Thin fully strained Si1xGex/Si1xyGexCy/Si1xGex heterostructures (x=0.2), with controlled C incorporation sites, were grown on Si substrates using ultrahigh vacuum chemical vapor deposition. Following the growth, layers were relaxed using rapid thermal annealing at 1000°C for 30 s, and high degrees of relaxation of 65% and 59% were achieved with and without interstitial C, respectively. We show that the difference in cross hatch density and step height between two samples, which correspond to different misfit dislocation pileup behaviors, suggests controllability of SiGe relaxation via variation in C incorporation sites in the SiGeC layer.

1.
J.
Welser
,
J. L.
Hoyt
, and
J. F.
Gibbons
,
IEEE Electron Device Lett.
15
,
100
(
1994
).
2.
M. T.
Currie
,
C. W.
Leitz
,
T. A.
Langdo
,
G.
Taraschi
,
E. A.
Fitzgerald
, and
D. A.
Antoniadis
,
J. Vac. Sci. Technol. B
19
,
2268
(
2001
).
3.
E. A.
Fitzgerald
,
Y. H.
Xie
,
M. L.
Green
,
D.
Brasen
,
A. R.
Kortan
,
J.
Michel
,
Y. J.
Mii
, and
B. E.
Weir
,
Appl. Phys. Lett.
59
,
811
(
1991
).
4.
J. W. P.
Hsu
,
E. A.
Fitzgerald
,
Y. H.
Xie
,
P. J.
Silverman
, and
M. J.
Cardillo
,
Appl. Phys. Lett.
61
,
1293
(
1992
).
5.
M. T.
Currie
,
S. B.
Samavedam
,
T. A.
Langdo
,
C. W.
Leitz
, and
E. A.
Fitzgerald
,
Appl. Phys. Lett.
72
,
1718
(
1998
).
6.
R.
Delhougne
,
P.
Meunier-Beillard
,
M.
Caymax
,
R.
Loo
, and
W.
Vandervorst
,
Appl. Surf. Sci.
224
,
91
(
2004
).
7.
R.
Delhougne
,
G.
Eneman
,
M.
Caymax
,
R.
Loo
,
P.
Meunier-Beillard
,
P.
Verheyen
,
W.
Vandervorst
,
K.
De Meyer
, and
M.
Heyns
,
Solid-State Electron.
48
,
1307
(
2004
).
8.
M.
Caymax
,
R.
Delhougne
,
M.
Ries
,
M.
Luysberg
, and
R.
Loo
,
Thin Solid Films
508
,
260
(
2006
).
9.
F. K.
LeGoues
,
B. S.
Meyerson
, and
J. F.
Morar
,
Phys. Rev. Lett.
66
,
2903
(
1991
).
10.
S. -H.
Lim
,
S.
Song
,
E.
Yoon
, and
J. -H.
Lee
,
J. Vac. Sci. Technol. B
22
,
275
(
2004
).
11.
S.
Hong
,
Y. L.
Foo
,
K. A.
Bratland
,
T.
Spila
,
K.
Ohmori
,
M. R.
Sardela
, Jr.
,
J. E.
Greene
, and
E.
Yoon
,
Appl. Phys. Lett.
83
,
4321
(
2003
).
12.
H. -W.
Kim
,
S.
Choi
,
S.
Hong
,
H. K.
Jung
,
G. D.
Lee
,
E.
Yoon
, and
C. S.
Kim
,
J. Korean Phys. Soc.
50
,
686
(
2007
).
13.
S.
Choi
,
H. -W.
Kim
,
H. J.
Kim
,
S.
Hong
,
G. -D.
Lee
, and
E.
Yoon
,
Appl. Phys. Lett.
92
,
061906
(
2008
).
14.
T.
Spila
,
P.
Desjardins
,
J.
D’Arcy-Gall
,
R. D.
Twesten
, and
J. E.
Greene
,
J. Appl. Phys.
93
,
1918
(
2003
).
15.
F. K.
LeGoues
,
B. S.
Meyerson
,
J. F.
Morar
, and
P. D.
Kirchner
,
J. Appl. Phys.
71
,
4230
(
1992
).
16.
F. K.
LeGoues
,
K.
Eberl
, and
S. S.
Iyer
,
Appl. Phys. Lett.
60
,
2862
(
1992
).
17.
S.
Hong
,
H. -W.
Kim
,
D. K.
Bae
,
S. C.
Song
,
G. -D.
Lee
,
E.
Yoon
,
C. S.
Kim
,
Y. L.
Foo
, and
J. E.
Greene
,
Appl. Phys. Lett.
88
,
122103
(
2006
).
You do not currently have access to this content.