The polar nature of the wurtzite crystalline structure of GaN and ZnO results in the existence of a spontaneous electric polarization within these materials and their associated alloys (Ga,Al,In)N and (Zn,Mg,Cd)O. The polarity has also important consequences on the stability of the different crystallographic surfaces, and this becomes especially important when considering epitaxial growth. Furthermore, the internal polarization fields may adversely affect the properties of optoelectronic devices but is also used as a potential advantage for advanced electronic devices. In this article, polarity-related issues in GaN and ZnO are reviewed, going from theoretical considerations to electronic and optoelectronic devices, through thin film, and nanostructure growth. The necessary theoretical background is first introduced and the stability of the cation and anion polarity surfaces is discussed. For assessing the polarity, one has to make use of specific characterization methods, which are described in detail. Subsequently, the nucleation and growth mechanisms of thin films and nanostructures, including nanowires, are presented, reviewing the specific growth conditions that allow controlling the polarity of such objects. Eventually, the demonstrated and/or expected effects of polarity on the properties and performances of optoelectronic and electronic devices are reported. The present review is intended to yield an in-depth view of some of the hot topics related to polarity in GaN and ZnO, a fast growing subject over the last decade.

1.
I.
Akasaki
,
Rev. Mod. Phys.
87
,
1119
(
2015
).
2.
3.
S.
Nakamura
,
Rev. Mod. Phys.
87
,
1139
(
2015
).
4.
O.
Brandt
and
K. H.
Ploog
,
Nat. Mater.
5
,
769
(
2006
).
5.
O.
Ambacher
,
J.
Smart
,
J. R.
Shealy
,
N. G.
Weimann
,
K.
Chu
,
M.
Murphy
,
W. J.
Schaff
,
L. F.
Eastman
,
R.
Dimitrov
,
L.
Wittmer
,
M.
Stutzmann
,
W.
Rieger
, and
J.
Hilsenbeck
,
J. Appl. Phys.
85
,
3222
(
1999
).
6.
Ü.
Özgür
,
Y. I.
Alivov
,
C.
Liu
,
A.
Teke
,
M. A.
Reshchikov
,
S.
Doğan
,
V.
Avrutin
,
S.-J.
Cho
, and
H.
Morkoç
,
J. Appl. Phys.
98
,
041301
(
2005
).
7.
D. C.
Look
,
Mater. Sci. Eng., B
80
,
383
(
2001
).
8.
S. J.
Pearton
,
D. P.
Norton
,
K.
Ip
,
Y. W.
Heo
, and
T.
Steiner
,
Prog. Mater. Sci.
50
,
293
(
2005
).
9.
W. A.
Harrison
,
J. Vac. Sci. Technol.
16
,
1492
(
1979
).
10.
11.
P. W.
Tasker
,
J. Phys. C: Solid State Phys.
12
,
4977
(
1979
).
12.
C.
Noguera
,
J. Phys.: Condens Matter
12
,
R367
(
2000
).
13.
A Primer in Density Functional Theory
, edited by
C.
Fiolhais
,
F.
Nogueira
, and
M. A. L.
Marques
(
Springer-Verlag
,
Berlin, Heidelberg
,
2003
), Vol. 620.
14.
R. G.
Parr
and
W.
Yang
,
Density-Functional Theory of Atoms and Molecules
(
Oxford University Press
,
New York
,
1989
), Vol. 16.
15.
M.
Himmerlich
,
L.
Lymperakis
,
R.
Gutt
,
P.
Lorenz
,
J.
Neugebauer
, and
S.
Krischok
,
Phys. Rev. B
88
,
125304
(
2013
).
16.
A. I.
Duff
,
L.
Lymperakis
, and
J.
Neugebauer
,
Phys. Status Solidi B
252
,
855
(
2015
).
17.
J. F.
Nye
,
Physical Properties of Crystals
(
Oford University Press
,
Amen House, London
,
1964
).
18.
H.
Klapper
and
T.
Hahn
,
International Tables for Crystallography
(
International Union of Crystallography
,
2006
), Vol. A,
p. 804
.
19.
M.
Posternak
,
A.
Baldereschi
,
A.
Catellani
, and
R.
Resta
,
Phys. Rev. Lett.
64
,
1777
(
1990
).
20.
F.
Bernardini
,
V.
Fiorentini
, and
D.
Vanderbilt
,
Phys. Rev. B
56
,
10024
(
1997
).
21.
F.
Bechstedt
,
U.
Grossner
, and
J.
Furthmüller
,
Phys. Rev. B
62
,
8003
(
2000
).
22.
23.
R.
Resta
and
D.
Vanderbilt
,
Physics of Ferroelectrics
(
Springer
,
Berlin/Heidelberg
,
2007
), pp.
31
68
.
24.
M.
Posternak
,
A.
Baldereschi
,
A.
Catellani
, and
R.
Resta
,
Phys. Rev. Lett.
64
,
1777
(
1990
).
25.
A. K.
Tagantsev
,
Phys. Rev. Lett.
69
,
389
(
1992
).
26.
A.
Baldereschi
,
M.
Posternak
, and
R.
Resta
,
Phys. Rev. Lett.
69
,
390
(
1992
).
27.
F.
Bernardini
,
V.
Fiorentini
, and
D.
Vanderbilt
,
Phys. Rev. B
56
,
R10024
(
1997
).
28.
F.
Bernardini
,
V.
Fiorentini
, and
D.
Vanderbilt
,
Phys. Rev. B
63
,
193201
(
2001
).
29.
A.
Qteish
,
V.
Heine
, and
R. J.
Needs
,
Phys. Rev. B
45
,
6534
(
1992
).
30.
A.
Dal Corso
,
M.
Posternak
,
R.
Resta
, and
A.
Baldereschi
,
Phys. Rev. B
50
,
10715
(
1994
).
31.
J.
Lähnemann
,
O.
Brandt
,
U.
Jahn
,
C.
Pfüller
,
C.
Roder
,
P.
Dogan
,
F.
Grosse
,
A.
Belabbes
,
F.
Bechstedt
,
A.
Trampert
, and
L.
Geelhaar
,
Phys. Rev. B
86
,
081302
(
2012
).
32.
J.
Goniakowski
,
F.
Finocchi
, and
C.
Noguera
,
Rep. Prog. Phys.
71
,
016501
(
2008
).
33.
F.
Bechstedt
,
Principles of Surface Physics
(
Springer-Verlag
,
Berlin, Heidelberg
,
2003
).
34.
N.
Moll
,
A.
Kley
,
E.
Pehlke
, and
M.
Scheffler
,
Phys. Rev. B
54
,
8844
(
1996
).
35.
P.
Waltereit
,
O.
Brandt
,
A.
Trampert
,
H. T.
Grahn
,
J.
Menniger
,
M.
Ramsteiner
,
M.
Reiche
, and
K. H.
Ploog
,
Nature
406
,
865
(
2000
).
36.
J. L. A.
Alves
,
J.
Hebenstreit
, and
M.
Scheffler
,
Phys. Rev. B
44
,
6188
(
1991
).
37.
J.
Northrup
and
J.
Neugebauer
,
Phys. Rev. B
53
,
R10477
(
1996
).
38.
A.
Filippetti
,
V.
Fiorentini
,
G.
Cappellini
, and
A.
Bosin
,
Phys. Rev. B
59
,
8026
(
1999
).
39.
D.
Segev
,
A.
Janotti
, and
C. G.
Van de Walle
,
Phys. Rev. B
75
,
035201
(
2007
).
40.
C. G.
Van de Walle
and
D.
Segev
,
J. Appl. Phys.
101
,
081704
(
2007
).
41.
L.
Ivanova
,
S.
Borisova
,
H.
Eisele
,
M.
Dahne
,
A.
Laubsch
, and
P.
Ebert
,
Appl. Phys. Lett.
93
,
192110
(
2008
).
42.
M.
Bertelli
,
P.
Löptien
,
M.
Wenderoth
,
A.
Rizzi
,
R. G.
Ulbrich
,
M. C.
Righi
,
A.
Ferretti
,
L.
Martin-Samos
,
C. M.
Bertoni
, and
A.
Catellani
,
Phys. Rev. B
80
,
115324
(
2009
).
43.
L.
Lymperakis
,
P. H.
Weidlich
,
H.
Eisele
,
M.
Schnedler
,
J. P.
Nys
,
B.
Grandidier
,
D.
Stievenard
,
R. E.
Dunin-Borkowski
,
J.
Neugebauer
, and
P.
Ebert
,
Appl. Phys. Lett.
103
,
152101
(
2013
).
44.
L.
Lymperakis
and
J.
Neugebauer
,
Phys. Rev. B
79
,
241308
(
2009
).
45.
V.
Consonni
,
Phys. Status Solidi RRL
7
,
699
(
2013
).
46.
C. D.
Lee
,
R. M.
Feenstra
,
J. E.
Northrup
,
L.
Lymperakis
, and
J.
Neugebauer
,
Appl. Phys. Lett.
82
,
1793
(
2003
).
47.
J. E.
Northrup
,
R.
Di Felice
, and
J.
Neugebauer
,
Phys. Rev. B
56
,
R4325
(
1997
).
48.
B.
Meyer
and
D.
Marx
,
Phys. Rev. B
67
,
035403
(
2003
).
49.
D. J.
Cooke
,
A.
