Wang
, and
Z.
Wang
,
Nano Lett.
10
(
8
),
3151
3155
(
2010
).
80.
S.
Lee
,
S.
Bae
,
L.
Lin
,
Y.
Yang
,
C.
Park
,
S.
Kim
,
N.
Seung
,
H.
Kim
,
J.
Young
, and
Z.
Wang
,
Adv. Funct. Mater.
23
(
19
),
2445
2449
(
2013
).
81.
Z.
Gao
,
J.
Zhou
,
Y.
Gu
,
P.
Fei
,
Y.
Hao
,
G.
Bao
, and
Z.
Wang
,
J. Appl. Phys.
105
(
11
),
113707
(
2009
).
82.
W.
Wu
,
L.
Wang
,
Y.
Li
,
F.
Zhang
,
L.
Lin
,
S.
Niu
,
D.
Chenet
,
X.
Zhang
,
Y.
Hao
,
T.
Heinz
,
J.
Hone
, and
Z.
Wang
,
Nature
514
(
7523
),
470
474
(
2014
).
83.
T.
Cao
,
G.
Wang
,
W.
Han
,
H.
Ye
,
C.
Zhu
,
J.
Shi
,
Q.
Niu
,
P.
Tan
,
E.
Wang
,
B.
Liu
, and
J.
Feng
,
Nat. Commun.
3
,
887
(
2012
).
84.
K. H.
Michel
and
B.
Verberck
,
Phys. Rev. B
80
,
224301
(
2009
).
85.
J.
Lee
,
Y.
Jae
,
B.
Eun
,
Y.
Tae
,
A.
Sang
,
T.
Kim
,
Y.
Liu
,
K.
Sung
,
J.
Chang
,
H.
Yoon
,
H.
Ryu
,
W.
Seung
,
S.
Jong
,
J.
Lee
, and
S.
Kim
,
Adv. Mater.
29
,
1606667
(
2017
).
86.
H.
Song
,
I.
Karakurt
,
M.
Wei
,
N.
Liu
,
Y.
Chu
,
J.
Zhong
, and
L.
Lin
,
Nano Energy
49
,
7
(
2018
).
87.
K.
Duerloo
,
M.
Ong
, and
E.
Reed
,
J. Phys. Chem. Lett.
3
,
2871
(
2012
).
88.
X.
Chen
,
S.
Xu
,
N.
Yao
, and
Y.
Shi
,
Nano Lett.
10
,
2133
(
2010
).
89.
G.
Hwang
,
J.
Yang
,
H.
Seong
,
H.
Lee
,
M.
Lee
,
Y.
Dae
,
H.
Jae
,
J.
Seung
,
K.
Chang
,
J.
Kim
,
K.
Park
, and
J.
Keon
,
Adv. Energy Mater.
5
,
1500051
(
2015
).
90.
L.
Bellaiche
and
D.
Vanderbilt
,
Phys. Rev. Lett.
83
,
1347
(
1999
).
91.
C.
Jeong
,
S.
Cho
,
J.
Han
,
D.
Park
,
S.
Yang
,
K.
Park
,
J.
Ryu
,
H.
Sohn
,
Y.
Chung
, and
K.
Lee
,
Nano Res.
10
,
437
(
2017
).
92.
G.
Tang
,
B.
Yang
,
J.
Liu
,
B.
Xu
,
H.
Zhu
, and
C.
Yang
,
Sens. Actuators, A
205
,
150
(
2014
).
93.
F.
Li
,
D.
Lin
,
Z.
Chen
,
Z.
Cheng
,
J.
Wang
,
C.
Li
,
Z.
Xu
,
Q.
Huang
,
X.
Liao
,
L.
Chen
,
T.
Shrout
, and
S.
Zhang
,
Nat. Mater.
17
,
349
(
2018
).
94.
G.
Hwang
,
V.
Annapureddy
,
H.
Jae
,
J.
Daniel
,
C.
Baek
,
Y.
Dae
,
H.
Dong
,
H.
Jung
,
K.
Chang
,
K.
Park
,
J.
Choi
,
K.
Do
,
J.
Ryu
, and
J.
Keon
,
Adv. Energy Mater.
6
,
1600237
(
2016
).
95.
C.
Jeong
,
K.
Park
,
J.
Ryu
,
G.
Hwang
, and
K.
Lee
,
Adv. Funct. Mater.
24
(
18
),
2620
(
2014
).
96.
V.
Misra
,
A.
Bozkurt
,
B.
Calhoun
,
T.
Jackson
,
J. S.
Jur
,
J.
Lach
,
B.
Lee
,
J.
Muth
,
Ö.
Oralkan
,
M.
Öztürk
,
S.
Trolier-McKinstry
,
D.
Vashaee
,
D.
Wentzloff
, and
Y.
Zhu
,
Proc. IEEE
103
,
665
(
2015
).
97.
See https://en.wikipedia.org/wiki/Lead_zirconate_titanate for crystal Atomic model of PZT.
98.
J.
Fang
,
X.
Wang
, and
T.
Lin
,
J. Mater. Chem.
21
,
11088
(
2011
).
99.
C.
Pan
,
C.
Yen
,
S.
Wang
,
Y.
Lai
,
L.
Lin
,
J.
Huang
, and
S.
Kuo
,
RSC Adv.
5
(
103
),
85073
85081
(
2015
).
100.
Z. H.
Liu
,
C. T.
Pan
,
L. W.
Lin
,
J. C.
Huang
, and
Z. Y.
Ou
,
Smart Mater. Struct.
23
(
2
),
25003
25013
(
2014
).
101.
G.
Zhu
,
Z.
Zeng
,
L.
Zhang
, and
X.
Yan
,
Comput. Mater. Sci.
44
(
2
),
224
229
(
2008
).
102.
C.
Chang
,
V.
Tran
,
J.
Wang
,
Y.
Fuh
, and
L.
Lin
,
Nano Lett.
10
(
2
),
726
(
2010
).
103.
L.
Persano
,
C.
Dagdeviren
,
Y.
Su
,
Y.
Zhang
,
S.
Girardo
,
D.
Pisignano
,
Y.
Huang
, and
J.
Rogers
,
Nat. Commun.
4
(
3
),
1633
(
2013
).
104.
N.
Soin
,
T.
Shah
,
S.
Anand
,
J.
Geng
,
W.
Pornwannachai
,
P.
Mandal
,
D.
Reid
,
S.
Sharma
,
R. H.
Bayramol
, and
E.
Siores
,
Energy Environ. Sci.
7
(
5
),
1670
1679
(
2014
).
105.
A.
Savolainen
and
K.
Kirjavainen
,
J. Macromol. Sci. Chem.
26
(
2–3
),
583
(
1989
).
106.
N.
Wu
,
X.
Cheng
,
Q.
Zhong
,
J.
Zhong
,
W.
Li
,
B.
Wang
,
B.
Hu
, and
J.
Zhou
,
Adv. Funct. Mater.
25
(
30
),
4788
4794
(
2015
).
107.
Q.
Zhong
,
J.
Zhong
,
X.
Cheng
,
X.
Yao
,
B.
Wang
,
W.
Li
,
N.
Wu
,
K.
Liu
,
B.
Hu
, and
J.
Zhou
,
Adv. Mater.
27
(
44
),
7130
(
2015
).
108.
B.
Wang
,
C.
Liu
,
Y.
Xiao
,
J.
Zhong
,
W.
Li
,
Y.
Cheng
,
B.
Hu
,
L.
Huang
, and
J.
Zhou
,
Nano Energy
32
,
42
49
(
2017
).
109.
X.
Zhang
,
G. M.
Sessler
, and
Y.
Wang
,
J. Appl. Phys.
116
(
7
),
074109
(
2014
).
110.
J. J.
Wang
,
C. E.
Lu
,
S. C.
Lo
,
Y. C.
Su
, and
W.
Fang
, paper presented at
the19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS)
,
Kaohsiung, Taiwan
,
18–22 June
2017
.
111.
J.
Zhong
,
Q.
Zhong
,
X.
Zang
,
N.
Wu
,
W.
Li
,
Y.
Chu
, and
L.
Lin
,
Nano Energy
37
,
268
(
2017
).
112.
X.
Zhang
,
P.
Pondrom
,
G.
Sessler
, and
X.
Ma
,
Nano Energy
50
,
52
(
2018
).
113.
T.
Yucel
,
P.
Cebe
, and
D.
Kaplan
,
Adv. Funct. Mater.
21
,
779
(
2011
).
114.
M.
Otter
,
J.
Shoenung
, and
W. S.
Williams
,
J. Orthop. Res.
3
,
321
324
(
1985
).
115.
S.
Ghosh
and
D.
Mandal
,
Appl. Phys. Lett.
109
,
103701
(
2016
).
116.
B.
Lee
,
J.
Zhang
,
C.
Zueger
,
W.
Chung
,
S.
Yoo
,
E.
Wang
,
J.
Meyer
,
R.
Ramesh
, and
S.
Lee
,
Nat. Nanotechnol.
7
(
6
),
351
356
(
2012
).
117.
S.
Ghosh
and
D.
Mandal
,
Nano Energy
28
(
8
),
356
365
(
2016
).
118.
K.
Park
,
S.
Xu
,
Y.
Liu
,
G.
