All-solution processed, low-temperature zinc oxide nanowire network transistor fabrication on a polymer substrate was demonstrated. This simple process can produce high resolution metal electrode transistors with inorganic semiconductor nanowire active material in a fully maskless sequence, eliminating the need for lithographic and vacuum processes. The temperature throughout the processing was under 140°C, which will enable further applications to electronics on low-cost, large-area flexible polymer substrates.

1.
Y.
Wu
,
Y.
Li
,
B. S.
Ong
,
P.
Liu
,
S.
Gardner
, and
B.
Chiang
,
Adv. Mater. (Weinheim, Ger.)
17
,
184
(
2005
).
2.
U.
Zschieschang
,
H.
Klauk
,
M.
Halik
,
G.
Schmid
, and
C.
Dehm
,
Adv. Mater. (Weinheim, Ger.)
15
,
1147
(
2003
).
3.
J.
Chung
,
S.
Ko
,
N. R.
Bieri
,
C. P.
Grigoropoulos
, and
D.
Poulikakos
,
Appl. Phys. Lett.
84
,
801
(
2004
).
4.
D.
Redinger
,
S.
Molesa
,
S.
Yin
,
R.
Farschi
, and
V.
Subramanian
,
IEEE Trans. Electron Devices
51
,
1978
(
2004
).
5.
S. H.
Ko
,
H.
Pan
,
C. P.
Grigoropoulos
,
C. K.
Luscombe
,
J. M. J.
Fréchet
, and
D.
Poulikakos
,
Appl. Phys. Lett.
90
,
141103
(
2007
).
6.
S. H.
Ko
,
H.
Pan
,
C. P.
Grigoropoulos
,
C. K.
Luscombe
,
J. M. J.
Fréchet
, and
D.
Poulikakos
,
Nanotechnology
18
,
345202
(
2007
).
7.
T.
Mäkelä
,
T.
Haatainen
,
J.
Ahopelto
, and
H.
Isotalo
,
J. Vac. Sci. Technol. B
19
,
487
(
2001
).
8.
C. M.
Sotomayor Torres
,
Alternative Lithography
(
Springer
,
New York
,
2003
).
9.
S. H.
Ko
,
I.
Park
,
H.
Pan
,
C.
Grigoropoulos
,
A. P.
Pisano
,
C. K.
Luscombe
, and
J. M. J.
Fréchet
,
Nano Lett.
7
,
1869
(
2007
).
10.
A. R.
Murphy
,
J.
Liu
,
C.
Luscombe
,
D.
Kavulak
,
J. M. J.
Fréchet
,
R. J.
Kline
, and
M. D.
McGehee
,
Chem. Mater.
17
,
4892
(
2005
).
11.
J. J.
Wu
and
S. C.
Liu
,
Adv. Mater. (Weinheim, Ger.)
14
,
215
(
2002
).
12.
B. D.
Yao
,
Y. F.
Chan
, and
N.
Wang
,
Appl. Phys. Lett.
81
,
757
(
2002
).
13.
Y.
Sun
,
G. M.
Fuge
, and
M. N. R.
Ashfold
,
Chem. Phys. Lett.
396
,
21
(
2004
).
14.
L. E.
Greene
,
B. D.
Yuhas
,
M.
Law
,
D.
Zitoun
, and
P.
Yang
,
Inorg. Chem.
45
,
7535
(
2006
).
15.
S. H.
Ko
,
H.
Pan
,
D. J.
Hwang
,
S. G.
Ryu
,
J.
Chung
,
C. P.
Grigoropoulos
, and
D.
Poulikakos
,
J. Appl. Phys.
102
,
093102
(
2007
).
16.
L.
Vayssieres
,
Adv. Mater. (Weinheim, Ger.)
15
,
464
(
2003
).
17.
L. E.
Greene
,
M.
Law
,
D. H.
Tan
,
M.
Montano
,
J.
Goldberger
,
G.
Somorjai
, and
P.
Yang
,
Nano Lett.
5
,
1231
(
2005
).
18.
T.
Bakhishev
,
S. K.
Volkman
, and
V.
Subramanian
,
MRS Symposia Proceedings No. 905E-DD05-05.1
(
Materials Research Society
,
Boston
,
2006
).
19.
B. J.
Norris
,
J.
Anderson
,
J. F.
Wager
, and
D. A.
Keszler
,
J. Phys. D
36
,
L105
(
2003
5).
20.
P.
Gao
,
J. L.
Brent
,
B. A.
Buchine
,
B.
Weinstraub
,
Z. L.
Wang
, and
J. L.
Lee
,
Appl. Phys. Lett.
91
,
142108
(
2007
).
You do not currently have access to this content.