Marmier
, and
S. C.
Parker
,
J. Phys. Chem. B
110
,
7985
(
2006
).
50.
H.
Zhang
,
S.
Lu
,
W.
Xu
, and
F.
Yuan
,
J. Appl. Phys.
113
,
034903
(
2013
).
51.
N. L.
Marana
,
V. M.
Longo
,
E.
Longo
,
J. B. L.
Martins
, and
J. R.
Sambrano
,
J. Phys. Chem. A
112
,
8958
(
2008
).
52.
P.
Schröer
,
P.
Krüger
, and
J.
Pollmann
,
Phys. Rev. B
49
,
17092
(
1994
).
53.
A.
Wander
and
N. M.
Harrison
,
Surf. Sci.
457
,
L342
(
2000
).
54.
J. E.
Jaffe
,
N. M.
Harrison
, and
A. C.
Hess
,
Phys. Rev. B
49
,
11153
(
1994
).
55.
A.
Wander
and
N. M.
Harrison
,
J. Phys. Chem. B
105
,
6191
(
2001
).
56.
Y.
Wang
,
B.
Meyer
,
X.
Yin
,
M.
Kunat
,
D.
Langenberg
,
F.
Traeger
,
A.
Birkner
, and
C.
Wöll
,
Phys. Rev. Lett.
95
,
266104
(
2005
).
57.
J. E.
Northrup
,
J.
Neugebauer
,
R. M.
Feenstra
, and
A. R.
Smith
,
Phys. Rev. B
61
,
9932
(
2000
).
58.
A. R.
Smith
,
V.
Ramachandran
,
R. M.
Feenstra
,
D. W.
Greve
,
M. S.
Shin
,
M.
Skowronski
,
J.
Neugebauer
, and
J. E.
Northrup
,
J. Vac. Sci. Technol., A
16
,
1641
(
1998
).
59.
A. R.
Smith
,
R. M.
Feenstra
,
D. W.
Greve
,
M. S.
Shin
,
M.
Skowronski
,
J.
Neugebauer
, and
J. E.
Northrup
,
Appl. Phys. Lett.
72
,
2114
(
1998
).
60.
J.
Neugebauer
,
T.
Zywietz
,
M.
Scheffler
,
J. E.
Northrup
, and
C. G.
Van de Walle
,
Phys. Rev. Lett.
80
,
3097
(
1998
).
61.
C.
Adelmann
,
J.
Brault
,
G.
Mula
,
B.
Daudin
,
L.
Lymperakis
, and
J.
Neugebauer
,
Phys. Rev. B
67
,
165419
(
2003
).
62.
J.
Neugebauer
,
T. K.
Zywietz
,
M.
Scheffler
,
J. E.
Northrup
,
H.
Chen
, and
R. M.
Feenstra
,
Phys. Rev. Lett.
90
,
056101
(
2003
).
63.
A. R.
Smith
,
R. M.
Feenstra
,
D. W.
Greve
,
J.
Neugebauer
, and
J. E.
Northrup
,
Phys. Rev. Lett.
79
,
3934
(
1997
).
64.
C. A.
Pignedoli
,
R.
Di Felice
, and
C. M.
Bertoni
,
Phys. Rev. B
64
,
113301
(
2001
).
65.
K.
Rapcewicz
,
M. B.
Nardelli
, and
J.
Bernholc
,
Phys. Rev. B
56
,
12725
(
1997
).
66.
J.
Fritsch
,
O. F.
Sankey
,
K. E.
Schmidt
, and
J. B.
Page
,
Phys. Rev. B
57
,
15360
(
1998
).
67.
P.
Kempisty
,
P.
Strak
,
K.
Sakowski
, and
S.
Krukowski
,
J. Cryst. Growth
401
,
514
(
2014
).
68.
P.
Kempisty
,
P.
Strak
, and
S.
Krukowski
,
Phys. Status Solidi C
9
,
826
(
2012
).
69.
J.
Elsner
,
M.
Haugk
,
G.
Jungnickel
, and
T.
Frauenheim
,
Solid State Commun.
106
,
739
(
1998
).
70.
P.
Kempisty
and
S.
Krukowski
,
AIP Adv.
4
,
117109
(
2014
).
71.
C. G.
Van de Walle
and
J.
Neugebauer
,
Phys. Rev. Lett.
88
,
066103
(
2002
).
72.
J. E.
Northrup
and
J.
Neugebauer
,
Appl. Phys. Lett.
85
,
3429
(
2004
).
73.
A.
Wander
,
F.
Schedin
,
P.
Steadman
,
A.
Norris
,
R.
McGrath
,
T. S.
Turner
,
G.
Thornton
, and
N. M.
Harrison
,
Phys. Rev. Lett.
86
,
3811
(
2001
).
74.
G.
Kresse
,
O.
Dulub
, and
U.
Diebold
,
Phys. Rev. B
68
,
245409
(
2003
).
75.
J. E.
Northrup
and
J.
Neugebauer
,
Appl. Phys. Lett.
87
,
141914
(
2005
).
76.
O.
Dulub
,
U.
Diebold
, and
G.
Kresse
,
Phys. Rev. Lett.
90
,
016102
(
2003
).
77.
M.
Valtiner
,
M.
Todorova
,
G.
Grundmeier
, and
J.
Neugebauer
,
Phys. Rev. Lett.
103
,
065502
(
2009
).
78.
J.
Northrup
,
R.
Di Felice
, and
J.
Neugebauer
,
Phys. Rev. B
56
,
R4325
(
1997
).
79.
M.
Valtiner
,
M.
Todorova
, and
J.
Neugebauer
,
Phys. Rev. B
82
,
165418
(
2010
).
80.
T.
Becker
,
S.
Hövel
,
M.
Kunat
,
C.
Boas
,
U.
Burghaus
, and
C.
Wöll
,
Surf. Sci.
486
,
L502
(
2001
).
81.
82.
V.
Staemmler
,
K.
Fink
,
B.
Meyer
,
D.
Marx
,
M.
Kunat
,
S.
Gil Girol
,
U.
Burghaus
, and
C.
Woll
,
Phys. Rev. Lett.
90
,
106102
(
2003
).
84.
J. V.
Lauritsen
,
S.
Porsgaard
,
M. K.
Rasmussen
,
M. C. R.
Jensen
,
R.
Bechstein
,
K.
Meinander
,
B. S.
Clausen
,
S.
Helveg
,
R.
Wahl
,
G.
Kresse
, and
F.
Besenbacher
,
ACS Nano
5
,
5987
(
2011
).
85.
S. B.
Zhang
and
S.-H.
Wei
,
Phys. Rev. Lett.
92
,
086102
(
2004
).
86.
C. E.
Dreyer
,
A.
Janotti
, and
C. G.
Van de Walle
,
Phys. Rev. B
89
,
081305
(
2014
).
87.
A. E.
Romanov
,
T. J.
Baker
,
S.
Nakamura
,
J. S.
Speck
, and
E. J. U.
Group
,
J. Appl. Phys.
100
,
023522
(
2006
).
88.
J. E.
Northrup
,
Appl. Phys. Lett.
95
,
133107
(
2009
).
89.
T.
Akiyama
,
D.
Ammi
,
K.
Nakamura
, and
T.
Ito
,
Phys. Rev. B
81
,
245317
(
2010
).
90.
T.
Yamashita
,
T.
Akiyama
,
K.
Nakamura
, and
T.
Ito
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 1
48
,
120201
(
2009
).
91.
E.
Kalesaki
,
L.
Lymperakis
,
J.
Kioseoglou
,
J.
Neugebauer
,
T.
Karakostas
, and
P.
Komninou
,
J. Appl. Phys.
112
,
033510
(
2012
).
92.
T.
Ito
,
T.
Akiyama
, and
K.
Nakamura
,
Semicond. Sci. Technol.
27
,
024010
(
2012
).
93.
T.
Akiyama
,
T.
Yamashita
,
K.
Nakamura
, and
T.
Ito
,
J. Cryst. Growth
318
,
79
(
2011
).
94.
A. N.
Mariano
and
R. E.
Hanneman
,
J. Appl. Phys.
34
,
384
(
1963
).
95.
H.
Maki
,
T.
Ikoma
,
I.
Sakaguchi
,
N.
Ohashi
,
H.
Haneda
,
J.
Tanaka
, and
N.
Ichinose
,
Thin Solid Films
411
,
91
(
2002
).
96.
H.
Tampo
,
P.
Fons
,
A.
Yamada
,
K. K.
Kim
,
H.
Shibata
,
K.
Matsubara
,
S.
Niki
,
H.
Yoshikawa
, and
H.
Kanie
,
Appl. Phys. Lett.
87
,
141904
(
2005
).
97.
X.
Wang
,
Y.
Tomita
,
O. H.
Row
,
M.
Ohsugi
,
S. B.
Che
,
Y.
Ishitani
, and
A.
Yoshikawa
,
Appl. Phys. Lett.
86
,
011921
(
2005
).
98.
N.
Ohashi
,
K.
Takahashi
,
S.
Hishita
,
I.
Sakaguchi
,
H.
Funakubo
, and
H.
Haneda
,
J. Electrochem. Soc.
154
,
D82
(
2007
).
99.
S. C.
Han
,
J. K.
Kim
,
J. Y.
Kim
,
K. K.
Kim
,
H.
Tampo
,
S.