Hwang
,
S.
Kang
,
Z.
Wang
, and
K.
Lee
,
Nano Lett.
10
(
12
),
4939
4943
(
2010
).
119.
F.
Stoppel
,
C.
Schröder
,
F.
Senger
,
B.
Wagner
, and
W.
Benecke
,
Procedia Eng.
25
(
35
),
721
724
(
2011
).
120.
J.
Doll
,
B.
Petzold
,
B.
Ninan
,
R.
Mullapudi
, and
B.
Pruitt
,
J. Micromech. Microeng.
20
(
2
),
025008
(
2010
).
121.
D.
Vasilescu
,
R.
Cornillon
, and
G.
Mallet
,
Nature
225
(
5233
),
635
(
1970
).
122.
V. V.
Lemanov
,
Ferroelectrics
238
(
1
),
211
218
(
2000
).
123.
A.
Kholkin
,
N.
Amdursky
,
I.
Bdikin
,
E.
Gazit
, and
G.
Rosenman
,
ACS Nano
4
(
2
),
610
614
(
2010
).
124.
S.
Vasilev
,
P.
Zelenovskiy
,
D.
Vasileva
,
A.
Nuraeva
,
V. Y.
Shur
, and
A. L.
Kholkin
,
J. Phys. Chem. Solids.
93
,
68
72
(
2016
).
125.
J.-H.
Lee
,
K.
Heo
,
K.
Schulz-Schönhagen
,
J. H.
Lee
,
M. S.
Desai
,
H.-E.
Jin
, and
S.-W.
Lee
,
ACS Nano
12
(
8
),
8138
8144
(
2018
).
126.
V.
Nguyen
,
R.
Zhu
,
K.
Jenkins
, and
R.
Yang
,
Nat. Commun.
7
,
13566
(
2016
).
127.
R. W.
Schwartz
,
T. J.
Boyle
,
S. J.
Lockwood
,
M. B.
Sinclair
,
D.
Dimos
, and
C. D.
Buchheit
,
Integr. Ferroelectr.
7
(
1–4
),
259
277
(
1995
).
128.
D. P.
Vijay
and
S. B.
Desu
,
J. Electrochem. Soc.
140
(
9
),
2640
2645
(
1993
).
129.
T.
Maeder
,
L.
Sagalowicz
, and
P.
Muralt
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 1
37
(
4A
),
2007
2012
(
1998
).
130.
H. B.
Fang
,
J. Q.
Liu
,
Z. Y.
Xu
,
L.
Dong
,
L.
Wang
,
D.
Chen
,
B. C.
Cai
, and
Y.
Liu
,
Microelectron. J.
37
(
11
),
1280
1284
(
2006
).
131.
J. Q.
Liu
,
H. B.
Fang
,
Z. Y.
Xu
,
X. H.
Mao
,
X. C.
Shen
,
D.
Chen
,
H.
Liao
, and
B. C.
Cai
,
Microelectron. J.
39
(
5
),
802
806
(
2008
).
132.
D.
Shen
,
J. H.
Park
,
J.
Ajitsaria
,
S. Y.
Choe
,
H. C.
Wikle
 III
, and
D. J.
Kim
,
J. Micromech. Microeng.
18
(
5
),
055017
(
2008
).
133.
D.
Shen
,
J. H.
Park
,
J. H.
Noh
,
S. Y.
Choe
,
S. H.
Kim
,
H. C.
Wikle
 III
, and
D. J.
Kim
,
Sens. Actuators, A
154
(
1
),
103
108
(
2009
).
134.
H.
Liu
,
C. J.
Tay
,
C.
Quan
,
T.
Kobayashi
, and
C.
Lee
,
J. Micorelectromech. Syst.
20
(
5
),
1131
1142
(
2011
).
135.
H.
Liu
,
C.
Lee
,
T.
Kobayashi
,
C. J.
Tay
, and
C.
Quan
,
Microsyst. Technol.
18
(
4
),
497
506
(
2012
).
136.
L.
Deng
,
Z.
Wen
, and
X.
Zhao
,
J. Microelectromech. Syst.
23
(
4
),
855
861
(
2014
).
137.
Y. B.
Jeon
,
R.
Sood
,
J. H.
Jeong
, and
S. G.
Kim
,
Sens. Actuators, A
122
(
1
),
16
22
(
2005
).
138.
J. C.
Park
,
J. Y.
Park
, and
Y. P.
Lee
,
J. Microelectromech. Syst.
19
(
5
),
1215
1222
(
2010
).
139.
S. B.
Kim
,
J. H.
Park
,
S. H.
Kim
,
H.
Ahn
,
H. C.
Wikle
, and
D. J.
Kim
,
J. Micromech. Microeng.
22
(
10
),
1922
1931
(
2012
).
140.
E. K.
Reilly
and
P. K.
Wright
,
J. Micromech. Microeng.
19
,
095014
(
2009
).
141.
K.
Morimoto
,
I.
Kanno
,
K.
Wasa
, and
H.
Kotera
,
Sens. Actuators, A
163
(
1
),
428
432
(
2010
).
142.
D.
Isarakorn
,
D.
Briand
,
P.
Janphuang
,
A.
Sambri
,
S.
Gariglio
,
J. M.
Triscone
,
F.
Guy
,
J. W.
Reiner
,
C. H.
Ahn
, and
N. F.
de Rooij
,
Smart Mater. Struct.
20
(
2
),
025015
(
2011
).
143.
T.
Harigai
,
H.
Adachi
, and
E.
Fujii
,
J. Appl. Phys.
107
(
9
),
096101
(
2010
).
144.
C. W.
Ahn
,
C. H.
Choi
,
H. Y.
Park
,
S.
Nahm
, and
S.
Priya
,
J. Mater. Sci.
43
,
6784
(
2008
).
145.
V. M.
Le
,
M.
Hara
, and
H.
Kuwano
,
J. Microelectromech. Syst.
24
(
6
),
1887
1895
(
2015
).
146.
S. S.
Won
,
J.
Lee
, and
V.
Venugopal
,
Appl. Phys. Lett.
108
(
23
),
232908
(
2016
).
147.
S.
Trolier-McKinstry
and
P.
Muralt
,
J. Electroceram.
12
(
1–2
),
7
17
(
2004
).
148.
T.-T.
Yen
,
T.
Hirasawa
,
P. K.
Wright
,
A. P.
Pisano
, and
L.
Lin
,
J. Micromech. Microeng.
21
(
8
),
085037
(
2011
).
149.
P.
Wang
and
H.
Du
,
Rev. Sci. Instrum.
86
(
7
),
075002
(
2015
).
150.
M.
Renaud
,
K.
Karakaya
,
T.
Sterken
,
P.
Fiorini
,
C.
van Hoof
, and
R.
Puers
,
Sens. Actuators, A
145–146
(
1
),
380
386
(
2008
).
151.
B.
Yang
,
H.
Liu
,
J.
Liu
, and
C.
Lee
,
Micro and Nano Energy Harvesting Technologies
(
Artech House
,
Boston
,
2014
).
152.
M.
Akiyama
,
K.
Nagao
,
N.
Ueno
,
H.
Tateyama
, and
T.
Yamada
,
Vacuum
74
(
3
),
699
703
(
2004
).
153.
J. B.
Lee
,
J. P.
Jung
,
M. H.
Lee
, and
J. S.
Park
,
Thin Solid Films
447
,
610
614
(
2004
).
154.
A.
Toprak
and
O.
Tigli
,
Sens. Actuators, A
269
,
412
418
(
2018
).
155.
R.
Elfrink
,
T. M.
Kamel
,
M.
Goedbloed
,
S.
Matova
,
D.
Hohlfeld
,
Y.
van Andel
, and
R.
van Schaijk
,
J. Micromech. Microeng.
19
(
9
),
094005
(
2009
).
156.
Z.
Wang
,
R.
Elfrink
, and
M.
Rovers
,
J. Microelectromech. Syst.
23
(
3
),
539
548
(
2014
).
157.
Z.
Wang
,
S.
Matova
, and
R.
Elfrink
, paper presented at
the 29th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
,
Paris, France
,
2012
.
158.
R.
Andosca
,
T. G.
McDonald
,
V.
Genova
,
S.
Rosenberg
,
J.
Keating
,
C.
Benedixen
, and
J.
Wu
,
Sens. Actuators, A
178
(
5
),
76
87
(
2012
).
159.
S. L.
Kok
,
N. M.
White
, and
N. R.
Harris
,
Meas. Sci. Technol.
20
(
12
),
124010
(
2009
).
160.
A.
Lei
,
R.
Xu
,
A.
Thyssen
,
A. C.
Stoot
,
T. L.
Christiansen
,
K.
Hansen
,
R.
Lou-Moller
,
E. V.
Thomesen
, and
K.
Birkelund
, in
Proceedings of MEMS
,
Cancun, Mexico
,
23–27 January
2011
, pp.
125
128
.
161.
R.
Xu
,
A.
Lei
, and
T. L.
Christiansen
,
Sens. Actuators, A
188
(
8
),
383
388
(
2012
).
162.
A.
Lei
,
R.
Xu
, and
L. M.
Borregaard
,
J. Microelectromech. Syst.
23
(
4
),
842
854
(
2014
).
163.
