The band offsets between an amorphous LaAlO3 dielectric prepared by molecular-beam deposition and a n-type In0.53Ga0.47As (001) layer have been measured using synchrotron radiation photoemission spectroscopy. The valence and conduction band offsets at the postdeposition annealed LaAlO3InGaAs interface are 3.1±0.1 and 2.35±0.2eV, respectively. The band gap of LaAlO3, as determined by Al 2p and O 1s core level energy loss spectra, is 6.2±0.1eV. Within the resolution of the medium energy ion scattering technique, no interfacial oxide layer is seen between the InGaAs and the 3.6nm thick amorphous LaAlO3.

1.
R.
Chau
,
S.
Datta
, and
A.
Majumdar
,
IEEE Compound Semiconductor Integrated Circuit Symposium, Technical Digest
,
2005
, pp.
17
20
.
2.
D.-H.
Kim
,
J. A.
del Alamo
,
J. H.
Lee
, and
K. S.
Seo
,
Tech. Dig. - Int. Electron Devices Meet.
2005
,
767
.
3.
S.
Datta
,
T.
Ashley
,
R.
Chau
,
K.
Hilton
,
R.
Jefferies
,
T.
Martin
, and
T. J.
Phillips
,
Tech. Dig. - Int. Electron Devices Meet.
2005
,
783
.
4.
J.
Robertson
,
J. Vac. Sci. Technol. B
18
,
1785
(
2000
).
5.
P. W.
Peacock
and
J.
Robertson
,
J. Appl. Phys.
92
,
4712
(
2002
).
6.
E.
Cicerrella
,
J. L.
Freeouf
,
L. F.
Edge
,
D. G.
Schlom
,
T.
Heeg
,
J.
Schubert
, and
S. A.
Chambers
,
J. Vac. Sci. Technol. A
23
,
1676
(
2005
).
7.
L. F.
Edge
,
D. G.
Schlom
,
S. A.
Chambers
,
E.
Cicerrella
,
J. L.
Freeouf
,
B.
Holländer
, and
J.
Schubert
,
Appl. Phys. Lett.
84
,
726
(
2004
).
8.
P.
Sivasubramani
,
M. J.
Kim
,
B. E.
Gnade
,
R. M.
Wallace
,
L. F.
Edge
,
D. G.
Schlom
,
H. S.
Craft
, and
J.-P.
Maria
,
Appl. Phys. Lett.
86
,
201901
(
2005
).
9.
L. F.
Edge
,
D. G.
Schlom
,
R. T.
Brewer
,
Y. J.
Chabal
,
J. R.
Williams
,
S. A.
Chambers
,
C.
Hinkle
,
G.
Lucovsky
,
Y.
Yang
,
S.
Stemmer
,
M.
Copel
,
B.
Holländer
, and
J.
Schubert
,
Appl. Phys. Lett.
84
,
4629
(
2004
).
10.
N.
Goel
,
P.
Majhi
,
W.
Tsai
,
M.
Warusawithana
,
D. G.
Schlom
,
M. B.
Santos
,
J. S.
Harris
, and
Y.
Nishi
Appl. Phys. Lett.
91
,
093509
(
2007
).
11.
S. P.
Kowalczyk
,
D. L.
Miller
,
J. R.
Waldrop
,
P. G.
Newman
, and
R. W.
Grant
,
J. Vac. Sci. Technol.
19
,
255
(
1981
).
12.
W. H.
Schulte
,
B. W.
Busch
,
E.
Garfunkel
,
T.
Gustafsson
, and
G.
Schiwietz
,
Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B
183
,
16
(
2001
).
13.
R. M.
Tromp
,
M.
Copel
,
M. C.
Reuter
,
M.
Horn von Hoegen
, and
J.
Speidell
,
Rev. Sci. Instrum.
62
,
2679
(
1991
).
14.
E. A.
Kraut
,
R. W.
Grant
,
J. R.
Waldrop
, and
S. P.
Kowalczyk
,
Phys. Rev. Lett.
44
,
1620
(
1980
).
15.
E. A.
Kraut
,
R. W.
Grant
,
J. R.
Waldrop
, and
S. P.
Kowalczyk
,
Phys. Rev. B
28
,
1965
(
1983
).
16.
Z.
Liu
,
Y.
Sun
,
F.
Machuca
,
P.
Pianetta
,
W. E.
Spicer
, and
R. F. W.
Pease
,
J. Vac. Sci. Technol. B
21
,
1953
(
2003
).
17.
S. A.
Chambers
,
Y.
Liang
,
Z.
Yu
,
R.
Droopad
,
J.
Ramdani
, and
K.
Eisenbeiser
,
Appl. Phys. Lett.
77
,
1662
(
2000
);
S. A.
Chambers
,
Y.
Liang
,
Z.
Yu
,
R.
Droopad
, and
J.
Ramdani
,
J. Vac. Sci. Technol. A
19
,
934
(
2001
).
18.
S.
Miyazaki
,
J. Vac. Sci. Technol. B
19
,
2212
(
2001
);
S. A.
Chambers
,
T.
Droubay
,
T. C.
Kaspar
, and
M.
Gutowski
,
J. Vac. Sci. Technol. B
22
,
2205
(
2004
).
19.
S.-G.
Lim
,
S.
Kriventsov
,
T. N.
Jackson
,
J. H.
Haeni
,
D. G.
Schlom
,
A. M.
Balbashov
,
R.
Uecker
,
P.
Reiche
,
J. L.
Freeouf
, and
G.
Lucovsky
,
J. Appl. Phys.
91
,
4500
(
2002
).
You do not currently have access to this content.