A low-cost mechanical exfoliation method is presented to transfer graphite to graphene for free-standing beam arrays. Nickel film or photoresist is used to peel off and transfer patterned single-layer or multilayer graphene onto substrates with macroscopic continuity. Free-standing graphene beam arrays are fabricated on both silicon and polymer substrates. Their mechanical properties are studied by atomic force microscopy. Finally, a graphene based radio frequency switch is demonstrated, with its pull-in voltage and graphene-silicon junction investigated.

1.
K. S.
Novoselov
,
A. K.
Geim
,
S. V.
Morozov
,
D.
Jiang
,
Y.
Zhang
,
S. V.
Dubonos
,
I. V.
Grigorieva
, and
A. A.
Firsov
,
Science
306
,
666
(
2004
).
2.
C.
Lee
,
X.
Wei
,
J. W.
Kysar
, and
J.
Hone
,
Science
321
,
385
(
2008
).
3.
J. S.
Bunch
,
A. M. V.
Zande
,
S. S.
Verbridge
,
L. W.
Frank
,
D. M.
Tanenbaum
,
J. M.
Parpia
,
H. G.
Craighead
, and
P. L.
McEuen
,
Science
315
,
490
(
2007
).
4.
C.
Chen
,
S.
Rosenblatt
,
K. I.
Bolotin
,
W.
Kalb
,
I.
Kymissis
,
H. L.
Stormer
,
T. F.
Heinz
, and
J.
Hone
,
Nat. Nanotechnol.
4
,
861
(
2009
).
5.
C.
Gomez-Navarro
,
M.
Burghard
, and
K.
Kern
,
Nano Lett.
8
,
2045
(
2008
).
6.
S.
Shivaraman
,
R. A.
Barton
,
X.
Yu
,
J.
Alden
,
L.
Herman
,
M.
Chandrashekhar
,
J.
Park
,
P. L.
McEuem
,
J. M.
Parpia
,
H. G.
Craighead
, and
M. G.
Spencer
,
Nano Lett.
9
,
3100
(
2009
).
7.
X.
Li
,
W.
Cai
,
J.
An
,
S.
Kim
,
J.
Nah
,
D.
Yang
,
R.
Piner
,
A.
Velamakanni
,
I.
Jung
,
E.
Tutuc
,
S. K.
Banerjee
,
L.
Colombo
, and
R. S.
Ruoff
,
Science
324
,
1312
(
2009
).
8.
S.
Bae
,
H.
Kim
,
Y.
Lee
,
X.
Xu
,
J. S.
Park
,
Y.
Zheng
,
J.
Balakrishnan
,
T.
Lei
,
H. R.
Kim
,
Y.
Song
,
Y. J.
Kim
,
K. S.
Kim
,
B. H.
Hong
, and
S.
Lijima
,
Nat. Nanotechnol.
5
,
574
(
2010
).
9.
K. S.
Kim
,
Y.
Zhao
,
H.
Jang
,
S. Y.
Lee
,
J. M.
Kim
,
K. S.
Kim
,
J. H.
Ahn
,
P.
Kim
,
J. Y.
Choi
, and
B. H.
Hong
,
Nature (London)
457
,
706
(
2009
).
10.
P. W.
Sutter
,
J. I.
Flege
, and
E. A.
Sutter
,
Nature Mater.
7
,
406
(
2008
).
11.
A.
Reina
,
X.
Jia
,
J.
Ho
,
D.
Nezich
,
H.
Son
,
V. B.
Bulovic
,
M. S.
Dresselhaus
, and
J.
Jing
,
Nano Lett.
9
,
30
(
2009
).
12.
Z.
Wei
,
D.
Wang
,
S.
Kim
,
S. Y.
Kim
,
Y.
Hu
,
M. K.
Yakes
,
A. R.
Laracuente
,
Z.
Dai
,
S. R.
Marder
,
C.
Berger
,
W. P.
King
,
W. A.
Heer
,
P. E.
Sheehan
, and
E.
Riedo
,
Science
328
,
1373
(
2010
).
13.
S.
Park
and
R. S.
Ruoff
,
Nat. Nanotechnol.
4
,
217
(
2009
).
14.
Y.
Hernandez
,
V.
Nicolosi
,
M.
Lotya
,
F. M.
Blighe
,
Z.
Sun
,
I. Y.
Mcgovern
,
B.
Holland
,
M. B.
Byren
,
Y.
Gunko
,
J. J.
Boland
,
P.
Niraj
,
G.
Duesberg
,
S.
Krishnamurthy
,
R.
Goodhue
,
J.
Hitchison
,
V.
Scardaci
,
A. C. F.
Ferrari
, and
J. N.
Coleman
,
Nat. Nanotechnol.
3
,
563
(
2008
).
15.
K. V.
Emtsev
,
A.
Bostwick
,
K.
Horn
,
J.
Jobst
,
G. L.
Kellogg
,
L.
Ley
,
J. L.
McChesney
,
T.
Ohta
,
S. A.
Reshanov
,
J.
Rohrl
,
E.
Rotenberg
,
A. K.
Schmid
,
D.
Waldmann
,
H. B.
Weber
, and
T.
Seyller
,
Nature Mater.
8
,
203
(
2009
).
16.
L.
Song
,
L.
Ci
,
W.
Gao
, and
P. M.
Ajayan
,
ACS Nano
3
,
1353
(
2009
).
17.
W.
Beitz
and
K. H.
Grote
,
Dubbel, Taschenbuch für den Maschinenbau
(
Springer
,
Berlin
,
2007
).
You do not currently have access to this content.