Y.
Liao
and
H. A.
Sodano
,
Smart Mater. Struct.
17
(
17
),
065026
(
2008
).
164.
A.
Erturk
and
D. J.
Inman
,
Smart Mater. Struct.
18
(
2
),
25009
25018
(
2009
).
165.
K.
Tanaka
,
T.
Konishi
,
M.
Ide
, and
S.
Sugiyama
,
J. Micromech. Microeng.
16
(
4
),
815
820
(
2006
).
166.
E. E.
Aktakka
,
R. L.
Peterson
, and
K.
Najafi
, paper
presented at the Int. Electron Devices Meeting (IEDM)
,
San Francisco, USA
,
6–8 December
2010
, pp.
31.5.1
31.5.4
.
167.
E. E.
Aktakka
,
R. L.
Peterson
, and
K.
Najafi
, paper
presented at Transducer's 2011
,
Beijing, China
,
5–9 June
2011
, pp.
1649
1652
.
168.
E. E.
Aktakka
,
R. L.
Peterson
, and
K.
Najafi
,
IEEE Trans. Electron Devices
60
(
6
),
2022
2030
(
2013
).
169.
X. H.
Xu
and
J. R.
Chu
,
J. Micromech. Microeng.
18
(
18
),
065001
(
2008
).
170.
Z. H.
Wang
,
J. M.
Miao
, and
C. W.
Tan
,
Sens. Actuators, A
149
(
2
),
277
283
(
2009
).
171.
G.
Tang
,
J. Q.
Liu
,
B.
Yang
,
J. B.
Luo
,
H. S.
Liu
,
Y. G.
Li
,
C. S.
Yang
,
D. N.
He
,
V. D.
Dao
,
K.
Tanaka
, and
S.
Sugiyama
,
J. Micromech. Microeng.
22
(
6
),
065017
(
2012
).
172.
P.
Janphuang
,
R.
Lockhart
, and
N.
Uffer
,
Sens. Actuators, A
210
(
1
),
1
9
(
2014
).
173.
B.
Yang
,
Y.
Zhu
, and
X.
Wang
,
Sens. Actuators, A
214
(
4
),
88
94
(
2014
).
174.
G.
Tang
,
J. Q.
Liu
, and
H. S.
Liu
,
Phys. Status Solidi
208
(
12
),
2913
2919
(
2011
).
175.
H. Y.
Lin
,
P. L.
Hsu
,
H. C.
Liu
,
T.
Chen
, and
L. N.
Sun
, in Proceedings of
13th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2018)
,
Singapore
,
22–26 April
2018
.
176.
S. C.
Lin
and
W. J.
Wu
,
Smart Mater. Struct.
22
(
4
),
045016
(
2013
).
177.
C. L.
Kuo
,
S. C.
Lin
, and
W. J.
Wu
,
Smart Mater. Struct.
25
(
10
),
105016
(
2016
).
178.
G.
Tang
,
B.
Yang
,
H.
Cheng
,
G.
Li
,
J.
Liu
,
X.
Chen
, and
C.
Yang
,
Sci. Rep.
6
(
1
),
38798
(
2016
).
179.
Z.
Yi
,
B.
Yang
, and
G.
Li
,
Appl. Phys. Lett.
111
(
1
),
013902
(
2017
).
180.
Y.
Tian
,
G.
Li
, and
Z.
Yi
,
J. Phys. Chem. Solids
117
,
21
27
(
2018
).
181.
D.
Wang
,
G.
Yuan
, and
G.
Hao
,
Nano Energy
43
,
351
358
(
2018
).
182.
A. I.
Kingon
and
S.
Srinivasan
,
Nat. Mater.
4
,
233
237
(
2005
).
183.
H. G.
Yeo
,
X.
Ma
,
C.
Rahn
, and
S.
Trolier-McKinstry
,
Adv. Funct. Mater.
26
(
32
),
5940
5946
(
2016
).
184.
Q.- L.
Zhao
,
G.-P.
He
,
J.-J.
Di
,
W.-L.
Song
,
Z.-L.
Hou
,
P.-P.
Tan
,
D.-W.
Wang
, and
M.-S.
Cao
,
ACS Appl. Mater. Interfaces
9
(
29
),
24696
24703
(
2017
).
185.
C. K.
Jeong
,
K.-I.
Park
,
J. H.
Son
,
G.-T.
Hwang
,
S. H.
Lee
,
D. Y.
Park
,
H. E.
Lee
,
H. K.
Lee
,
M.
Byun
, and
K. J.
Lee
,
Energy Environ. Sci.
7
(
12
),
4035
4043
(
2014
).
186.
K. I.
Park
,
J. H.
Son
,
G. T.
Hwang
,
C. K.
Jeong
,
J.
Ryu
,
M.
Koo
,
I.
Choi
,
S. H.
Lee
,
M.
Byun
,
Z. L.
Wang
, and
K. J.
Lee
,
Adv. Mater.
26
(
16
),
2514
2520
(
2014
).
187.
J.
Kwon
,
W.
Seung
,
B. K.
Sharma
,
S. W.
Kim
, and
J. H.
Ahn
,
Energy Environ. Sci.
5
(
10
),
8970
8975
(
2012
).
188.
Y.
Chen
,
Y.
Zhang
,
L.
Zhang
,
F.
Ding
, and
O. G.
Schmidt
,
Nano Energy
31
,
239
246
(
2017
).
189.
W. W.
Wu
,
S.
Bai
,
M. M.
Yuan
,
Y.
Qin
,
Z. L.
Wang
, and
T.
Jing
,
ACS Nano.
6
(
7
),
6231
6235
(
2012
).
190.
Y.
Zhang
,
M. Y.
Xie
,
J.
Roscow
,
K.
Zhou
,
Y. X.
Bao
,
D.
Zhang
, and
C. R.
Bowen
,
J. Mater. Chem. A
5
(
14
),
6569
6580
(
2017
).
191.
W.
Jin
,
Z.
Wang
,
H.
Huang
,
X. K.
Hu
,
Y. H.
He
,
M.
Li
,
L. Y.
Li
,
Y. H.
Gao
,
Y. M.
Hu
, and
H.
Gu
,
RSC Adv.
8
(
14
),
7422
7427
(
2018
).
192.
Y.
Qi
,
J.
Kim
,
T. D.
Nguyen
,
B.
Lisko
,
P. K.
Purohit
, and
M. C.
McAlpine
,
Nano Lett.
11
(
3
),
1331
1336
(
2011
).
193.
S. Y.
Xu
,
G.
Poirier
, and
N.
Yao
,
Nano Lett.
12
(
5
),
2238
2242
(
2012
).
194.
S. Y.
Xu
,
Y.
Yeh
,
G.
Poirier
,
M. C.
McAlpine
,
R. A.
Register
, and
N.
Yao
,
Nano Lett.
13
(
6
),
2393
2398
(
2013
).
195.
K. Y.
Lee
,
B.
Kumar
,
J. S.
Seo
,
K. H.
Kim
,
J. I.
Sohn
,
S. N.
Cha
,
D.
Choi
,
Z. L.
Wang
, and
S.-W.
Kim
,
Nano Lett.
12
(
4
),
1959
1964
(
2012
).
196.
Z. L.
Wang
,
Adv. Funct. Mater.
18
(
22
),
3553
3567
(
2008
).
197.
M.
Lee
,
C. Y.
Chen
,
S.
Wang
,
S. N.
Cha
,
Y. J.
Park
,
J. M.
Kim
, and
Z. L.
Wang
,
Adv. Mater.
24
(
13
),
1759
1764
(
2012
).
198.
A.
Koka
,
Z.
Zhou
, and
H.
Sodano
,
Energy Environ. Sci.
7
(
1
),
288
296
(
2014
).
199.
J.
Chang
,
M.
Dommer
,
C.
Chang
, and
L.
Lin
,
Nano Energy
1
(
3
),
356
371
(
2012
).
200.
T.
Ma
,
M.
Guo
,
M.
Zhang
,
Y. J.
Zhang
, and
X. D.
Wang
,
Nanotechnology
18
(
3
),
035605
(
2007
).
201.
S.
Xu
,
C. S.
Lao
,
B.
Weintraub
, and
Z. L.
Wang
,
J. Mater. Res.
23
(
8
),
2072
2077
(
2008
).
202.
Y.
Qin
,
R.
Yang
, and
Z. L.
Wang
,
J. Phys. Chem. C.
112
(
48
),
18734
18736
(
2008
).
203.
D.
Farrar
,
K.
Ren
,
D.
Cheng
,
S.
Kim
,
W.
Moon
,
W. L.
Wilson
,
J. E.
West
, and
S. M.
Yu
,
Adv. Mater.
23
(
34
),
3954
3959
(
2011
).
204.
C.
Ribeiro
,
V.
Sencadas
,
J. L. G.
Ribelles
, and
S.
Lanceros-
,
Mendez, Soft Mater.
8
(
3
),
274
287
(
2010
).
205.
A.
Gheibi
,
R.
Bagherzadeh
,
A. A.
Merati
, and
M.
Latifi
,
J. Polym. Res.
21
(
11
),
571
(
2014
).
206.
B. S.
Lee
,
B.
Park
,
H. S.
Yang
,
J. W.
Han
,
C.