Niki
, and
J. M.
Lee
,
J. Electrochem. Soc.
157
,
D60
(
2010
).
100.
H.
Iwanaga
,
T.
Yoshie
,
T.
Yamaguchi
, and
N.
Shibata
,
J. Cryst. Growth
47
,
703
(
1979
).
101.
Y.
Morimoto
,
J. Electrochem. Soc.
121
,
1383
(
1974
).
102.
A.
Shintani
and
S.
Minagawa
,
J. Electrochem. Soc.
123
,
706
(
1976
).
103.
D.
Huang
,
P.
Visconti
,
K. M.
Jones
,
M. A.
Reshchikov
,
F.
Yun
,
A. A.
Baski
,
T.
King
, and
H.
Morkoc
,
Appl. Phys. Lett.
78
,
4145
(
2001
).
104.
J. L.
Weyher
,
S.
Müller
,
I.
Grzegory
, and
S.
Porowski
,
J. Cryst. Growth
182
,
17
22
(
1997
).
105.
M.
Seelmann-Eggebert
,
J. L.
Weyher
,
H.
Obloh
,
H.
Zimmermann
,
A.
Rar
, and
S.
Porowski
,
Appl. Phys. Lett.
71
,
2635
(
1997
).
106.
J. L.
Rouviere
,
J. L.
Weyher
,
M.
Seelmann-Eggebert
, and
S.
Porowski
,
Appl. Phys. Lett.
73
,
668
(
1998
).
107.
T.
Palacios
,
F.
Calle
,
M.
Varela
,
C.
Ballesteros
,
E.
Monroy
,
F. B.
Naranjo
,
M. A.
Sanchez-Garcıa
,
E.
Calleja
, and
E.
Munoz
,
Semicond. Sci. Technol.
15
,
996
(
2000
).
108.
L.
Dongsheng
,
M.
Sumiya
,
K.
Yoshimura
,
Y.
Suzuki
,
Y.
Fukuda
, and
S.
Fuke
,
Phys. Status Solidi A
180
,
357
(
2000
).
109.
D.
Li
,
M.
Sumiya
,
S.
Fuke
,
D.
Yang
,
D.
Que
,
Y.
Suzuki
, and
Y.
Fukuda
,
J. Appl. Phys.
90
,
4219
(
2001
).
110.
H. G.
Ng
,
N. G.
Weimann
, and
A.
Chowdhury
,
J. Appl. Phys.
94
,
650
(
2003
).
111.
H. G.
Ng
,
W.
Parz
,
N. G.
Weimann
, and
A.
Chowdhury
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
42
,
L1405
(
2003
).
112.
Y.
Gao
,
T.
Fujii
,
R.
Sharma
,
K.
Fujito
,
S. P.
Denbaars
,
S.
Nakamura
, and
E. L.
Hu
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
43
,
L637
(
2004
).
113.
Y.
Gao
,
M. D.
Craven
,
J. S.
Speck
,
S. P.
Denbaars
, and
E. L.
Hu
,
Appl. Phys. Lett.
84
,
3322
(
2004
).
114.
D. A.
Stocker
,
E. F.
Schubert
, and
J. M.
Redwing
,
Appl. Phys. Lett.
73
,
2654
(
1998
).
115.
K.
Hestroffer
,
C.
Leclere
,
C.
Bougerol
,
H.
Renevier
, and
B.
Daudin
,
Phys. Rev. B
84
,
245302
(
2011
).
116.
M. D.
Brubaker
,
I.
Levin
,
A. V.
Davydov
,
D. M.
Rourke
,
N. A.
Sanford
,
V. M.
Bright
, and
K. A.
Bertness
,
J. Appl. Phys.
110
,
053506
(
2011
).
117.
L.
Largeau
,
E.
Galopin
,
N.
Gogneau
,
L.
Travers
,
F.
Glas
, and
J. C.
Harmand
,
Cryst. Growth Des.
12
,
2724
(
2012
).
118.
X.
Wang
,
S.
Li
,
S.
Fündling
,
J.
Wei
,
M.
Erenburg
,
H. H.
Wehmann
,
A.
Waag
,
W.
Bergbauer
,
M.
Strassburg
,
U.
Jahn
, and
H.
Riechert
,
Cryst. Growth Des.
12
,
2552
(
2012
).
119.
B.
Alloing
,
S.
Vézian
,
O.
Tottereau
,
P.
Vennéguès
,
E.
Beraudo
, and
J.
Zuniga-Perez
,
Appl. Phys. Lett.
98
,
011914
(
2011
).
120.
F. A.
Ponce
,
D. P.
Bour
,
W. Y.
Young
,
M.
Saunders
, and
J. W.
Steeds
,
Appl. Phys. Lett.
69
,
337
(
1996
).
121.
B.
Daudin
,
J. L.
Rouvière
, and
M.
Arlery
,
Appl. Phys. Lett.
69
,
2480
(
1996
).
122.
J. L.
Rouviere
,
J. L.
Weyher
,
M.
Seelmann-Eggebert
, and
S.
Porowski
,
Appl. Phys. Lett.
73
,
668
(
1998
).
123.
T.
Mitate
,
Y.
Sonoda
, and
N.
Kuwano
,
Phys. Status Solidi A
192
,
383
(
2002
).
124.
G.
Perillat-Merceroz
,
R.
Thierry
,
P. H.
Jouneau
,
P.
Ferret
, and
G.
Feuillet
,
Nanotechnology
23
,
125702
(
2012
).
125.
L. T.
Romano
,
J. E.
Northrup
, and
M. A.
O'Keefe
,
Appl. Phys. Lett.
69
,
2394
(
1996
).
126.
R.
Serneels
,
M.
Snykers
,
P.
Delavignette
,
R.
Gevers
, and
S.
Amelinckx
,
Phys. Status Solidi B
58
,
277
(
1973
).
127.
W.
Kossel
and
G.
Möllenstedt
,
Ann. Phys.
428
,
113
(
1939
).
128.
P. A.
Stadelmann
,
Ultramicroscopy
21
,
131
(
1987
).
129.
T.
Mitate
,
S.
Mizuno
,
H.
Takahata
,
R.
Kakegawa
,
T.
Matsuoka
, and
N.
Kuwano
,
Appl. Phys. Lett.
86
,
134103
(
2005
).
130.
J.
Taftø
,
Phys. Rev. Lett.
51
,
654
(
1983
).
131.
N.
Jiang
,
T. J.
Eustis
,
J.
Cai
,
F. A.
Ponce
,
J. C. H.
Spence
, and
J.
Silcox
,
Appl. Phys. Lett.
80
,
389
(
2002
).
132.
J.
Taftø
,
Acta Crystallogr., Sect. A
43
,
208
(
1987
).
133.
X.
Kong
,
J.
Ristic
,
M. A.
Sanchez-Garcıa
,
E.
Calleja
, and
A.
Trampert
,
Nanotechnology
22
,
415701
(
2011
).
134.
P.
Hirsch
,
A.
Howie
,
R. B.
Nicholson
,
D. W.
Pashley
, and
M. J.
Whelan
,
Electron Microscopy of Thin Crystal
, 2nd ed. (
Huntington
,
New York
,
1977
).
135.
J. C. H.
Spence
and
J. M.
Zuo
,
Electron Microdiffraction
(
Plenum
,
New York
,
1992
).
136.
R. F.
Egerton
,
Electron-Energy Loss Spectroscopy in the Electron Microscope
, 2nd ed. (
Plenum Press
,
New York
,
1996
).
137.
X.
Kong
,
G. Q.
Hu
,
X. F.
Duan
,
Y.
Lu
, and
X. L.
Liu
,
Appl. Phys. Lett.
81
,
1990
(
2002
).
138.
J.
Jasinski
,
D.
Zhang
,
J.
Parra
,
V.
Katkanant
, and
V. J.
Leppert
,
Appl. Phys. Lett.
92
,
093104
(
2008
).
139.
E.
Uccelli
,
J.
Arbiol
,
C.
Magen
,
P.
Krogstrup
,
E.
Russo-Averchi
,
M.
Heiss
,
G.
Mugny
,
F.
Morier-Genoud
,
J.
Nygard
,
J. R.
Morante
, and
A.
Fontcuberta i Morral
,
Nano Lett.
11
,
3827
(
2011
).
140.
K. A.
Mkhoyan
,
P. E.
Batson
,
J.
Cha
,
W. J.
Schaff
, and
J.
Silcox
,
Science
312
,
1354
(
2006
).
141.
J. L.
Rouvière
,
C.
Bougerol
,
B.
Amstatt
,
E.
Bellet-Almaric
, and
B.
Daudin
,
Appl. Phys. Lett.
92
,
201904
(
2008
).
142.
S. D.
Findlay
,
N.
Shibata
,
H.
Sawada
,
E.
Okunishi
,
Y.
Kondo
, and
Y.
Ikuhara
,
Ultramicroscopy
110
,
903
(
2010
).
143.
M.
de la Mata
,
C.
Magen
,
J.
Gazquez
,
M. I. B.
Utama
,
M.
Heiss
,
S.
Lopatin
,
F.
Furtmayr
,
C. J.
Fernandez-Rojas
,
B.
Peng
,
J. R.
Morante
,
R.
Rurali
,
M.
Eickhoff
,
A.
Fontcuberta I Morral
,
Q.
