The authors have investigated ultrashallow p+n-junction formation by solid-phase epitaxy, by using x-ray absorption near-edge spectroscopy measurements on the B K edge. A clear fingerprint of B–B clusters is detected in the spectra. The authors demonstrate that B clustering occurs during the very early stages of annealing-induced Si recrystallization, i.e., when B is still in an amorphous matrix. After complete regrowth the local structure around B remains the same as in the amorphous phase, implying that B clusters are transferred to the crystalline structure.

1.
Semiconductor Industry Association
,
International Technology Roadmap for Semiconductors
,
2005
, http://www.itrs.net/Common/2005ITRS/Home2005.htm
2.
S.
Solmi
,
E.
Landi
, and
F.
Baruffaldi
,
J. Appl. Phys.
68
,
3250
(
1990
).
3.
W.
Lerch
,
S.
Paul
,
D. F.
Downey
, and
E. A.
Arevalo
, Electrochem. Soc. Proc. 14,
43
(
2003
).
4.
B. J.
Pawlak
,
R.
Surdeanu
,
B.
Colombeau
,
A. J.
Smith
,
N. E. B.
Cowern
,
R.
Lindsay
,
W.
Vandervorst
,
B.
Brijs
,
O.
Richard
, and
F.
Cristiano
,
Appl. Phys. Lett.
84
,
2055
(
2004
).
5.
F.
Cristiano
,
N.
Cherkashin
,
P.
Calvo
,
Y.
Lamrani
,
X.
Hebras
,
A.
Claverie
,
W.
Lerch
, and
S.
Paul
,
Mater. Sci. Eng., B
114–115
,
174
(
2004
).
6.
A.
Mokhberi
,
L.
Pelaz
,
M.
Aboy
,
L.
Marques
,
J.
Barbolla
,
E.
Paton
,
S.
McCoy
,
J.
Ross
,
K.
Elliot
,
J.
Gelpi
,
P.
Griffin
, and
J. D.
Plummer
,
Tech. Dig. - Int. Electron Devices Meet.
2002
,
879
.
7.
M.
Aboy
,
L.
Pelaz
,
L. A.
Marques
,
J.
Barbolla
,
A.
Mokhberi
,
Y.
Takamura
,
P. B.
Griffin
, and
J. D.
Plummer
,
Appl. Phys. Lett.
83
,
4166
(
2003
).
8.
B. J.
Pawlak
,
W.
Vandervorst
,
A. J.
Smith
,
N. E. B.
Cowern
,
B.
Colombeau
, and
X.
Pages
,
Appl. Phys. Lett.
86
,
101913
(
2005
).
9.
R.
Duffy
,
V. C.
Venezia
,
A.
Heringa
,
B. J.
Pawlak
,
M. J. P.
Hopstaken
,
G. C. J.
Maas
,
Y.
Tamminga
,
T.
Dao
,
F.
Roozeboom
, and
L.
Pelaz
,
Appl. Phys. Lett.
84
,
4283
(
2004
).
10.
A.
Mattoni
and
L.
Colombo
,
Phys. Rev. B
69
,
045204
(
2004
).
11.
M.
Di Marino
,
E.
Napolitani
,
M.
Mastromatteo
,
G.
Bisognin
,
D.
De Salvador
,
A.
Carnera
,
S.
Mirabella
,
G.
Impellizzeri
,
F.
Priolo
,
H.
Graoui
, and
M. A.
Foad
,
Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B
(in press).
12.
J. M.
Jacques
,
L. S.
Robertson
,
K. S.
Jones
,
M. E.
Law
,
M.
Rendon
, and
J.
Bennett
,
Appl. Phys. Lett.
82
,
3469
(
2003
).
13.
V. C.
Venezia
,
R.
Duffy
,
L.
Pelaz
,
M. J. P.
Hopstaken
,
G. C. J.
Maas
,
T.
Dao
,
Y.
Tamminga
, and
P.
Graat
,
Mater. Sci. Eng., B
124–125
,
245
(
2005
).
14.
A.
Vailionis
,
G.
Glass
,
P.
Desjardins
, David
G.
Cahill
, and
J. E.
Greene
,
Phys. Rev. Lett.
82
,
4464
(
1999
).
15.
R.
Carboni
,
G.
Pacchioni
,
M.
Fanciulli
,
A.
Giglia
,
M.
Pedio
,
N.
Mahne
,
S.
Nannarone
, and
F.
Boscherini
,
Appl. Phys. Lett.
83
,
4312
(
2003
).
16.
J.
Stöhr
,
NEXAFS Spectroscopy
,
Springer Series in Surface Science
Vol.
25
(
Springer
,
New York
,
1996
), p.
1
, and references therein.
17.
J.
Zhu
,
T. D.
della Rubia
,
L. H.
Yang
, and
C.
Mailhiot
,
Phys. Rev. B
54
,
4741
(
1996
).
18.
T. J.
Lenosky
,
B.
Sadigh
,
S. K.
Theiss
,
Maria-Jose
Caturla
, and
T.
Diaz de la Rubia
,
Appl. Phys. Lett.
77
,
1834
(
2000
).
19.
J.
Yamauchi
,
N.
Aoki
, and
I.
Mizushima
,
Phys. Rev. B
63
,
073202
(
2001
).
20.
G.
Glass
,
H.
Kim
,
P.
Desjardins
,
N.
Taylor
,
T.
Spila
,
Q.
Lu
, and
J. E.
Greene
,
Phys. Rev. B
61
,
7628
(
2000
).
21.
K. C.
Pandey
,
A.
Erbil
,
G. S.
Cargill
 III
,
R. F.
Boehme
, and
D.
Vanderbilt
,
Phys. Rev. Lett.
61
,
1282
(
1988
).
22.
J. L.
Allain
,
J. R.
Regnard
,
A.
Bourret
,
A.
Parisini
,
A.
Armigliato
,
G.
Tourillon
, and
S.
Pizzini
,
Phys. Rev. B
46
,
9434
(
1992
).
23.
F.
Boscherini
,
N.
Ferretti
,
B.
Bonanni
,
D.
Orani
,
S.
Rubini
,
M.
Piccin
, and
A.
Franciosi
,
Appl. Phys. Lett.
81
,
1639
(
2002
).
24.
J. C.
Knights
,
T. M.
Hayes
, and
J. C.
Mikkelsen
, Jr.
,
Phys. Rev. Lett.
39
,
712
(
1977
).
25.
G. N.
Greaves
,
A. J.
Dent
,
B. R.
Dobson
,
S.
Kalbitzer
,
S.
Pizzini
, and
G.
Müller
,
Phys. Rev. B
45
,
6517
(
1992
).
You do not currently have access to this content.