The band offsets between an amorphous dielectric prepared by molecular-beam deposition and a -type (001) layer have been measured using synchrotron radiation photoemission spectroscopy. The valence and conduction band offsets at the postdeposition annealed interface are and , respectively. The band gap of , as determined by Al and O core level energy loss spectra, is . Within the resolution of the medium energy ion scattering technique, no interfacial oxide layer is seen between the InGaAs and the thick amorphous .
REFERENCES
1.
R.
Chau
, S.
Datta
, and A.
Majumdar
, IEEE Compound Semiconductor Integrated Circuit Symposium, Technical Digest
, 2005
, pp. 17
–20
.2.
D.-H.
Kim
, J. A.
del Alamo
, J. H.
Lee
, and K. S.
Seo
, Tech. Dig. - Int. Electron Devices Meet.
2005
, 767
.3.
S.
Datta
, T.
Ashley
, R.
Chau
, K.
Hilton
, R.
Jefferies
, T.
Martin
, and T. J.
Phillips
, Tech. Dig. - Int. Electron Devices Meet.
2005
, 783
.4.
J.
Robertson
, J. Vac. Sci. Technol. B
18
, 1785
(2000
).5.
P. W.
Peacock
and J.
Robertson
, J. Appl. Phys.
92
, 4712
(2002
).6.
E.
Cicerrella
, J. L.
Freeouf
, L. F.
Edge
, D. G.
Schlom
, T.
Heeg
, J.
Schubert
, and S. A.
Chambers
, J. Vac. Sci. Technol. A
23
, 1676
(2005
).7.
L. F.
Edge
, D. G.
Schlom
, S. A.
Chambers
, E.
Cicerrella
, J. L.
Freeouf
, B.
Holländer
, and J.
Schubert
, Appl. Phys. Lett.
84
, 726
(2004
).8.
P.
Sivasubramani
, M. J.
Kim
, B. E.
Gnade
, R. M.
Wallace
, L. F.
Edge
, D. G.
Schlom
, H. S.
Craft
, and J.-P.
Maria
, Appl. Phys. Lett.
86
, 201901
(2005
).9.
L. F.
Edge
, D. G.
Schlom
, R. T.
Brewer
, Y. J.
Chabal
, J. R.
Williams
, S. A.
Chambers
, C.
Hinkle
, G.
Lucovsky
, Y.
Yang
, S.
Stemmer
, M.
Copel
, B.
Holländer
, and J.
Schubert
, Appl. Phys. Lett.
84
, 4629
(2004
).10.
N.
Goel
, P.
Majhi
, W.
Tsai
, M.
Warusawithana
, D. G.
Schlom
, M. B.
Santos
, J. S.
Harris
, and Y.
Nishi
Appl. Phys. Lett.
91
, 093509
(2007
).11.
S. P.
Kowalczyk
, D. L.
Miller
, J. R.
Waldrop
, P. G.
Newman
, and R. W.
Grant
, J. Vac. Sci. Technol.
19
, 255
(1981
).12.
W. H.
Schulte
, B. W.
Busch
, E.
Garfunkel
, T.
Gustafsson
, and G.
Schiwietz
, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B
183
, 16
(2001
).13.
R. M.
Tromp
, M.
Copel
, M. C.
Reuter
, M.
Horn von Hoegen
, and J.
Speidell
, Rev. Sci. Instrum.
62
, 2679
(1991
).14.
E. A.
Kraut
, R. W.
Grant
, J. R.
Waldrop
, and S. P.
Kowalczyk
, Phys. Rev. Lett.
44
, 1620
(1980
).15.
E. A.
Kraut
, R. W.
Grant
, J. R.
Waldrop
, and S. P.
Kowalczyk
, Phys. Rev. B
28
, 1965
(1983
).16.
Z.
Liu
, Y.
Sun
, F.
Machuca
, P.
Pianetta
, W. E.
Spicer
, and R. F. W.
Pease
, J. Vac. Sci. Technol. B
21
, 1953
(2003
).17.
S. A.
Chambers
, Y.
Liang
, Z.
Yu
, R.
Droopad
, J.
Ramdani
, and K.
Eisenbeiser
, Appl. Phys. Lett.
77
, 1662
(2000
);S. A.
Chambers
, Y.
Liang
, Z.
Yu
, R.
Droopad
, and J.
Ramdani
, J. Vac. Sci. Technol. A
19
, 934
(2001
).18.
S.
Miyazaki
, J. Vac. Sci. Technol. B
19
, 2212
(2001
);S. A.
Chambers
, T.
Droubay
, T. C.
Kaspar
, and M.
Gutowski
, J. Vac. Sci. Technol. B
22
, 2205
(2004
).19.
S.-G.
Lim
, S.
Kriventsov
, T. N.
Jackson
, J. H.
Haeni
, D. G.
Schlom
, A. M.
Balbashov
, R.
Uecker
, P.
Reiche
, J. L.
Freeouf
, and G.
Lucovsky
, J. Appl. Phys.
91
, 4500
(2002
).© 2007 American Institute of Physics.
2007
American Institute of Physics
You do not currently have access to this content.