Xiong
, and
J.
Arbiol
,
Nano Lett.
12
,
2579
(
2012
).
144.
L.
Li
,
Z.
Gan
,
M. R.
McCartney
,
H.
Liang
,
H.
Yu
,
W. J.
Yin
,
Y.
Yan
,
Y.
Gao
,
J.
Wang
, and
D. J.
Smith
,
Adv. Mater.
26
,
1052
(
2014
).
145.
M. I.
den Hertog
,
F.
Gonzalez-Posada
,
R.
Songmuang
,
J. L.
Rouviere
,
T.
Fournier
,
B.
Fernandez
, and
E.
Monroy
,
Nano Lett.
12
,
5691
(
2012
).
146.
F.
Jona
,
J. S.
Strozier
, and
W.
Yang
,
Rep. Prog. Phys.
45
,
527
(
1982
).
147.
148.
M. A.
Van Hove
,
W. H.
Weinberg
, and
C.-M.
Chan
,
Low-Energy Electron Diffraction
(
Springer-Verlag
,
Berlin/Heidelberg
,
1986
).
149.
O.
Romanyuk
,
P.
Jiricek
, and
T.
Paskova
,
Surf. Sci.
606
,
740
(
2012
).
150.
O.
Romanyuk
,
S.
Fernández-Garrido
,
P.
Jiříček
,
I.
Bartoš
,
L.
Geelhaar
,
O.
Brandt
, and
T.
Paskova
,
Appl. Phys. Lett.
106
,
021602
(
2015
).
151.
Z.
Yu
,
S.
Tong
,
S.
Xu
,
S.
Ma
, and
H.
Wu
,
Surf. Rev. Lett.
10
,
831
(
2003
).
152.
C. S.
Fadley
,
Prog. Surf. Sci.
16
,
275
(
1984
).
153.
154.
J.
Pezoldt
,
T.
Kups
,
T.
Stauden
, and
B.
Schröter
,
Mater. Sci. Eng., B
165
,
28
(
2009
).
155.
M.
Seelmann-Eggebert
,
J. L.
Weyher
,
H.
Obloh
,
H.
Zimmermann
,
A.
Rar
, and
S.
Porowski
,
Appl. Phys. Lett.
71
,
2635
(
1997
).
156.
J. R.
Williams
,
M.
Kobata
,
I.
Pis
,
E.
Ikenaga
,
T.
Sugiyama
,
K.
Kobayashi
, and
N.
Ohashi
,
Surf. Sci.
605
,
1336
(
2011
).
157.
O.
Romanyuk
,
P.
Jiříček
,
T.
Paskova
,
I.
Bieloshapka
, and
I.
Bartoš
,
Appl. Phys. Lett.
103
,
091601
(
2013
).
158.
O.
Romanyuk
,
P.
Jiříček
,
T.
Paskova
, and
I.
Bartoš
,
J. Appl. Phys.
116
,
104909
(
2014
).
159.
O.
Romanyuk
,
P.
Jiříček
,
T.
Paskova
, and
I.
Bartoš
, “Polarity of GaN surfaces with polar {0001} and semipolar {1011}, {2021}, {1122} orientations: X-ray photoelectron diffraction study,”
J. Mater. Res.
(in press).
160.
J. M.
Bijvoet
,
A. F.
Peerdeman
, and
A. J.
van Bommel
,
Nature
168
,
271
(
1951
).
161.
J.
Als-Nielsen
and
D.
McMorrow
,
Elements of Modern X-Ray Physics
, 2nd ed. (
Wiley
,
Chichester
,
2011
).
162.
E. H.
Kisi
and
M. M.
Elcombe
,
Acta Crystallogr., Sect. C: Struct. Chem.
45
,
1867
(
1989
).
163.
J.
Hodeau
,
V.
Favre-Nicolin
,
S.
Bos
,
H.
Renevier
,
E.
Lorenzo
, and
J.
Berar
,
Chem. Rev.
101
,
1843
(
2001
).
164.
V.
Favre-Nicolin
,
M. G.
Proietti
,
C.
Leclere
,
N. A.
Katcho
,
M. I.
Richard
, and
H.
Renevier
,
Eur. Phys. J. Spec. Top.
208
,
189
(
2012
).
165.
D.
Bowen
and
B. K.
Tanner
,
X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing
(
Taylor and Francis
,
Boca Raton
,
2006
).
166.
S.
Nishikawa
and
K.
Matsukawa
,
Proc. Imp. Acad. Jpn.
4
,
96
(
1928
).
167.
D.
Coster
,
K.
Knol
, and
J.
Prins
,
Z. Phys.
63
,
345
(
1930
).
168.
H.
Cole
and
N. R.
Stemple
,
J. Appl. Phys.
33
,
2227
(
1962
).
169.
P. F.
Fewster
,
J. Appl. Phys.
52
,
4568
(
1981
).
170.
A. W.
Stevenson
,
S. W.
Wilkins
,
M. S.
Kwietniak
, and
G. N.
Pain
,
J. Appl. Phys.
66
,
4198
(
1989
).
171.
R. D.
Horning
and
B. L.
Goldenberg
,
Appl. Phys. Lett.
55
,
1721
(
1989
).
172.
A. N.
Mariano
and
R. E.
Hanneman
,
J. Appl. Phys.
34
,
384
(
1963
).
173.
R. L.
Barns
,
E. T.
Keve
, and
S. C.
Abrahams
,
J. Appl. Crystallogr.
3
,
27
(
1970
).
174.
H.
Tampo
,
P.
Fons
,
A.
Yamada
,
K.-K.
Kim
,
H.
Shibata
,
K.
Matsubara
,
S.
Niki
,
H.
Yoshikawa
, and
H.
Kanie
,
Appl. Phys. Lett.
87
,
141904
(
2005
).
175.
C. T.
Shelton
,
E.
Sachet
,
E. A.
Paisley
,
M. P.
Hoffmann
,
J.
Rajan
,
R.
Collazo
,
Z.
Sitar
, and
J.-P.
Maria
,
J. Appl. Phys.
115
,
044912
(
2014
).
176.
D. C.
Meyer
,
K.
Richter
,
H.-G.
Krane
,
W.
Morgenroth
, and
P.
Paufler
,
J. Appl. Crystallogr.
32
,
854
(
1999
).
177.
K.
Hestroffer
,
C.
Leclere
,
C.
Bougerol
,
H.
Renevier
, and
B.
Daudin
,
Phys. Rev. B
84
,
245302
(
2011
).
178.
M.
Katayama
,
E.
Nomura
,
N.
Kanekama
,
H.
Soejima
, and
M.
Aono
,
Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B
33
,
857
(
1988
).
179.
M.
Aono
,
M.
Katayama
,
E.
Nomura
,
T.
Chasé
,
D.
CHoi
, and
M.
Kato
,
Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B
37
,
264
(
1989
).
180.
M.
Sumiya
and
S.
Fuke
,
MRS Internet J. Nitride Semicond. Res.
9
,
1
(
2004
).
181.
S.
Sonoda
,
S.
Shimizu
,
Y.
Suzuki
,
K.
Balakrshnan
,
J.
Shirakashi
,
H.
Okumura
,
T.
Nishihara
, and
M.
Shinohara
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
38
,
L1219
(
1999
).
182.
T.
Ohnishi
,
A.
Ohtomo
,
M.
Kawasaki
,
K.
Takahashi
,
M.
Yoshimoto
, and
H.
Koinuma
,
Appl. Phys. Lett.
72
,
824
(
1998
).
183.
M.
Sumiya
,
M.
Tanaka
,
K.
Ohtsuka
,
S.
Fuke
,
I.
Ohkubo
,
M.
Yoshimoto
,
H.
Koinuma
, and
M.
Kawasaki
,
Appl. Phys. Lett.
75
,
674
(
1999
).
184.
S.
Sonoda
,
S.
Shimizu
,
X. Q.
Shen
, and
H.
Okumura
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
39
,
L202
(
2000
).
185.
S. K.
Hong
,
T.
Hanada
,
H. J.
Ko
,
Y.
Chen
,
T.
Yao
,
D.
Imaki
,
K.
Araki
,
M.
Shinohara
,
K.
Saitoh
, and
M.
Terauchi
,
Phys. Rev. B
65
,
115331
(
2002
).
186.
M.
Walker
,
T. D.
Veal
,
L.
Lu
,
W. J.
Schaff
, and
C. F.
McConville
,
Phys. Status Solidi C
2
,
2301
(
2005
).
187.
M.
Nonnenmacher
,
M. P.
O'Boyle
, and
H. K.
Wickramasinghe
,
Appl. Phys. Lett.
58
,
2921
(
1991
).
188.
J.
Zuniga-Perez
,
V.
Munoz-Sanjosé
,
E.
Palacios-Lidon
, and
J.
Colchero
,
Phys. Rev. Lett.
95
,
226105
(
2005
).
189.
K. M.
Jones
,
P.
Vsiconti
,
F.
Yun
,
A. A.
Baski
, and
H.
Morkoç
,
Appl. Phys. Lett.
78
,
2497
(
2001
).
190.
B. J.
Rodriguez
,
W. C.
Yang
,
R. J.
Nemanich
, and
A.
Gruverman
,
Appl. Phys. Lett.
86
,
112115
(
2005
).
191.
J.
Zuniga-Perez
,
E.
Palacios-Lidon
,
V.