Choong
,
J.
Bae
,
K.
Lee
,
W. R.
Yu
,
U.
Jeong
,
U. I.
Chung
,
J. J.
Park
, and
O.
Kim
,
ACS Appl. Mater. Interfaces
6
(
5
),
3520
3527
(
2014
).
207.
S.
Siddiqui
,
D. I.
Kim
,
E.
Roh
,
L. T.
Duy
,
T. Q.
Trung
,
M. T.
Nguyen
, and
N. E.
Lee
,
Nano Energy
30
,
434
442
(
2016
).
208.
A.
Wang
,
Z.
Liu
,
M.
Hu
,
C. C.
Wang
,
X. D.
Zhang
,
B. J.
Shi
,
Y. B.
Fan
,
Y. G.
Cui
,
Z.
Li
, and
K. L.
Ren
,
Nano Energy
43
,
63
71
(
2018
).
209.
K.
Maity
and
D.
Mandal
,
ACS Appl. Mater. Interfaces
10
(
21
),
18257
18269
(
2018
).
210.
A. L.
Yarin
,
S.
Koombhongse
, and
D. H.
Reneker
,
J. Appl. Phys.
90
(
9
),
4836
4846
(
2001
).
211.
D. H.
Renekerand
and
A. L.
Yarin
,
Polymer
49
(
10
),
2387
2425
(
2008
).
212.
D. H.
Sun
,
C.
Chang
,
S.
Li
, and
L. W.
Lin
,
Nano Lett.
6
(
4
),
839
842
(
2006
).
213.
C.
Chang
,
K.
Limkrailassiri
, and
L. W.
Lin
,
Appl. Phys. Lett.
93
(
12
),
123111
(
2008
).
214.
L.
Yu
and
P.
Cebe
,
Polymer
50
(
9
),
2133
2141
(
2009
).
215.
W.
Zeng
,
X. M.
Tao
,
S.
Chen
,
S. M.
Shang
,
H. L. W.
Chan
, and
S. H.
Choy
,
Energy Environ. Sci.
6
(
9
),
2631
2638
(
2013
).
216.
Y.
Ahn
,
J. Y.
Lim
,
S. M.
Hong
,
J.
Lee
,
J.
Ha
,
H. J.
Choi
, and
Y.
Seo
,
J. Phys. Chem. C
117
(
22
),
11791
11799
(
2013
).
217.
H. B.
Kang
,
J.
Chang
,
K.
Koh
,
L.
Lin
, and
Y. S.
Cho
,
ACS Appl. Mater. Interfaces
6
(
13
),
10576
10582
(
2014
).
218.
H.
Sodano
,
D. J.
Inman
, and
G.
Park
,
Shock Vib. Dig.
36
(
3
),
197
205
(
2004
).
219.
H.
Sodano
,
D. J.
Inman
, and
G.
Park
,
J. Intell. Mater. Syst. Struct.
16
(
1
),
67
75
(
2005
).
220.
L.
Tang
,
Y.
Yang
, and
C. K.
Soh
,
J. Intell. Mater. Syst. Struct.
21
(
18
),
1867
1897
(
2010
).
221.
B. P.
Mann
and
N. D.
Sims
,
J. Sound Vib.
319
(
1
),
515
530
(
2009
).
222.
B. P.
Mann
,
Appl. Mech. Rev.
66
(
4
),
045501
(
2014
).
223.
J. W.
Yi
,
Y. S.
Wan
, and
W. H.
Shih
,
J. Appl. Phys.
91
(
3
),
1680
1686
(
2002
).
224.
D. B.
Zhu
,
M. J.
Tudor
, and
S. P.
Beeby
,
Meas. Sci. Technol.
21
(
2
),
022001
(
2009
).
225.
M.
Ferrari
,
V.
Ferrari
,
M.
Guizzetti
,
D.
Marioli
, and
A.
Taroni
,
Sens. Actuators, A
142
(
1
),
329
335
(
2008
).
226.
S. M.
Shahruz
,
J. Sound Vib.
292
(
3
),
987
998
(
2006
).
227.
H. A.
Xue
,
Y. T.
Hu
, and
Q. M.
Wang
,
IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Control
55
(
9
),
2092
2096
(
2008
).
228.
X. D.
Tang
and
L.
Zuo
,
J. Sound Vib.
330
(
21
),
5199
5209
(
2011
).
229.
X. D.
Tang
and
L.
Zuo
,
Smart Mater. Struct.
21
(
7
),
075025
(
2012
).
230.
L.
Tang
and
Y.
Yang
,
J. Intell. Mater. Syst. Struct.
23
(
14
),
1631
1647
(
2012
).
231.
H.
Xiao
,
X.
Wang
, and
S.
John
,
Mech. Syst. Signal Process.
58–59
,
355
375
(
2015
).
232.
H. Y.
Wang
and
L. H.
Tang
,
Mech. Syst. Signal Process.
86
,
29
39
(
2017
).
233.
B.
Yang
,
J. Q.
Liu
,
G.
Tang
,
J. B.
Luo
,
C. S.
Yang
, and
Y. G.
Li
,
Appl. Phys. Lett.
99
(
22
),
223505
(
2011
).
234.
R. J. M.
Vullers
,
R.
Elfrink
,
S.
Matova
, and
Z.
Wang
, paper presented at
PowerMEMS 2012
(
2012
), pp.
211
214
.
235.
J. E.
Kim
and
Y. Y.
Kim
,
AIP Adv.
3
(
7
),
072103
(
2013
).
236.
Y. T.
Hu
and
Y.
Xu
,
Appl. Phys. Lett.
104
(
5
),
53902
(
2014
).
237.
M. M. R.
El-Hebeary
,
M. H.
Arafa
, and
S. M.
Megahed
,
Sens. Actuators, A
193
,
35
47
(
2013
).
238.
R. M.
Toyabur
,
M.
Salauddin
, and
J. Y.
Park
,
Ceram. Int.
43
,
S675
S681
(
2017
).
239.
L. J.
Gong
,
Q. S.
Pan
,
W.
Li
,
G. Y.
Yan
,
Y. B.
Liu
, and
Z. H.
Feng
,
Appl. Phys. Lett.
107
(
3
),
033904
(
2015
).
240.
R. L.
Harne
,
A.
Sun
, and
K. W.
Wang
,
J. Sound Vib.
363
,
517
531
(
2016
).
241.
L. G. H.
Staaf
,
A. D.
Smith
,
E.
Köhler
,
P.
Lundgren
,
P. D.
Folkow
, and
P.
Enoksson
,
J. Sound Vib.
420
,
165
173
(
2018
).
242.
D. F.
Berdy
,
B.
Jung
,
J. F.
Rhoads
, and
D.
Peroulis
,
Sens. Actuators, A
188
,
148
157
(
2012
).
243.
M.
Rezaeisaray
,
M. E.
Gowini
,
S.
Dan
,
D.
Raboud
, and
W.
Moussa
,
Sens. Actuators, A
228
,
104
111
(
2015
).
244.
S.
Dhote
,
J.
Zu
, and
Y.
Zhu
,
Appl. Phys. Lett.
106
(
16
),
163903
(
2015
).
245.
S.
Dhote
,
Z.
Yang
, and
J.
Zu
,
Mech. Syst. Signal Process.
98
,
268
280
(
2018
).
246.
Q. B.
He
and
T.
Jiang
,
Appl. Phys. Lett.
110
(
21
),
213901
(
2017
).
247.
J.
Iannacci
,
E.
Serra
,
R. D.
Criscienzo
,
G.
Sordo
,
M.
Gottardi
,
A.
Borrielli
,
M.
Bonaldi
,
T.
Kuenzig
,
G.
Schrag
,
G.
Pandraud
, and
P. M.
Sarro
,
Microsyst. Technol.
20
(
4–5
),
627
640
(
2014
).
248.
J.
Iannacci
,
G.
Sordo
,
E.
Serra
, and
U.
Schmid
,
Microsyst. Technol.
22
(
7
),
1865
1881
(
2016
).
249.
W. J.
Su
and
J.
Zu
,
Appl. Phys. Lett.
103
(
20
),
203901
(
2013
).
250.
K. Q.
Fan
,
F. B.
Chao
,
J. G.
Zhang
,
W. D.
Wang
, and
X. H.
Che
,
Energy Convers. Manage.
86
,
561
567
(
2014
).
251.
H.
Wang
,
F.
Hu
,
K.
Wang
, and
W.
Zhao
,
Appl. Phys. Lett.
110
(
16
),
163905
(
2017
).
252.
R. W.
Chen
,
L.
Ren
,
H. K.
Xia
,
X. W.
Yuan
, and
X. J.
Liu
,
Sens. Actuators, A
230
,
1
8
(
2015
).
253.
C. F.
Hung
,
T. K.
Chung
,
P. C.
Yeh
,
C. C.
Chen
,
C. M.
Wang
, and
S. H.
Lin
,
IEEE Sens. J.
15
(
10
),
5601
5615
(
2015
).
254.
J. W.
Xu
and
J.
Tang
,
Appl. Phys. Lett.
107
(
21
),
213902
(
2015
).
255.
Q. M.
Yu
,
J.
Yang
,
X. H.
Yue
, and
P.
Li
,
AIP Adv.
