A parallel and economical method for obtaining nanoscale features on large-area quartz substrates has been developed for use in nanoimprint lithography template fabrication. Self-assembled multilayer films (molecular rulers) are used in conjunction with photolithographically defined metallic features to generate precise nanogaps with sub-30-nm resolution on quartz substrates. These nanopatterns are then transferred to the quartz substrates using the metallic thin films as etch masks.

1.
International Technology Roadmap for Semiconductors, Semiconductor Industry Association, 2005.
2.
W.
Reisner
,
K. J.
Morton
,
R.
Riehn
,
Y. M.
Wang
,
Z. N.
Yu
,
M.
Rosen
,
J. C.
Sturm
,
S. Y.
Chou
,
E.
Frey
, and
R. H.
Austin
,
Phys. Rev. Lett.
94
,
196101
(
2005
).
3.
J. O.
Tegenfeldt
,
C.
Prinz
,
H.
Cao
,
S. Y.
Chou
,
W. W.
Reisner
,
R.
Riehn
,
Y. M.
Wang
,
E. C.
Cox
,
J. C.
Sturm
,
P.
Silberzan
, and
R. H.
Austin
,
Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A.
101
,
10979
(
2004
).
4.
J. C.
Taylor
,
T.
Hostetler
,
P.
Kornilovich
, and
K.
Krame
,
Proc. SPIE
6151
,
61510L
(
2006
).
5.
Z. N.
Yu
,
S. J.
Schablitsky
, and
S. Y.
Chou
,
Appl. Phys. Lett.
74
,
2381
(
1999
).
6.
M. D.
Austin
and
S. Y.
Chou
,
Nano Lett.
3
,
1687
(
2003
).
7.
Y.
Chen
,
D. A. A.
Ohlberg
,
X.
Li
,
D. R.
Stewart
,
R. S.
Williams
,
J. O.
Jeppesen
,
K. A.
Nielsen
,
J. F.
Stoddart
,
D. L.
Olynick
, and
E.
Anderson
,
Appl. Phys. Lett.
82
,
1610
(
2003
).
8.
G. M.
McClelland
,
M. W.
Hart
,
C. T.
Rettner
,
M. E.
Best
,
K. R.
Carter
, and
B. D.
Terris
,
Appl. Phys. Lett.
81
,
1483
(
2002
).
9.
D. J.
Resnick
,
G.
Schmid
,
M.
Miller
,
G.
Doyle
,
C.
Jones
, and
D.
LaBrake
,
Proc. SPIE
6607
,
66070T
(
2007
).
10.
S. Y.
Chou
,
C.
Keimel
, and
J.
Gu
,
Nature (London)
417
,
835
(
2002
).
11.
M.
Colburn
,
S. C.
Johnson
,
M. D.
Stewart
,
S.
Damle
,
T. C.
Bailey
,
B.
Choi
,
M.
Wedlake
,
T. B.
Michaelson
,
S. V.
Sreenivasan
,
J. G.
Ekerdt
, and
C. G.
Willson
,
Proc. SPIE
3676
,
379
(
1999
).
12.
A.
Hatzor
and
P. S.
Weiss
,
Science
291
,
1019
(
2001
).
13.
M. E.
Anderson
,
L. P.
Tan
,
M.
Mihok
,
H.
Tanaka
,
M. W.
Horn
,
G. S.
McCarty
, and
P. S.
Weiss
,
Adv. Mater. (Weinheim, Ger.)
18
,
1020
(
2006
).
14.
H.
Tanaka
,
M. E.
Anderson
,
M. W.
Horn
, and
P. S.
Weiss
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
43
,
L950
(
2004
).
15.
C.
Srinivasan
,
M. E.
Anderson
,
E. M.
Carter
,
J. N.
Hohman
,
P. S.
Weiss
, and
M. W.
Horn
,
J. Vac. Sci. Technol. B
24
,
3200
(
2006
).
16.
M. D.
Austin
,
H. X.
Ge
,
W.
Wu
,
M. T.
Li
,
Z. N.
Yu
,
D.
Wasserman
,
S. A.
Lyon
, and
S. Y.
Chou
,
Appl. Phys. Lett.
84
,
5299
(
2004
).
17.
F.
Hua
,
Y.
Sun
,
A.
Gaur
,
M. A.
Meitl
,
L.
Bilhaut
,
L.
Rotkina
,
J.
Wang
,
P.
Geil
,
M.
Shim
,
J. A.
Rogers
, and
A.
Shim
,
Nano Lett.
4
,
2467
(
2004
).
18.
S. E.
Kooi
,
L. A.
Baker
,
P. E.
Sheehan
, and
L. J.
Whitman
,
Adv. Mater. (Weinheim, Ger.)
16
,
1013
(
2004
).
19.
D. A.
Weinberger
,
S.
Hong
,
C. A.
Mirkin
,
B. W.
Wessels
, and
T. B.
Higgins
,
Adv. Mater. (Weinheim, Ger.)
12
,
1600
(
2000
).
20.
R.
Garcia
,
R. V.
Martinez
, and
J.
Martinez
,
Chem. Soc. Rev.
35
,
29
(
2006
).
21.
R. V.
Martínez
,
N. S.
Losilla
,
J.
Martinez
,
Y.
Huttel
, and
R.
Garcia
,
Nano Lett.
7
,
1846
(
2007
).
22.
A. J.
Haes
,
S.
Zou
,
G. C.
Schatz
, and
R. P.
Van Duyne
,
J. Phys. Chem. B
108
,
109
(
2004
).
23.
A.
Hatzor de Picciotto
,
A. D.
Wissner-Gross
,
G.
Lavallee
, and
P. S.
Weiss
,
J. Exp. Nanosci.
2
,
3
(
2007
).
24.
S. D.
Evans
,
A.
Ulman
,
K. E.
Goppert-Berarducci
, and
J. L.
Gerenser
,
J. Am. Chem. Soc.
113
,
5866
(
1991
).
25.
S.
Winkelmeier
,
M.
Sarstedt
,
M.
Ereken
,
M.
Goethals
, and
K.
Ronse
,
Microelectron. Eng.
57-58
,
665
(
2001
).
26.
N. G.
Semaltianos
and
E. G.
Wilson
,
Thin Solid Films
366
,
111
(
2000
).
27.
S. Y.
Chou
and
Q.
Xia
, U.S. Patent No. 7,282,456 (16 October 2007).
You do not currently have access to this content.