Munoz-Sanjosé
, and
J.
Colchero
,
Appl. Phys. A
88
,
77
(
2007
).
192.
J. D.
Wei
,
R.
Neumann
,
X.
Wang
,
S. F.
Li
,
S.
Fündling
,
S.
Merzsch
,
M. A. M.
Al-Suleiman
,
U.
Sökmen
,
H. H.
Wehmann
, and
A.
Waag
,
Phys. Status Solidi C
8
,
2157
(
2011
).
193.
A.
Minj
,
A.
Cros
,
N.
Garro
,
J.
Colchero
,
T.
Auzelle
, and
B.
Daudin
,
Nano Lett.
15
,
6770
(
2015
).
194.
L.
Kronik
and
Y.
Shapira
,
Surf. Sci. Rep.
37
,
1
(
1999
).
195.
J. D.
Wei
,
S. F.
Li
,
A.
Atamuratov
,
H. H.
Wehmann
, and
A.
Waag
,
Appl. Phys. Lett.
97
,
172111
(
2010
).
196.
B. J.
Rodriguez
,
A.
Gruverman
,
A. I.
Kingon
, and
R. J.
Nemanich
,
J. Cryst. Growth
246
,
252
(
2002
).
197.
T.
Stoica
,
R.
Calarco
,
R.
Meijers
, and
H.
Lüth
,
Appl. Surf. Sci.
253
,
4300
(
2007
).
198.
M. D.
Brubaker
,
I.
Levin
,
A.
Davydov
,
D. M.
Rourke
,
M. A.
Sanford
,
V. M.
Bright
, and
K. A.
Bertness
,
J. Appl. Phys.
110
,
053506
(
2011
).
199.
J.
Jerphagnon
and
H. W.
Newkirk
,
Appl. Phys. Lett.
18
,
245
(
1971
).
200.
A.
Dal Corso
,
M.
Posternak
,
R.
Resta
, and
A.
Baldereschi
,
Phys. Rev. B
50
,
10715
(
1994
).
201.
W. S.
Yan
,
R.
Zhang
,
Z. L.
Xie
,
X. Q.
Xiu
,
P.
Han
,
H.
Lu
,
P.
Chen
,
S. L.
Gu
,
Y.
Shi
,
Y. D.
Zheng
, and
Z. G.
Liu
,
Appl. Phys. Lett.
94
,
042106
(
2009
).
202.
H.
Blank
,
P.
Delavignette
,
R.
Gevers
, and
S.
Amelinckx
,
Phys. Status Solidi B
7
,
747
(
1964
).
203.
Y. T.
Rebane
,
Y. G.
Shreter
, and
M.
Albrecht
,
Phys. Status Solidi A
164
,
141
(
1997
).
204.
G.
Salviati
,
M.
Albrecht
,
C.
Zanotti-Fregonara
,
N.
Armani
,
M.
Mayer
,
Y.
Shreter
,
M.
Guzzi
,
Y. V.
Melnik
,
K.
Vassilevski
,
V. A.
Dmitriev
, and
H. P.
Strunk
,
Phys. Status Solidi A
171
,
325
(
1999
).
205.
Y. J.
Sun
,
O.
Brandt
,
U.
Jahn
,
T. Y.
Liu
,
A.
Trampert
,
S.
Cronenberg
,
S.
Dhar
, and
K. H.
Ploog
,
J. Appl. Phys.
92
,
5714
(
2002
).
206.
R.
Liu
,
A.
Bell
,
F. A.
Ponce
,
C. Q.
Chen
,
J. W.
Yang
, and
M. A.
Khan
,
Appl. Phys. Lett.
86
,
021908
(
2005
).
207.
T.
Paskova
,
R.
Kroeger
,
P. P.
Paskov
,
S.
Figge
,
D.
Hommel
,
B.
Monemar
,
B.
Haskell
,
P.
Fini
,
J. S.
Speck
, and
S.
Nakamura
,
Proc. SPIE
6121
,
612106
(
2006
).
208.
G.
Jacopin
,
L.
Rigutti
,
L.
Largeau
,
F.
Fortuna
,
F.
Furtmayr
,
F. H.
Julien
,
M.
Eickhoff
, and
M.
Tchernycheva
,
J. Appl. Phys.
110
,
064313
(
2011
).
209.
P.
Corfdir
,
C.
Hauswald
,
J. K.
Zettler
,
T.
Flissikowski
,
J.
Lähnemann
,
S.
Fernández-Garrido
,
L.
Geelhaar
,
H.
Grahn
, and
O.
Brandt
,
Phys. Rev. B
90
,
195309
(
2014
).
210.
S.
Keller
,
N.
Fichtenbaum
,
F.
Wu
,
G.
Lee
,
S. P.
DenBaars
,
J. S.
Speck
, and
U. K.
Mishra
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
45
,
L322
(
2006
).
211.
H. P.
Maruska
and
J. J.
Tietjen
,
Appl. Phys. Lett.
15
,
327
(
1969
).
212.
H. M.
Manasevit
and
W. I.
Simpson
,
J. Electrochem. Soc.
116
,
1725
(
1969
).
213.
A.
Usui
,
H.
Sunakawa
,
A.
Sakai
, and
A. A.
Yamaguchi
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
36
,
L899
(
1997
).
214.
M.
Sumiya
,
K.
Yoshimura
,
T.
Ito
,
K.
Ohtsuka
,
S.
Fuke
,
K.
Mizuno
,
M.
Yoshimoto
,
H.
Koinuma
,
A.
Ohtomo
, and
M.
Kawasaki
,
J. Appl. Phys.
88
,
1158
(
2000
).
215.
M.
Stutzmann
,
O.
Ambacher
,
M.
Eickhoff
,
U.
Karrer
,
A.
Lima Pimenta
,
R.
Neuberger
,
J.
Schalwig
,
R.
Dimitrov
,
P.
Schuck
, and
R. D.
Grober
,
Phys. Status Solidi B
228
,
505
(
2001
).
216.
J. L.
Weyher
,
P. D.
Brown
,
A. R. A.
Zauner
,
S.
Müller
,
C. B.
Boothroyd
,
D. T.
Foord
,
P. R.
Hageman
,
J. C.
Humphreys
,
P. K.
Larsen
,
I.
Grzegory
, and
S.
Porowski
,
J. Cryst. Growth
204
,
419
(
1999
).
217.
T.
Sasaki
and
T.
Matsuoka
,
J. Appl. Phys.
64
,
4531
(
1988
).
218.
V.
Ramachandran
,
R. M.
Feenstra
,
W. L.
Sarney
,
L.
Salamanca-Riba
,
J. E.
Northrup
,
L. T.
Romano
, and
D. W.
Greve
,
Appl. Phys. Lett.
75
,
808
(
1999
).
219.
D. S.
Green
,
E.
Haus
,
F.
Wu
,
L.
Chen
,
U. K.
Mishra
, and
J. S.
Speck
,
J. Vac. Sci. Technol., B
21
,
1804
(
2003
).
220.
P. R.
Tavernier
,
T.
Margalith
,
J.
Williams
,
D. S.
Green
,
S.
Keller
,
S. P.
DenBaars
,
U. K.
Mishra
,
S.
Nakamura
, and
D. R.
Clarke
,
J. Cryst. Growth
264
,
150
(
2004
).
221.
S.
Figge
,
R.
Kröger
,
T.
Böttcher
,
P. L.
Ryder
, and
D.
Hommel
,
Appl. Phys. Lett.
81
,
4748
(
2002
).
222.
J. L.
Rouvière
,
M.
Arlery
,
R.
Niebuhr
,
K. H.
Bachem
, and
O.
Briot
,
Mater. Sci. Eng., B
43
,
161
(
1997
).
223.
P.
Guan
,
A. L.
Cai
,
J. S.
Cabalu
,
H. L.
Porter
, and
S.
Huang
,
Appl. Phys. Lett.
77
,
2491
(
2000
).
224.
A. R. A.
Zauner
,
J. L.
Weyher
,
M.
Plomp
,
V.
Kirilyuk
,
I.
Grzegory
,
W. J. P.
Enckevort
,
J. J.
Schermer
,
P. R.
Hageman
, and
P. K.
Larsen
,
J. Cryst. Growth
210
,
435
(
2000
).
225.
A. R. A.
Zauner
,
A.
Aret
,
W. J. P.
van Enckevort
,
J. L.
Weyher
,
S.
Porowski
, and
J. J.
Schermer
,
J. Cryst. Growth
240
,
14
(
2002
).
226.
S.
Porowski
,
J. Cryst. Growth
166
,
583
(
1996
).
227.
T.
Matsuoka
,
Y.
Kobayashi
,
H.
Takahata
,
T.
Mitate
,
S.
Mizuno
,
A.
Sasaki
,
M.
Yoshimoto
,
T.
Ohnishi
, and
M.
Sumiya
,
Phys. Status Solidi B
243
,
1446
(
2006
).
228.
S.
Keller
,
N. A.
Fichtenbaum
,
F.
Wu
,
D.
Brown
,
A.
Rosales
,
S. P.
DenBaars
,
J. S.
Speck
, and
U. K.
Mishra
,
J. Appl. Phys.
102
,
083546
(
2007
).
229.
Y.
Fu
,
Q.
Fan
,
S.
Chevtchenko
,
Ü.
Özgür
,
H.