5
(
4
),
047144
(
2015
).
256.
H. J.
Zhang
,
S. L.
Jiang
, and
X. F.
He
,
Appl. Phys. Lett.
110
(
22
),
223902
(
2017
).
257.
A. H.
Nayfeh
,
Perturbation Methods
(
Wiley Interscience
,
1973
).
258.
A.
Triplett
and
D. D.
Quinn
,
J. Intell. Mater. Syst. Struct.
20
(
16
),
1959
1967
(
2009
).
259.
H.
Fang
and
K. W.
Wang
,
J. Sound Vib.
391
,
153
169
. (
2017
).
260.
Z.
Yang
and
J.
Zu
,
IEEE/ASME Trans. Mech.
21
(
3
),
1787
1791
(
2016
).
261.
A. M.
Wickenheiser
and
E.
Garcia
,
Smart Mater. Struct.
19
(
6
),
065020
(
2010
).
262.
R.
Masana
and
M. F.
Daqaq
,
J. Vib. Acoust.
133
(
1
),
011007
(
2011
).
263.
M.
Marzencki
,
M.
Defosseux
, and
S.
Basrour
,
J. Microelectromech. Syst.
18
(
6
),
1444
1453
(
2009
).
264.
A.
Hajati
and
S. G.
Kim
,
Appl. Phys. Lett.
99
(
8
),
083105
(
2011
).
265.
P. C.
Huang
,
T. H.
Tsai
, and
Y. J.
Yang
,
Microelectron. Eng.
111
,
214
219
(
2013
).
266.
B.
Marinkovic
and
H.
Koser
,
Appl. Phys. Lett.
94
(
10
),
103505
(
2009
).
267.
B.
Marinkovic
and
H.
Koser
,
Smart Mater. Struct.
21
(
6
),
065006
(
2012
).
268.
R.
Masana
and
M. F.
Daqaq
,
J. Sound Vib.
330
(
24
),
6036
6052
(
2011
).
269.
R.
Masana
and
M. F.
Daqaq
,
J. Sound Vib.
332
(
25
),
6755
6767
(
2013
).
270.
L.-C. J.
Blystad
and
E.
Halvorsen
,
Microsyst. Technol.
17
(
4
),
505
511
(
2011
).
271.
S.
Moss
,
A.
Barry
,
I.
Powlesland
,
S.
Galea
, and
G. P.
Carman
,
Appl. Phys. Lett.
97
(
23
),
234101
(
2010
).
272.
X.
Wang
,
C.
Chen
,
N.
Wang
,
H.
San
,
Y.
Yu
,
E.
Halvorsen
, and
X.
Chen
,
Appl. Energy
190
,
368
375
(
2017
).
273.
Z.
Zeng
,
B.
Ren
,
Q.
Xu
,
D.
Lin
,
W.
Di
,
H.
Luo
, and
D.
Wang
,
Appl. Phys. Lett.
107
(
17
),
173502
(
2015
).
274.
H.
Liu
,
C.
Lee
,
T.
Kobayashi
,
C. J.
Tay
, and
C.
Quan
,
Smart Mater. Struct.
21
(
3
),
035005
(
2012
).
275.
S. C.
Stanton
,
C. C.
McGehee
, and
B. P.
Mann
,
Appl. Phys. Lett.
95
(
17
),
174103
(
2009
).
276.
G.
Sebald
,
H.
Kuwano
,
D.
Guyomar
, and
B.
Ducharne
,
Smart Mater. Struct.
20
(
10
),
102001
(
2011
).
277.
L. H.
Tang
and
Y. W.
Yang
,
Appl. Phys. Lett.
101
(
9
),
094102
(
2012
).
278.
K. Q.
Fan
,
Q. X.
Tan
,
Y. W.
Zhang
,
S. H.
Liu
,
M. L.
Cai
, and
Y. M.
Zhu
,
Appl. Phys. Lett.
112
(
12
),
123901
(
2018
).
279.
A.
Erturk
and
D. J.
Inman
,
J. Sound Vib.
330
(
10
),
2339
2353
(
2011
).
280.
R. L.
Harne
and
K. W.
Wang
,
Smart Mater. Struct.
22
(
2
),
023001
(
2013
).
281.
C.
McInnes
,
D.
Gorman
, and
M.
Cartmell
,
J. Sound Vib.
318
(
4
),
655
662
(
2008
).
282.
R.
Benzi
,
G.
Parisi
,
A.
Sutera
, and
A.
Vulpiani
,
Tellus
34
(
1
),
10
16
(
1982
).
283.
F.
Cottone
,
H.
Vocca
, and
L.
Gammaitoni
,
Phys. Rev. Lett.
102
(
8
),
080601
(
2009
).
284.
A.
Erturk
,
J.
Hoffmann
, and
D. J.
Inman
,
Appl. Phys. Lett.
94
(
25
),
254102
(
2009
).
285.
R. L.
Harne
,
M.
Thota
, and
K. W.
Wang
,
Appl. Phys. Lett.
102
(
5
),
053903
(
2013
).
286.
S. P.
Pellegrini
,
N.
Tolou
,
M.
Schenk
, and
J. L.
Herder
,
J. Intell. Mater. Syst. Struct.
24
(
11
),
1303
1312
(
2013
).
287.
S.
Zhao
and
A.
Erturk
,
Appl. Phys. Lett.
102
(
10
),
103902
(
2013
).
288.
C. B.
Lan
,
L.
Tang
, and
R. L.
Harne
,
J. Sound Vib.
421
,
61
78
(
2018
).
289.
S. X.
Zhou
,
J. Y.
Cao
,
A.
Erturk
, and
J.
Lin
,
Appl. Phys. Lett.
102
(
17
),
173901
(
2013
).
290.
J.
Cao
,
S.
Zhou
,
D. J.
Inman
, and
Y.
Chen
,
Nonlinear Dyn.
80
(
4
),
1705
1719
(
2015
).
291.
S. X.
Zhou
,
J. Y.
Cao
,
D. J.
Inman
,
J.
Lin
,
S. S.
Liu
, and
Z. Z.
Wang
,
Appl. Energy
133
,
33
39
(
2014
).
292.
J.
Cao
,
S. X.
Zhou
,
W.
Wang
, and
J.
Lin
,
Appl. Phys. Lett.
106
(
17
),
173903
(
2015
).
293.
W.
Wang
,
J. Y.
Cao
,
C. R.
Bowen
,
S. X.
Zhou
, and
J.
Lin
,
Energy
118
,
221
230
(
2017
).
294.
L.
Gammaitoni
,
I.
Neri
, and
H.
Vocca
,
Appl. Phys. Lett.
94
(
16
),
164102
(
2009
).
295.
S. C.
Stanton
,
C. C.
McGehee
, and
B. P.
Mann
,
Physica D
239
(
10
),
640
653
(
2010
).
296.
S. C.
Stanton
,
B. A. M.
Owens
, and
B. P.
Mann
,
J. Sound Vib.
331
(
15
),
3617
3627
(
2012
).
297.
M.
Ferrari
,
V.
Ferrari
,
M.
Guizzettia
,
B.
Ando
,
S.
Bagliob
, and
C.
Trigonab
,
Sens. Actuators, A
162
(
2
),
425
431
(
2010
).
298.
M.
Ferrari
,
M.
Baù
,
M.
Guizzetti
, and
V.
Ferrari
,
Sens. Actuators, A
172
(
1
),
287
292
(
2011
).
299.
H.
Vocca
,
I.
Neri
,
F.
Travasso
, and
L.
Gammaitoni
,
Appl. Energy
97
,
771
776
(
2012
).
300.
L.
Tang
,
Y.
Yang
, and
C. K.
Soh
,
J. Intell. Mater. Syst. Struct.
23
(
13
),
1433
1449
(
2012
).
301.
B.
Ando
,
S.
Baglio
,
C.
Trigona
,
N.
Dumas
,
L.
Latorre
, and
P.
Nouet
,
J. Micromech. Microeng.
20
(
12
),
125020
(
2010
).
302.
W.
Yang
and
S.
Towfighian
,
Mech. Syst. Signal Process.
90
,
317
333
(
2017
).
303.
Z. Y.
Zhou
,
W. Y.
Qin
, and
P.
Zhu
,
Mech. Syst. Signal Process.
84
,
158
168
(
2017
).
304.
Z. Y.
Zhou
,
W. Y.
Qin
, and
P.
Zhu
,
Mech. Syst. Signal Process.
110
,
260
272
(
2018
).
305.
G. W.
Kim
and
J.
Kim
,
Smart Mater. Struct.
22
(
1
),
014005
(
2013
).
306.
R.
Masana
and
M. F.
Daqaq
,
J. Appl. Phys.
111
(
4
),
044501
(
2012
).
307.
H.
Vocca
,
F.
Cottone
,
I.
Neri
, and
L.
Gammaitoni
,
Eur. Phys. J.: Spec. Top.
222
(
7
),
1699
1705
(
2013
).
308.
C. D.
Xu
,
Z.
Liang
,
B.
Ren
,
W. N.
Di
,
H. S.
Luo
,
D.
Wang
,
K. L.
Wang
, and
Z. F.
Chen
,
J. Appl. Phys.
114
(
11
),
114507
(
2013
).
309.
B.
Ando
,
S.