Morkoç
,
Y.
Ke
,
R.
Devaty
,
W. J.
Choyke
,
C. K.
Inoki
, and
T. S.
Kuan
,
Proc. SPIE
6473
,
647305
(
2007
).
230.
D. F.
Brown
,
S.
Keller
,
F.
Wu
,
J. S.
Speck
,
S. P.
DenBaars
, and
U. K.
Mishra
,
J. Appl. Phys.
104
,
024301
(
2008
).
231.
S.
Keller
,
Y.
Dora
,
F.
Wu
,
X.
Chen
,
S.
Chowdhury
,
S. P.
DenBaars
,
J. S.
Speck
, and
U. K.
Mishra
,
Appl. Phys. Lett.
97
,
142109
(
2010
).
232.
M. H.
Wong
,
S.
Keller
,
Nidhi
,
S.
,
Dasgupta
,
D.
,
Denninghoff
,
S.
,
Kolluri
,
D. F.
,
Brown
,
J.
,
Lu
,
N. A.
,
Fichtenbaum
,
E.
,
Ahmadi
,
U.
,
Singisetti
,
A.
,
Chini
,
S.
,
Rajan
,
S. P.
,
DenBaars
,
J. S.
,
Speck
, and
U.
Mishra
,
Semicond. Sci. Technol.
28
,
074009
(
2013
).
233.
U.
Singisetti
,
M. H.
Wong
, and
U. K.
Mishra
,
Semicond. Sci. Technol.
28
,
074006
(
2013
).
234.
E. S.
Hellman
,
MRS Internet J. Nitride Semicond. Res.
3
,
11
(
1998
) and references therein.
235.
M.
Sumiya
and
S.
Fuke
,
MRS Internet J. Nitride Semicond. Res.
9
,
1
(
2004
).
236.
M.
Kamp
,
M.
Mayer
,
A.
Pelzmann
, and
K. J.
Ebeling
, in
Materials Research Society Symposium Proceedings
, edited by
F. A.
Ponce
,
T. D.
Moustakas
,
I.
Akasaki
, and
B. A.
Monemar
(
Mater. Res. Soc. Symp. Proc.
,
1997
), Vol. 449, p.
161
.
237.
G.
Koblmüller
,
J. R.
Lang
,
E. C.
Young
, and
J. S.
Speck
,
Molecular Beam Epitaxy of Nitrides for Advanced Electronic Materials
, 2nd ed. (
Elsevier B.V.
,
2015
).
238.
A. L.
Corrion
,
F.
Wu
, and
J. S.
Speck
,
J. Appl. Phys.
112
,
054903
(
2012
).
239.
A.
Munkholm
,
G. B.
Stephenson
,
J. A.
Eastman
,
C.
Thompson
,
P.
Fini
,
J. S.
Speck
,
O.
Auciello
,
P. H.
Fuoss
, and
S. P.
DenBaars
,
Phys. Rev. Lett.
83
,
741
(
1999
).
240.
M.
Gibbon
,
J. P.
Stagg
,
C. G.
Cureton
,
E. J.
Trush
,
C. J.
Jones
,
R. E.
Mallard
,
R. E.
Pritchard
,
N.
Collis
, and
A.
Chew
,
Semicond. Sci. Technol.
8
,
998
(
1993
).
241.
C. C.
Michell
,
M. E.
Coltrin
, and
J.
Han
,
J. Cryst. Growth
222
,
144
(
2001
).
242.
T.
Zywietz
,
J.
Neugebauer
, and
M.
Scheffler
,
Appl. Phys. Lett.
73
,
487
(
1998
).
243.
S.
Mita
,
R.
Collazo
,
A.
Rice
,
J.
Tweedie
,
J.
Xie
,
R.
Dalmau
, and
Z.
Sitar
,
Phys. Status Solidi C
8
,
2078
(
2011
).
244.
T.
Tanikawa
,
K.
Shojiki
,
T.
Aisaka
,
T.
Kimura
,
S.
Kuboya
,
T.
Hanada
,
R.
Katayama
, and
T.
Matsuoka
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 1
53
,
05FL05
(
2014
).
245.
K.
Shojiki
,
J. H.
Choi
,
H.
Shindo
,
T.
Kimura
,
T.
Tanikawa
,
T.
Hanada
,
R.
Katayama
, and
T.
Matsuoka
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 1
53
,
05FL07
(
2014
).
246.
D.
Won
,
X.
Weng
, and
R.
Redwing
,
Appl. Phys. Lett.
100
,
021913
(
2012
).
247.
J. E.
Northrup
and
C. G.
Van de Walle
,
Appl. Phys. Lett.
84
,
4322
(
2004
).
248.
S.
Keller
,
N. A.
Fichtenbaum
,
M.
Furukawa
,
J. S.
Speck
,
S. P.
DenBaars
, and
U. K.
Mishra
,
Appl. Phys. Lett.
90
,
191908
(
2007
).
249.
S.
Keller
,
H.
Li
,
M.
Laurent
,
Y.
Hu
,
N.
Pfaff
,
J.
Lu
,
D. F.
Brown
,
N. A.
Fichtenbaum
,
J. S.
Speck
,
S. P.
DenBaars
, and
U. K.
Mishra
,
Semicond. Sci. Technol.
29
,
113001
(
2014
).
250.
D.
Kapolnek
,
X. H.
Wu
,
B.
Heying
,
S.
Keller
,
B.
Keller
,
U. K.
Mishra
,
S. P.
DenBaars
, and
J. S.
Speck
,
Appl. Phys. Lett.
67
,
1541
(
1995
).
251.
B.
Heying
,
E. J.
Tarsa
,
C. R.
Elsass
,
P.
Fini
,
S. P.
DenBaars
, and
J. S.
Speck
,
J. Appl. Phys.
85
,
6470
(
1999
).
252.
M. H.
Xie
,
S. M.
Seutter
,
W. K.
Zhu
,
L. X.
Zheng
,
H.
Wu
, and
S. Y.
Tong
,
Phys. Rev. Lett.
82
,
2749
(
1999
).
253.
R.
Held
,
G.
Nowak
,
B. E.
Ishaug
,
S. M.
Seutter
,
A.
Parkhomovsky
,
A. M.
Dabrian
,
I.
Grezgory
, and
S.
Porowski
,
J. Appl. Phys.
85
,
7697
(
1999
).
254.
H. C.
Lin
,
T.
Akasaka
, and
H.
Yamamoto
,
Appl. Phys. Express
6
,
035503
(
2013
).
255.
N. A.
Fichtenbaum
,
C. J.
Neufeld
,
C.
Schaake
,
Y.
Wu
,
M. H.
Wong
,
M.
Grundmann
,
S.
Keller
,
S. P.
DenBaars
,
J. S.
Speck
, and
U. K.
Mishra
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
46
,
L230
(
2007
).
256.
N. A.
Fichtenbaum
,
C. J.
Neufeld
,
C.
Schaake
,
Y.
Wu
,
M. H.
Wong
,
M.
Grundmann
,
S.
Keller
,
S. P.
DenBaars
,
J. S.
Speck
, and
U. K.
Mishra
,
Phys. Status Solidi B
244
,
1802
(
2007
).
257.
B.
Heying
,
R.
Averbeck
,
L. F.
Chen
,
E.
Haus
,
H.
Riechert
, and
J. S.
Speck
,
J. Appl. Phys.
88
,
1855
(
2000
).
258.
B.
Heying
,
I.
Smorchkova
,
C.
Poblenz
,
C.
Elsass
,
P.
Fini
,
S.
Den Baars
,
U.
Mishra
,
J. S.
Speck
, and
S.
Diego
,
Appl. Phys. Lett.
77
,
2885
(
2000
).
259.
E.
Monroy
,
E.
Sarigiannidou
,
F.
Fossard
,
N.
Gogneau
,
E.
Bellet-Amalric
,
J. L.
Rouvière
,
S.
Monnoye
,
H.
Mank
, and
B.
Daudin
,
Appl. Phys. Lett.
84
,
3684
(
2004
).
260.
H.
Okumura
,
B. M.
McSkimming
,
T.
Huault
,
C.
Chaix
, and
J. S.
Speck
,
Appl. Phys. Lett.
104
,
012111
(
2014
).
261.
E. J.
Tarsa
,
B.
Heying
,
X. H.
Wu
,
P.
Fini
,
S. P.
DenBaars
, and
J. S.
Speck
,
J. Appl. Phys.
82
,
5472
(
1997
).
262.
T.
Zywietz
,
J.
Neugebauer
, and
M.
Scheffler
,
Appl. Phys. Lett.
73
,
487
(
1998
).
263.
C.
Adelmann
,
J.
Brault
,
D.
Jalabert
,
P.
Gentile
,
H.
Mariette
,
G.
Mula
, and
B.
Daudin
,
J. Appl. Phys.
91
,
9638
(
2002
).
264.
L.
Romano
,
J.
Northrup
,
A.
Ptak
, and
T.
Myers
,
Appl. Phys. Lett.
77
,
2479
(
2000
).
265.
N.
Grandjean
,
A.
Dussaigne
,
S.
Pezzagna
, and
P.
Vennéguès
,
J. Cryst. Growth
251
,
460
(
2003
).
266.
S.
Pezzagna
,
P.
Vennéguès
,
N.
Grandjean
, and
J.