Baglio
,
A. R.
Bulsara
,
V.
Marletta
,
V.
Ferrari
, and
M.
Ferrari
,
IEEE Sens. J.
15
(
6
),
3209
3220
(
2015
).
310.
Y.
Zhu
and
J. W.
Zu
,
Appl. Phys. Lett.
103
(
4
),
041905
(
2013
).
311.
M. I.
Friswell
,
S. F.
Ali
,
O.
Bilgen
,
S.
Adhikari
,
A. W.
Lees
, and
G.
Litak
,
J. Intell. Mater. Syst. Struct.
23
(
13
),
1505
1521
(
2012
).
312.
A. F.
Arrieta
,
P.
Hagedorn
,
A.
Erturk
, and
D. J.
Inman
,
Appl. Phys. Lett.
97
(
10
),
104102
(
2010
).
313.
D. N.
Betts
,
C. R.
Bowen
,
H. A.
Kim
,
N.
Gathercole
,
C. T.
Clarke
, and
D. J.
Inman
,
Eur. Phys. J.: Spec. Top.
222
(
7
),
1553
1562
(
2013
).
314.
L.
Van Blarigan
,
P.
Danzl
, and
J.
Moehlis
,
Appl. Phys. Lett.
100
(
25
),
253904
(
2012
).
315.
H.
Kulah
and
K.
Najafi
,
IEEE Sens. J.
8
(
3
),
261
268
(
2008
).
316.
M.
Umeda
,
K.
Nakamura
, and
S.
Ueha
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 1
35
(
5B
),
3267
3273
(
1996
).
317.
M.
Umeda
,
K.
Nakamura
, and
S.
Ueha
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 1
36
(
5B
),
3146
3151
(
1997
).
318.
M.
Renaud
,
P.
Fiorini
,
R.
van Schaijk
, and
C.
van Hoof
,
Smart Mater. Struct.
18
(
3
),
035001
(
2009
).
319.
X. F.
He
,
K. S.
Teh
,
S. Y.
Li
,
L. X.
Dong
, and
S. L.
Jiang
,
Sens. Actuators, A
259
,
171
179
(
2017
).
320.
M. A.
Halim
and
J. Y.
Park
,
Microsyst. Technol.
24
(
5
),
2099
2107
(
2018
).
321.
L.
Gu
,
Microelectron. J.
42
(
2
),
277
(
2011
).
322.
L.
Gu
and
C.
Livermore
,
Smart Mater. Struct.
20
(
4
),
045004
(
2011
).
323.
M. A.
Halim
,
S.
Khym
, and
J. Y.
Park
,
J. Appl. Phys.
114
(
4
),
044902
(
2013
).
324.
M. A.
Halim
and
J. Y.
Park
,
Sens. Actuators, A
208
(
2
),
56
(
2014
).
325.
X.
Zhang
,
S.
Gao
,
D.
Li
,
L.
Jin
,
Q.
Wu
, and
F.
Liu
,
Appl. Phys. Lett.
112
(
16
),
163902
(
2018
).
326.
H.
Liu
,
C.
Lee
,
T.
Kobayashi
,
C. J.
Tay
, and
C.
Quan
,
Sens. Actuators, A
186
(
4
),
242
(
2012
).
327.
J.
Zhang
,
L.
Kong
,
L.
Zhang
,
F.
Li
,
W.
Zhou
,
S.
Ma
, and
L.
Qin
,
Appl. Sci.
6
(
12
),
402
(
2016
).
328.
D. G.
Lee
,
G. P.
Carman
,
D.
Murphy
, and
C.
Schulenbury
, paper presented at
IEEE Transducer 07
(
2007
).
329.
P.
Janphuang
,
R. A.
Lockhart
,
D.
Isarskorn
,
S.
Henein
,
D.
Briand
, and
N. F. D.
Rooij
,
J. Microelectromech. Syst.
24
(
3
),
742
754
(
2015
).
330.
M.
Pozzi
and
M.
Zhu
,
Smart Mater. Struct.
20
(
5
),
055007
(
2011
).
331.
M.
Pozzi
,
M. S. H.
Aung
,
M.
Zhu
,
R. K.
Jones
, and
J. Y.
Goulermas
,
Smart Mater. Struct.
21
(
7
),
075023
(
2012
).
332.
Y.
Kuang
and
M.
Zhu
,
Sens. Actuators, A
263
,
510
520
(
2017
).
333.
S.
Priya
,
Appl. Phys. Lett.
87
(
18
),
184101
(
2005
).
334.
H.
Liu
,
C. J.
Tay
,
C.
Quan
,
T.
Kobayashi
, and
C.
Lee
,
Microsyst. Technol.
17
(
12
),
1747
1754
(
2011
).
335.
S. M.
Jung
and
K. S.
Yun
,
Appl. Phys. Lett.
96
(
11
),
111906
(
2010
).
336.
D.
Han
and
K. S.
Yun
,
Microsyst. Technol.
21
(
8
),
1669
1676
(
2015
).
337.
B.
Ando
,
S.
Baglio
,
A. R.
Bulsara
,
V.
Marletta
, and
A.
Pistorio
,
IEEE Trans. Instrum. Meas.
66
(
5
),
1067
1075
(
2017
).
338.
B.
Ando
,
S.
Baglio
,
V.
Marletta
,
A.
Pistorio
, and
A. R.
Bulsara
,
IEEE Trans. Instrum. Meas.
66
(
5
),
992
1001
(
2017
).
339.
T.
Galchev
,
H.
Kim
, and
K.
Najafi
,
J. Microelectromech. Syst.
20
(
4
),
852
866
(
2011
).
340.
T.
Galchev
,
E. E.
Aktakka
, and
K.
Najafi
,
J. Microelectromech. Syst.
21
(
6
),
1311
1320
(
2012
).
341.
Q.
Tang
and
X.
Li
,
IEEE/ASME Trans. Mech.
20
(
1
),
115
121
(
2015
).
342.
T. K.
Chung
,
C. M.
Wang
,
P. C.
Yeh
, and
T. W.
Liu
,
IEEE Sens. J.
14
(
9
),
3152
3163
(
2014
).
343.
K.
Fan
,
J.
Chang
,
F.
Chao
, and
W.
Pedrycz
,
Energy Convers. Manage.
96
,
430
439
(
2015
).
344.
K.
Fan
,
J.
Chang
,
W.
Pedrycz
,
Z
,
Liu
, and
Y.
Zhu
,
Appl. Phys. Lett.
106
(
22
),
223902
(
2015
).
345.
P.
Pillatsch
,
E. M.
Yeatman
, and
A. S.
Holmes
,
Sens. Actuators, A
206
(
3
),
178
185
(
2014
).
346.
P.
Pillatsch
,
E. M.
Yeatman
,
A. S.
Holmes
, and
P. K.
Wright
,
Sens. Actuators, A
244
,
77
85
(
2016
).
347.
R.
Ramezanpour
,
H.
Nahvi
, and
S.
Ziaei-Rad
,
J. Sound Vib.
370
,
280
305
(
2016
).
348.
H.
Fu
and
E. M.
Yeatman
,
Energy
125
,
152
161
(
2017
).
349.
T.
Xue
and
S.
Roundy
,
Sens. Actuators, A
253
,
101
111
(
2017
).
350.
G.
Poulin
,
E.
Sarraute
, and
F.
Costa
,
Sens. Actuators, A
116
,
461
471
(
2004
).
351.
T.
Wacharasindhu
and
J. W.
Kwon
,
J. Micromech. Microeng.
18
(
10
),
104016
(
2008
).
352.
V. R.
Challa
,
M. G.
Prasad
, and
F. T.
Fisher
,
Smart Mater. Struct.
18
(
9
),
095029
(
2009
).
353.
B.
Yang
,
C.
Lee
,
W.
Kee
, and
S. P.
Lim
,
J. Micro/Nanolithogr., MEMS, MOEMS
9
(
2
),
023002
(
2010
).
354.
Y.
Sang
,
X.
Huang
,
H.
Liu
, and
P.
Jin
,
IEEE Trans. Magn.
48
(
11
),
4495
4498
(
2012
).
355.
M.
Wischke
,
M.
Masur
, and
P.
Woias
, paper presented at
Transducers 2009
,
Denver, CO
,
21–25 June
2009
, pp.
521
–5
52
.
356.
P.
Li
,
S.
Gao
, and
H.
Cai
,
Microsyst. Technol.
21
(
2
),
401
414
(
2015
).
357.
P.
Li
,
S.
Gao
, and
B.
Cong
,
AIP Adv.
8
(
3
),
035017
(
2018
).
358.
P.
Li
,
S.
Gao
,
X.
Zhou
, and
H.
Liu
,
Microsyst. Technol.
24
(
2
),
1017
1024
(
2018
).
359.
P.
Li
,
S.
Gao
,
X.
Zhou
,
H.
Liu
, and
J.
Shi
,
Microsyst. Technol.
23
(
12
),
5281
5292
(
2017
).
360.
H.
Lin
,
P.
Hsu
,
T.
Chen
,
H.
Liu
,
H.
Huang
,
L.
Sun
, and
L.
Cui
, paper presented at the
16th International Conference on Nanotechnology (IEEE Nano 2016)
,
Sendai, Japan
,
22–25 August
2016
.
361.
K.
Fan
,
S.
Liu
,
H.
Liu
,
Y.
Zhu
,
W.
Wang
, and
D.
Zhang
,
Appl. Energy
216
,
8
20
(
2018
).
362.
M. D.
Han
,
X. S.
Zhang
,
W.
Liu
,
X. M.
Sun
,
X. H.
Peng
, and
H. X.
Zhang
,
Sci. China: Technol. Sci.
56
(
8
),
1835
1841
(
2013
).
363.
T.
Chen
,
Y.
Xia
,
W.
Liu
,
H. C.
Liu
,
L. N.
Sun
, and
C.
Lee
,
J. Microelectromech. Syst.
25
(
5
),
845
847
(
2016
).
364.
X.
He
,
Q.
Wen
,
Y.
Sun
, and
Z.
Wen
,
Nano Energy
40
,
300
307
(
2017
).
365.
T.
Starner
,
IBM Syst. J.
35
(
3–4
),
618
629
(
1996
).
366.
T.
Starner
and
J.
Paradiso
,
Low Power Electronics Design
(
CRC Press
,
New York
,
2004
), Chap. 45.
367.
S.
Khalifa
,
G.
Lan
,
M.
Hassan
,
A.
Seneviratne
, and
S. K.
Das
,
IEEE Trans. Mobile Comput.
17
(
6
),
1353
1368
(
2018
).
368.
J. L.
Gonzalez
,
A.
Rubio
, and
F.
Moll
,
Int. J. Soc. Mater. Eng. Resour.
10
,
34
40
(
2002
).
369.
P.
Niu
,
P.
Chapman
,
R.
Riemer
, and
X.
Zhang
, paper presented at the
35th Annual Power Electronics Specialists Conf.
(
2004
), pp.
2100
2106
.
370.
N. S.
Shenck
and
J. A.
Paradiso
,
IEEE Micro
21
(
3
),
30
42
(
2001
).
371.
K.
Ishida
,
T. C.
Huang
,
K.
Honda
,
Y.
Shinozuka
,
H.
Fuketa
,
T.
Yokota
,
U.
Zschieschang
,
H.
Klauk
,
G.
Tortissier
,
T.
Sekitani
,
H.
Toshiyoshi
,
M.
Takamiya
,
T.
Someya
, and
T.
Sakurai
,
IEEE J. Solid-State Circuits
48
(
1
),
255
264
(
2013
).
372.
J.
Zhao
and
Z.
You
,
Sensors
14
(
7
),
12497
12510
(
2014
).
373.
Y.
Han
,
Y.
Cao
,
J.
Zhao
,
Y.
Yin
,
L.
Ye
,
X.
Wang
, and
Z.
You
,
Sensors
16
(
9
),
1502
(
2016
).
374.
K.
Fan
,
Z.
Liu
,
H.
Liu
,
L.
Wang
,
Y.
Zhu
, and
B.
Yu
,
Appl. Phys. Lett.
110
(
14
),
143902
(
2017
).
375.
W. S.
Jung
,
M. J.
Lee
,
M. G.
Kang
,
H. G.
Moon
,
S. K.
Yoon
,
S. H.
Baek
, and
C. Y.
Kang
,
Nano Energy
13
,
174
181
(
2015
).
376.
R.
Shukla
and
A. J.
Bell
,
Sens. Actuators, A
222
,
39
47
(
2015
).
377.
Y.
Kuang
,
T.
Ruan
,
J. C.
Zheng
, and
M.
Zhu
,
Sens. Actuators, A
254
,
69
77
(
2017
).
378.
I.
Izadgoshasb
,
Y. Y.
Lim
,
N.
Lake
,
L.
Tang
,
R. V.
Padilla
, and
T.
Kashiwao
,
Energy Convers. Manage.
161
,
66
73
(
2018
).
379.
C.
Sun
,
J.
Shi
,
D. J.
Bayerl
, and
X.
Wang
,
Energy Environ. Sci.
4
(
11
),
4508
4512
(
2011
).
380.
H.
Xue
,
Q.
Yang
,
D.
Wang
,
W.
Luo
,
W.
Wang
,
M.
Lin
,
D.
Liang
, and
Q.
Luo
,
Nano Energy
38
,
147
154
(
2017
).
381.
Q.
Zheng
,
B.
Shi
,
Z.
Li
, and
Z. L.
Wang
,
Adv. Sci.
4
(
7
),
1700029
(
2017
).
382.
S. H.
Lee
,
C. K.
Jeong
,
G.-T.
Hwang
, and
K. J.
Lee
,
Nano Energy
14
,
111
125
(
2015
).
383.
M.
Kindermann
,
B.
Schwaab
,
M.
Berg
, and
G.
Frohlig
,
Pacing Clin. Electrophysiol.
24
(
5
),
810
815
(
2001
).
384.
J. C.
Deharo
and
P.
Djiane
,
Ann. Cardiol. Angeiol.
54
(
1
),
26
31
(
2005
).
385.
V. R.
Vorperian
,
S.
Lawrence
, and
K.
Chlebowski
,
Pacing Clin. Electrophysiol.
22
(
5
),
698
705
(
1999
).
386.
M. A.
Wood
and
K. A.
Ellenbogen
,
Circulation
105
(
18
),
2136
2138
(
2002
).
387.
Q.
Zheng
,
B.
Shi
,
F.
Fan
,
X.
Wang
,
L.
Yan
,
W.
Yuan
,
S.
Wang
,
H.
Liu
,
Z.
Li
, and
Z. L.
Wang
,
Adv. Mater.
26
(
33
),
5851
5856
(
2014
).
388.
Q.
Zheng
,
H.
Zhang
,
B.
Shi
,
X.
Xue
,
Z.
Liu
,
Y.
Jin
,
Y.
Ma
,
Y.
Zou
,
X.
Wang
,
Z.
An
,
W.
Tang
,
W.
Zhang
,
F.
Yang
,
Y.
Liu
,
X.
Lang
,
Z.
Xu
,
Z.
Li
, and
Z. L.
Wang
,
ACS Nano
10
,
6510
(
2016
).
389.
Y.
Ma
,
Q.
Zheng
,
Y.
Liu
,
B.
Shi
,
X.
Xue
,
W.
Ji
,
Z.
Liu
,
Y.
Jin
,
Y.
Zou
,
Z.
An
,
W.
Zhang
,
X.
Wang
,
W.
Jiang
,
Z.
Xu
,
Z. L.
Wang
,
Z.
Li
, and
H.
Zhang
,
Nano Lett.
16
(
10
),
6042
(
2016
).
390.
Z.
Li
,
G.
Zhu
,
R.
Yang
,
A. C.
Wang
, and
Z. L.
Wang
,
Adv. Mater.
22
(
23
),
2534
2537
(
2010
).
391.
X.
Cheng
,
X.
Xue
,
Y.
Ma
,
M.
Han
,
W.
Zhang
,
Z.
Xu
,
H.
Zhang
, and
H.
Zhang
,
Nano Energy.
22
,
453
460
(
2016
).
392.
Y.
Yu
,
H.
Sun
,
H.
Orbay
,
F.
Chen
,
C. G.
England
,
W.
Cai
, and
X.
Wang
,
Nano Energy
27
,
275
281
(
2016
).
393.
C.
Dagdeviren
,
Y.
Shi
,
P.
Joe
,
R.
Ghaffari
,
G.
Balooch
,
K.
Usgaonkar
,
O.
Gur
,
P. L.
Tran
,
J. R.
Crosby
,
M.
Meyer
,
Y.
Su
,
R.
Chad Webb
,
A. S.
Tedesco
,
M. J.
Slepian
,
Y.
Huang
, and
J. A.
Rogers
,
Nat. Mater.
14
(
7
),
728
(
2015
).
394.
G. T.
Hwang
,
M.
Byun
,
C. K.
Jeong
, and
K. J.
Lee
,
Adv. Healthcare Mater.
4
,
646
(
2015
).
395.
H.
Zhang
,
X.-S.
Zhang
,
X.
Cheng
,
Y.
Liu
,
M.
Han
,
X.
Xue
,
S.
Wang
,
F.
Yang
,
A. S.
Smitha
,
H.
Zhang
, and
Z.
Xu
,
Nano Energy
12
,
296
(
2015
).
396.
S. R.
Platt
,
S.
Farritor
, and
H.
Haider
,
IEEE/ASME Trans. Mech.
10
(
2
),
240
252
(
2005
).
397.
S. R.
Platt
,
S.
Farritor
, and
H.
Haider
,
IEEE/ASME Trans. Mech.
10
(
4
),
455
461
(
2005
).
398.
M.
Deterre
,
E.
Lefeuvre
,
Y.
Zhu
,
M.
Woytasik
,
B.
Boutaud
, and
R. D.
Molin
,
J. Microelectromech. Syst.
23
(
3
),
651
660
(
2014
).
399.
G. T.
Hwang
,
Y.
Kim
,
J. H.
Lee
,
S.
Oh
,
C. K.
Jeong
,
D. Y.
Park
,
J.
Ryu
,
H. S.
Kwon
,
S. G.
Lee
,
B.
Joung
,
D.
Kim
, and
K. J.
Lee
,
Energy Environ. Sci.