Massies
,
J. Cryst. Growth
269
,
249
(
2004
).
267.
M. H.
Wong
,
F.
Wu
,
T. E.
Mates
,
J. S.
Speck
, and
U. K.
Mishra
,
J. Appl. Phys.
104
,
093710
(
2008
).
268.
M. H.
Wong
,
F.
Wu
,
J. S.
Speck
, and
U. K.
Mishra
,
J. Appl. Phys.
108
,
123710
(
2010
).
269.
J. K.
Hite
,
M. E.
Twigg
,
M. A.
Mastro
,
C. R.
Eddy
, and
F. J.
Kub
,
Phys. Status Solidi A
208
,
1504
(
2011
).
270.
Q. Z.
Xue
,
Q. K.
Xue
,
S.
Kuwano
,
K.
Nakayama
, and
T.
Sakurai
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 1
40
,
4388
(
2001
).
271.
T. W.
Weeks
,
M. D.
Bremser
,
K. S.
Ailey
,
E.
Carlson
,
W. G.
Perry
, and
R. F.
Davis
,
Appl. Phys. Lett.
67
,
401
(
1995
).
272.
C. G.
Moe
,
Y.
Wu
,
S.
Keller
,
J. S.
speck
,
S. P.
DenBaars
, and
D.
Emerson
,
Phys. Status Solidi A
203
,
1708
(
2006
).
273.
B.
Moran
,
F.
Wu
,
A. E.
Romanov
,
U. K.
Mishra
,
S. P.
DenBaars
, and
J. S.
Speck
,
J. Cryst. Growth
273
,
38
(
2004
).
274.
D. F.
Brown
,
R.
Chu
,
S.
Keller
,
S. P.
DenBaars
, and
U. K.
Mishra
,
Appl. Phys. Lett.
94
,
153506
(
2009
).
275.
S.
Kolluri
,
S.
Keller
,
S. P.
DenBaars
, and
U. K.
Mishra
,
IEEE Electron Device Lett.
33
,
44
(
2012
).
276.
P.
Waltereit
,
O.
Brandt
,
A.
Trampert
,
M.
Ramsteiner
,
M.
Reiche
,
M.
Qi
, and
K. H.
Ploog
,
Appl. Phys. Lett.
74
,
3660
(
1999
).
277.
W. E.
Hoke
,
A.
Torabi
,
R. B.
Hallock
,
J. J.
Mosca
, and
T. D.
Kennedy
,
J. Vac. Sci. Technol., B
24
,
1500
(
2006
).
278.
C.
Poblenz
,
P.
Waltereit
,
S.
Rajan
,
U. K.
Mishra
,
J. S.
Speck
,
P.
Chin
,
I.
Smorchkova
, and
B.
Heying
,
J. Vac. Sci. Technol., B
23
,
1562
(
2005
).
279.
M. H.
Wong
,
Y.
Pei
,
J. S.
Speck
, and
U. K.
Mishra
,
Appl. Phys. Lett.
94
,
182103
(
2009
).
280.
C. D.
Lee
,
A.
Sagar
,
R. M.
Feenstra
,
C. K.
Inoki
,
T. S.
Kuan
,
W. L.
Sarney
, and
L.
Salamanca-Riba
,
Appl. Phys. Lett.
79
,
3428
(
2001
).
281.
P.
Waltereit
,
C.
Poblenz
,
S.
Rajan
,
F.
Wu
,
U. K.
Mishra
, and
J. S.
Speck
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
43
,
L1520
(
2004
).
282.
S.
Rajan
,
M.
Wong
,
Y.
Fu
,
F.
Wu
,
J. S.
Speck
, and
U. K.
Mishra
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
44
,
L1478
(
2005
).
283.
N.
Nakamura
,
K.
Furuta
,
X. Q.
Shen
,
K.
Kitamura
,
K.
Nakamura
, and
H.
Okumura
,
J. Cryst. Growth
301–302
,
452
(
2007
).
284.
M.
Sumiya
,
N.
Ogusu
,
Y.
Yotsuda
,
M.
Itoh
,
S.
Fuke
,
T.
Nakamura
,
S.
Mochizuki
,
T.
Sano
,
S.
Kamiyama
,
A.
Amano
, and
I.
Akasaki
,
J. Appl. Phys.
93
,
1311
(
2003
).
285.
D. H.
Lim
,
K.
Xu
,
S.
Arima
, and
A.
Yoshikawa
,
J. Appl. Phys.
91
,
6461
(
2002
).
286.
S.
Nakamura
,
N.
Iwasa
,
M.
Sehoh
, and
T.
Mukai
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 1
31
,
1258
(
1992
).
287.
S.
Keller
,
B. P.
Keller
,
Y. F.
Wu
,
B.
Heying
,
D.
Kapolnek
,
J. S.
Speck
,
U. K.
Mishra
, and
S. P.
DenBaars
,
Appl. Phys. Lett.
68
,
1525
(
1996
).
288.
H.
Amano
,
N.
Sawaki
,
I.
Akasaki
, and
Y.
Toyoda
,
Appl. Phys. Lett.
48
,
353
(
1986
).
289.
S.
Nakamura
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
30
,
L1705
(
1991
).
290.
X. H.
Wu
,
L. M.
Brown
,
S.
Keller
,
B.
Keller
,
S. P.
DenBaars
, and
J. S.
Speck
,
J. Appl. Phys.
80
,
3228
(
1996
).
291.
X. H.
Wu
,
P.
Fini
,
S.
Keller
,
E. J.
Tarsa
,
B.
Heying
,
U. K.
Mishra
,
S. P.
DenBaars
, and
J. S.
Speck
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
35
,
L1648
(
1996
).
292.
P.
Fini
,
X.
Wu
,
E. J.
Tarsa
,
Y.
Golan
,
V.
Srikant
,
S.
Keller
,
S. P.
DenBaars
, and
J. S.
Speck
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 1
37
,
4460
(
1998
).
293.
N.
Grandjean
,
J.
Massies
, and
M.
Leroux
,
Appl. Phys. Lett.
69
,
2071
(
1996
).
294.
S.
Fuke
,
H.
Teshigawara
,
K.
Kuwahara
,
Y.
Takano
,
T.
Ito
,
M.
Yanagihara
, and
K.
Ohtsuka
,
J. Appl. Phys.
83
,
764
(
1998
).
295.
M.
Takeuchi
,
H.
Shimizu
,
R.
Kajitani
,
K.
Kawasaki
,
T.
Kinoshita
,
K.
Takada
,
H.
Murakami
,
Y.
Kumagai
,
A.
Koukitu
,
T.
Koyama
,
S. F.
Chichibu
, and
Y.
Aoyagi
,
J. Cryst. Growth
305
,
360
(
2007
).
296.
R.
Collazo
,
S.
Mita
,
A.
Aleksov
,
R.
Schlesser
, and
Z.
Sitar
,
J. Cryst. Growth
287
,
586
(
2006
).
297.
P.
Kung
,
C. J.
Sun
,
A.
Saxler
,
H.
Ohsato
, and
M.
Razeghi
,
J. Appl. Phys.
75
,
4515
(
1994
).
298.
Q.
Sun
,
Y. S.
Cho
,
B. H.
Kong
,
H. K.
Cho
,
T. S.
Ko
,
C. D.
Yerino
,
I. H.
Lee
, and
J.
Han
,
J. Cryst. Growth
311
,
2948
(
2009
).
299.
S.
Keller
,
C. S.
Suh
,
Z.
Chen
,
R.
Chu
,
S.
Rajan
,
N. A.
Fichtenbaum
,
M.
Furukawa
,
S. P.
DenBaars
,
J. S.
Speck
, and
U. K.
Mishra
,
J. Appl. Phys.
103
,
033708
(
2008
).
300.
H.
Masui
,
S.
Keller
,
N.
Fellows
,
N. A.
Fichtenbaum
,
M.
Furukawa
,
S.
Nakamura
,
U. K.
Mishra
, and
S. P.
DenBaars
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 1
48
,
071003
(
2009
).
301.
R.
Dimitrov
,
L.
Wittmer
,
H. P.
Felsl
,
A.
Mitchell
,
O.
Ambacher
, and
M.
Stutzmann
,
Phys. Status Solidi A
168
,
R7
(
1998
).
302.
O.
Ambacher
,
J.
Smart
,
J. R.
Shealy
,
N. G.
Weimann
,
K.
Chu
,
M.
Murphy
,
W. J.
Schaff
,
L. F.
Eastman
,
R.
Dimitrov
,
L.
Wittmer
,
M.
Stutzmann
,
W.
Rieger
, and
J.
Hilsenbeck
,
J. Appl. Phys.
85
,
3222
(
1999
).
303.
E. C.
Piquette
,
P. M.
Bridger
,
Z. Z.
Bandić
, and
T. C.
McGill
,
J. Vac. Sci. Technol., B
17
,
1241
(
1999
).
304.
X. Q.
Shen
,
T.
Ide
,
S. H.
Cho
,
M.
Shimizu
,
S.
Hara
,
H.
Okumura
,
S.
Sonoda
, and
S.
Shimizu
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
39
,
L16
(
2000
).
305.
D.
Huang
,
P.
Visconti
,
K. M.
Jones
,
M. A.
Reshchikov
,
F.
Yun
,
A. A.
Baski
,
T.
King
, and
H.
Morkoç
,
Appl. Phys. Lett.
78
,
4145
(
2001
).
306.
M. J.
Murphy
,
K.
Chu
,
H.
Wu
,
W.
Yeo
,
W. J.
Schaff
,
O.
Ambacher
,
L. F.
Eastman
,
T. J.
Eustis
,
J.
Silcox
,
R.
Dimitrov
, and
M.
Stutzmann
,
Appl. Phys. Lett.
75
,
3653
(
1999
).
307.
R.
Dimitrov
,
M.
Murphy
,
J.
Smart
,
W.
Schaff
,
J. R.
Shealy
,
L. F.
Eastman
,
O.
Ambacher
, and
M.
Stutzmann
,
J. Appl. Phys.
87
,
3375
(
2000
).
308.
L. T.
Romano
,
B. S.
Krusor
,
R.
Singh
, and
T. D.
Moustakas
,
J. Electron. Mater.
26
,
285
(
1997
).
309.
F.
Widmann
,
G.
Feuillet
,
B.
Daudin
, and
J. L.
Rouvière
,
J. Appl. Phys.
85
,
1550
(
1999
).
310.
G.
Namkoong
,
W. A.
Doolittle
,
A. S.
Brown
,
M.
Losurdo
,
P.
Capezzuto
, and
G.
Bruno
,
J. Vac. Sci. Technol., B
20
,
1221
(
2002
).
311.
G.
Namkoong
,
W. A.
Doolittle
,
A. S.
Brown
,
M.
Losurdo
,
P.
Capezzuto
, and
G.
Bruno
,
J. Appl. Phys.
91
,
2499
(
2002
).
312.
M.
Losurdo
,
P.
Capezzuto
,
G.
Bruno
,
G.
Namkoong
,
W. A.
Doolittle
, and
A. S.
Brown
,
J. Appl. Phys.
91
,
2508
(
2002
).
313.
A.
Kazimirov
,
G.
Scherb
,
J.
Zegenhagen
,
T. L.
Lee
,
M. J.
Bedzyk
,
M. K.
Kelly
,
H.
Angerer
, and
O.
Ambacher
,
J. Appl. Phys.
84
,
1703
(
1998
).
314.
S.
Sonoda
,
S.
Shimizu
,
X.-Q.
Shen
,
S.
Hara
, and
H.
Okumura
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
39
,
L202
(
2000
).
315.
X. Q.
Shen
,
H.
Matsuhata
, and
H.
Okumura
,
Appl. Phys. Lett.
86
,
021912
(
2005
).
316.
K.
Kusakabe
,
K.
Kishino
,
A.
Kikuchi
,
T.
Yamada
,
D.
Sugihara
, and
S.
Nakamura
,
J. Cryst. Growth
230
,
387
(
2001
).
317.
A.
Krost
and
A.
Dadgar
,
Mater. Sci. Eng., B
93
,
77
(
2002
).
318.
F.
Schulze
,
A.
Dadgar
,
J.
Bläsing
, and
A.
Krost
,
Appl. Phys. Lett.
84
,
4747
(
2004
).
319.
F.
Schulze
,
A.
Dadgar
,
J.
Bläsing
,
A.
Diez
, and
A.
Krost
,
Appl. Phys. Lett.
88
,
121114
(
2006
).
320.
R.
Liu
,
F. A.
Ponce
,
A.
Dadgar
, and
A.
Krost
,
Appl. Phys. Lett.
83
,
860
(
2003
).
321.
H.
Marchand
,
L.
Zhao
,
N.
Zhang
,
B.
Moran
,
R.
Coffie
,
U. K.
Mishra
,
J. S.
Speck
, and
S. P.
DenBaars
,
J. Appl. Phys.
89
,
7846
(
2001
).
322.
E.
Feltin
,
B.
Beaumont
,
M.
Laügt
,
P.
de Mierry
,
P.
Vennéguès
,
H.
Lahrèche
, and
P.
Gibart
,
Appl. Phys. Lett.
79
,
3230
(
2001
).
323.
S.
Arulkumaran
,
T.
Egawa
,
S.
Matsui
, and
H.
Ishikawa
,
Appl. Phys. Lett.
86
,
123503
(
2005
).
324.
A.
Reiher
,
J.
Bläsing
,
A.
Dadgar
,
A.
Diez
, and
A.
Krost
,
J. Cryst. Growth
248
,
563
(
2003
).
325.
K.
Cheng
,
M.
Leys
,
S.
Dergoote
,
B.
Van Daele
,
S.
Boeykens
,
J.
Derluyn
,
M.
Germain
,
G.
Van Tendeloo
,
J.
Engelen
, and
G.
Borghs
,
J. Electron. Mater.
35
,
592
(
2006
).
326.
S.
Keller
,
Y.
Dora
,
S.
Chowdhury
,
F.
Wu
,
X.
Chen
,
S. P.
DenBaars
,
J. S.
Speck
, and
U. K.
Mishra
,
Phys. Status Solidi C
8
,
2086
(
2011
).
327.
H.
Marchand
,
L.
Zhao
,
N.
Zhang
,
B.
Moran
,
R.
Coffie
,
U. K.
Mishra
,
J. S.
Speck
, and
S. P.
DenBaars
,
J. Appl. Phys.
89
,
7846
(
2001
).
328.
K.
Cheng
,
M.
Leys
,
J.
Derluyn
,
K.
Balachander
,
S.
Degroote
,
M.
Germain
, and
M.
Borghs
,
Phys. Status Solidi C
5
,
1600
(
2008
).
329.
Y.
Nakada
,
I.
Aksenov
, and
H.
Okumura
,
Appl. Phys. Lett.
73
,
827
(
1998
).
330.
Z. T.
Wang
,
Y.
Yamada-Takamura
,
Y.
Fujikawa
,
T.
Sakurai
, and
Q. K.
Xue
,
Appl. Phys. Lett.
87
,
032110
(
2005
).
331.
A.
Ohtani
,
K. S.
Stevens
, and
R.
Beresford
,
Appl. Phys. Lett.
65
,
61
(
1994
).
332.
S.
Guha
and
N. A.
Bojarczuk
,
Appl. Phys. Lett.
72
,
415
(
1998
).
333.
S.
Dasgupta
,
F.
Wu
,
J. S.
Speck
, and
U. K.
Mishra
,
Appl. Phys. Lett.
94
,
151906
(
2009
).
334.
S.
Dasgupta
,
Nidhi
,
F.
Wu
,
J. S.
Speck
, and
U. K.
Mishra
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 1
51
,
115503
(
2012
).
335.
M.
Sobanska
,
K.
Klosek
,
Z. R.
Zytkiewicz
,
J.
Borysiuk
,
B. S.
Witkowski
,
E.
Lusakowska
,
A.
Reszka
, and
R.
Jakiela
,
Cryst. Res. Technol.
47
,
307
(
2012
).
336.
L.
Largeau
,
E.
Galopin
,
N.
Gogneau
,
L.
Travers
,
F.
Glas
, and
J. C.
Harmand
,
Cryst. Growth Des.
12
,
2724
(
2012
).
337.
T.
Auzelle
,
B.
Haas
,
A.
Minj
,
C.
Bougerol
,
J.-L.
Rouvière
,
A.
Cros
,
J.
Colchero
, and
B.
Daudin
,
J. Appl. Phys.
117
,
245303
(
2015
).
338.
V.
Lebedev
,
B.
Schröter
,
G.
Kipshidze
, and
W.
Richter
,
J. Cryst. Growth
207
,
266
(
1999
).
339.
E.
Calleja
,
M. A.
Sánchez-García
,
F. J.
Sánchez
,
F.
Calle
,
F. B.
Naranjo
,
E.
Muñoz
,
S. I.
Molina
,
A.
Sánchez
,
F. J.
Pacheco
, and
R.
García
,
J. Cryst. Growth
201
,
296
(
1999
).
340.
T.
Palacios
,
F.
Calle
,
M.
Varela
,
C.
Ballesteros
,
E.
Monroy
,
F. B.
Naranjo
,
M. A.
Sánchez-García
,
E.
Calleja
, and
E.
Muñoz
,
Semicond. Sci. Technol.
15
,
996
(
2000
).
341.
A. M.
Sánchez
,
F. J.
Pacheco
,
S. I.
Molina
,
P.
Ruterana
,
F.
Calle
,
T. A.
Palacios
,
M. A.
Sánchez-García
,
E.
Calleja
, and
R.
García
,
Mater. Sci. Eng., B
93
,
181
(
2002
).
342.
T. K.
Zywietz
,
J.
Neugebauer
, and
M.
Scheffler
,
Appl. Phys. Lett.
74
,
1695
(
1999
).
343.
C.
Wetzel
,
T.
Suski
,
J. W.
Ager
 III
,
E. R.
Weber
,
E. E.
Haller
,
S.
Fischer
,
B. K.
Meyer
,
R. J.
Molnar
, and
P.
Perlin
,
Phys. Rev. Lett.
78
,
3923
(
1997
).
344.
J. L.
Lyons
,
A.
Janotti
, and
C. G.
Van de Walle
,
Appl. Phys. Lett.
97
,
152108
(
2010
).
345.
M.
Sumiya
,
K.
Yoshimura
,
K.
Ohtsuka
, and
S.
Fuke
,
Appl. Phys. Lett.
76
,
2098
(
2000
).