8
(
9
),
2677
2684
(
2015
).
400.
C.
Dagdeviren
,
B. D.
Yang
,
Y.
Su
,
P. L.
Tran
,
P.
Joe
,
E.
Anderson
,
J.
Xia
,
V.
Doraiswamy
,
B.
Dehdashti
,
X.
Feng
,
B.
Lu
,
R.
Poston
,
Z.
Khalpey
,
R.
Ghaffari
,
Y.
Huang
,
M. J.
Slepian
, and
J. A.
Rogers
,
Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A.
111
,
1927
(
2014
).
401.
D. H.
Kim
and
K. J.
Lee
,
Adv. Funct. Mater.
27
(
25
),
1700341
(
2017
).
402.
N.
Elvin
,
A.
Elvin
, and
D. H.
Choi
,
J. Strain Anal. Eng. Des.
38
,
115
124
(
2003
).
403.
S. W.
Arms
,
C. P.
Townsend
,
D. L.
Churchill
,
J. H.
Galbreath
, and
S. W.
Mundell
,
Proc. SPIE
5763
,
267
275
(
2005
).
404.
E. E.
Aktakka
,
R. L.
Peterson
, and
K.
Najafi
, in
Proceeding of the IEEE Conference on Industrial Automation and Control Emerging Technology Applications
(
2011
), Vol.
6
, p.
409
.
405.
D.
Zhu
,
S. P.
Beeby
,
M. J.
Tudor
, and
N. R.
Harris
,
Sens. Actuators, A
169
(
2
),
317
325
(
2011
).
406.
See https://www.microgensystems.com/ for MicroGen BOLT energy harvesting product.
407.
K. B.
Singh
,
V.
Bedekar
,
S.
Taheri
, and
S.
Priya
,
Mechatronics
22
(
7
),
970
988
(
2012
).
408.
Q. C.
Tang
,
X. Y.
Xia
, and
X. X.
Li
, in
Proceeding of the 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
(
IEEE MEMS
,
2012
), pp.
1273
1276
.
409.
R. V.
Schaijk
,
R.
Elfrink
,
J.
Oudenhoven
,
V.
Pop
,
Z.
Wang
, and
M.
Renaud
,
Proc. SPIE
8763
,
876305
(
2013
).
410.
J.
Lee
and
B.
Choi
,
Energy Convers. Manage.
78
,
32
38
(
2014
).
411.
Y.
Zhang
,
R.
Zheng
,
K.
Shimono
,
T.
Kaizka
, and
K.
Nakano
,
Sensors
16
(
10
),
1727
(
2016
).
412.
Y.
Zhang
,
R.
Zheng
,
K.
Nakano
, and
M. P.
Cartmell
,
Appl. Phys. Lett.
112
(
14
),
143901
(
2018
).
413.
J. M.
McCarthy
,
S.
Watkins
,
A.
Deivasigamani
, and
S. J.
John
,
J. Sound Vib.
361
(
8
),
355
377
(
2016
).
414.
A.
Abdelkefi
,
Int. J. Eng. Sci.
100
,
112
135
(
2016
).
415.
D.
Li
,
Y.
Wu
,
A. D.
Ronch
, and
J.
Xiang
,
Prog. Aerosp. Sci.
86
,
28
62
(
2016
).
416.
L.
Zhao
and
Y.
Yang
,
Shock Vib.
2017
,
3585972
.
417.
J.
Zhang
,
Z.
Fang
,
C.
Shu
,
J.
Zhang
,
Q.
Zhang
, and
C.
Li
,
Sens. Actuators A: Phys.
262
,
123
129
(
2017
).
418.
S. M.
Frayne
, “
Generator utilizing fluid-induced oscillations
,”
 U.S. patent 20090,309,362 (
2009
).
419.
W. B.
Hobbs
and
D. L.
Hu
,
J. Fluids Struct.
28
(
1
),
103
114
(
2012
).
420.
H. C.
Liu
,
S.
Zhang
,
R.
Kathiresan
,
T.
Kobayashi
, and
C.
Lee
,
Appl. Phys. Lett.
100
(
22
),
223905
(
2012
).
421.
H. L.
Dai
,
A.
Abdelkefi
,
Y.
Yang
, and
L.
Wang
,
Appl. Phys. Lett.
108
(
5
),
053902
(
2016
).
422.
P. V.
Biswas
,
M. A.
Uddin
,
M. A.
Islam
,
M. A.
Sarkar
,
V. G.
Desa
,
M. H.
Khan
, and
A. M. A.
Huq
, paper presented at the
International Conference On Mechanical Engineering
,
Dhaka
,
2009
.
423.
V. K.
Wong
,
J. H.
Ho
, and
A. B.
Chai
,
Energy
124
,
364
371
(
2017
).
424.
M.
Al Ahmad
,
J. Electron. Mater.
43
(
2
),
452
458
(
2014
).
425.
C. H.
Wong
,
Z.
Dahari
,
A. A.
Manaf
, and
M. A.
Miskam
,
J. Electron. Mater.
44
(
1
),
13
21
(
2015
).
426.
M. A.
Ilyas
and
J.
Swingler
,
Energy
90
,
796
806
(
2015
).
427.
Z. Z.
Ong
,
V. K.
Wong
, and
J. H.
Ho
,
Sens. Actuators, A
252
,
154
164
(
2016
).
428.
N. A. K. Z.
Abidin
,
N. M.
Nayan
,
M. M.
Azizan
, and
A.
Ali
,
Mech. Syst. Signal Process.
101
,
211
218
(
2018
).
429.
G.
Acciari
,
M.
Caruso
,
R.
Miceli
,
L.
Riggi
,
P.
Romano
,
G.
Schettino
, and
F.
Viola
,
IEEE Trans. Ind. Appl.
54
(
1
),
458
468
(
2018
).
430.
A.
Delorme
,
D.
Karbowski
,
R.
Vijayagopal
, and
P.
Sharer
,
Evaluation of fuel consumption potential of medium and heavy duty vehicles through modeling and simulation
,
National Academy of Sciences
,
Washington, D.C
.,
2009
.
431.
H.
Xiong
and
L.
Wang
,
Appl. Energy
174
,
101
107
(
2016
).
432.
M.
Peigney
and
D.
Siegert
,
Smart Mater. Struct.
22
(
9
),
095019
(
2013
).
433.
M.
Wischke
,
M.
Masur
,
M.
Kroner
, and
P.
Woias
,
Smart Mater. Struct.
20
(
8
),
085014
(
2011
).
434.
H.
Zhao
,
J.
Ling
, and
J.
Yu
,
J. Ceram. Soc. Jpn.
120
(
1404
),
317
323
(
2012
).
435.
H. J.
Xiang
,
J. J.
Wang
,
Z. F.
Shi
, and
Z. W.
Zhang
,
Smart Mater. Struct.
22
(
9
),
095024
(
2013
).
436.
X.
Jiang
,
Y.
Li
,
J.
Li
,
J.
Wang
, and
J.
Yao
,
J. Renewable Sustainable Energy
6
(
4
),
043110
(
2014
).
437.
A.
Moure
,
M. A. I.
Rodríguez
,
S. H.
Rueda
,
A.
Gonzalo
,
F.
Rubio-Marcos
,
D. U.
Cuadros
,
A.
Pérez-Lepe
, and
J. F.
Fernández
,
Energy Convers. Manage.
112
,
246
253
(
2016
).
438.
I.
Jung
,
Y. H.
Shin
,
S.
Kim
,
J. Y.
Choi
, and
C. Y.
Kang
,
Appl. Energy
197
,
222
229
(
2017
).
439.
Y. H.
Shin
,
I.
Jung
,
M. S.
Noh
,
J. H.
Kim
,
J. Y.
Choi
,
S.
Kim
, and
C. Y
,
Kang
,
Appl. Energy
216
,
741
750
(
2018
).
440.
H.
Wang
,
A.
Jasim
, and
X.
Chen
,
Appl. Energy
212
,
1083
1094
(
2018
).
441.
G. W.
Taylor
,
J. R.
Burns
,
S. M.
Kammann
,
W. B.
Powers
, and
T. R.
Welsh
,
IEEE J. Oceanic Eng.
26
,
539
547
(
2001
).
442.
N.
Wu
,
Q.
Wang
, and
X. D.
Xie
,
Appl. Ocean Res.
50
,
110
118
(
2015
).
443.
N. V.
Viet
,
X. D.
Xie
,
K. M.
Liew
,
N.
Banthia
, and
Q.
Wang
,
Energy
112
,
1219
1226
(
2016
).
444.
W. S.
Hwang
,
J. H.
Ahn
,
S. Y.
Jeong
,
H. J.
Jung
,
S. K.
Hong
,
J. Y.
Choi
,
J. Y.
Cho
,
J. H.
Kim
, and
T. H.
Sung
,
Sens. Actuators, A
260
,
191
197
(
2017
).
445.
H.
Mutsuda
,
Y.
Tanaka
,
R.
Patel
,
Y.
Doi
,
Y.
Moriyama
, and
Y.
Umino
,
Appl. Ocean Res.
68
,
182
193
(
2017
).
446.
X. D.
Xie
and
Q.
Wang
,
Compos. Struct.
178
,
447
454
(
2017
).
You do not currently have access to this content.