We demonstrate that tuning fork sensing provides a stable, noncontact mode of operation when applied to near-field optical microscopy employing cantilevered probes. Detrimental damping effects that have so far limited the practical use of these otherwise very advantageous probes are totally overcome. We validate our tuning fork setup featuring hollow-pyramid probes by an optical nanolithography application.
REFERENCES
1.
D. W.
Pohl
, W.
Denk
, and M.
Lanz
, Appl. Phys. Lett.
44
, 651
(1984
).2.
A.
Lewis
, M.
Isaacson
, A.
Harootunian
, and A.
Murray
, Ultramicroscopy
13
, 227
(1984
).3.
E.
Betzig
, J. K.
Trautman
, T. D.
Harris
, J. S.
Weiner
, and R. L.
Kostelak
, Science
251
, 1468
(1991
).4.
G. A.
Valaskovic
, M.
Holton
, and G. H.
Morrison
, Appl. Opt.
34
, 1215
(1995
).5.
D. R.
Turner
, U.S. Patent No. 4,469,554 (4 May 1983).6.
P.
Lambelet
, A.
Sayah
, M.
Pfeffer
, C.
Philipona
, and F.
Marquis-Weible
, Appl. Opt.
37
, 7289
(1998
).7.
R.
Stöckle
, C.
Fokas
, V.
Deckert
, R.
Zenobi
, B.
Sick
, B.
Hecht
, and U. P.
Wild
, Appl. Phys. Lett.
75
, 160
(1999
).8.
D.
Zeisel
, S.
Nettesheim
, B.
Dutoit
, and R.
Zenobi
, Appl. Phys. Lett.
68
, 2491
(1996
).9.
T.
Held
, S.
Emonin
, O.
Marti
, and O.
Hollricher
, Rev. Sci. Instrum.
71
, 3118
(2000
).10.
M.
Stähelin
, M. A.
Bopp
, G.
Tarrach
, A. J.
Meixner
, and I.
Zschokke-Gränacher
, Appl. Phys. Lett.
68
, 2603
(1996
).11.
Ch. Lienau,
A.
Richter
, and T.
Elsaesser
, Appl. Phys. Lett.
69
, 325
(1996
).12.
P. G.
Gucciardi
, M.
Colocci
, M.
Labardi
, and M.
Allegrini
, Appl. Phys. Lett.
75
, 3408
(1999
).13.
A.
Ambrosio
, O.
Fenwick
, F.
Cacialli
, R.
Micheletto
, Y.
Kawakami
, P. G.
Gucciardi
, D. J.
Kang
, and M.
Allegrini
, J. Appl. Phys.
99
, 084303
(2006
).14.
V.
Sandoghdar
and J.
Mlynek
, J. Opt. A, Pure Appl. Opt.
1
, 523
(1999
).15.
L.
Ramoino
, M.
Labardi
, N.
Maghelli
, N.
Maghelli
, L.
Pardi
, M.
Allegrini
, and S.
Patanè
, Rev. Sci. Instrum.
73
, 2051
(2002
).16.
C.
Mihalcea
, W.
Scholz
, S.
Werner
, S.
Münster
, E.
Oesterschulze
, and R.
Kassing
, Appl. Phys. Lett.
68
, 3531
(1996
).17.
E.
Oesterschulze
, O.
Rudow
, C.
Mihalcea
, W.
Scholz
, and S.
Werner
, Ultramicroscopy
71
, 85
(1998
).18.
A.
Vollkopf
, O.
Rudow
, and E.
Oesterschulze
, J. Electrochem. Soc.
148
, G587
(2001
).19.
G.
Georgiev
, M.
Müller-Wiegand
, A.
Georgieva
, K.
Ludolph
, and E.
Oesterschulze
, J. Vac. Sci. Technol. B
21
, 1361
(2003
).20.
M.
Labardi
, M.
Zavelani-Rossi
, D.
Polli
, G.
Cerullo
, M.
Allegrini
, S.
De Silvestri
, and O.
Svelto
, Appl. Phys. Lett.
86
, 031105
(2005
).21.
P.
Biagioni
, D.
Polli
, M.
Labardi
, A.
Pucci
, G.
Ruggeri
, G.
Cerullo
, M.
Finazzi
, and L.
Duò
, Appl. Phys. Lett.
87
, 223112
(2005
);P.
Biagioni
, D.
Polli
, M.
Labardi
, A.
Pucci
, G.
Ruggeri
, G.
Cerullo
, M.
Finazzi
, and L.
Duò
, Appl. Phys. Lett.
88
, 209901
(E) (2006
).22.
T.
Kowalewski
and J.
Legleiter
, J. Appl. Phys.
99
, 064903
(2006
).23.
P. N.
Minh
, T.
Ono
, and M.
Esashi
, Sens. Actuators, A
80
, 163
(2000
).24.
P. N.
Minh
, T.
Ono
, and M.
Esashi
, Rev. Sci. Instrum.
71
, 3111
(2000
).25.
K.
Karrai
and R. D.
Grober
, Appl. Phys. Lett.
66
, 1842
(1995
).26.
E.
Cefalì
, S.
Patanè
, P. G.
Gucciardi
, M.
Labardi
, and M.
Allegrini
, J. Microsc.
210
, 262
(2003
).27.
R.
Garcìa
and R.
Pérez
, Surf. Sci. Rep.
47
, 197
(2002
).28.
29.
K.
Karrai
and I.
Tieman
, Phys. Rev. B
62
, 13174
(2000
).30.
A. S.
Angeloni
, D.
Caretti
, M.
Laus
, E.
Chiellini
, and G.
Galli
, J. Polym. Sci. [A1]
29
, 1865
(1995
).31.
S.
Patanè
, A.
Arena
, M.
Allegrini
, L.
Andreozzi
, M.
Faetti
, and M.
Giordano
, Opt. Commun.
210
, 37
(2002
).32.
V.
Likodimos
,M.
Labardi
, L.
Pardi
, M.
Allegrini
, M.
Giordano
, A.
Arena
, and S.
Patanè
, Appl. Phys. Lett.
82
, 3313
(2003
).33.
S.
Havilsted
, F.
Andruzzi
, C.
Kulinna
, H. W.
Siesler
, and P. S.
Ramanujam
, Macromolecules
28
, 2172
(1995
).34.
K.
Ichimura
, S.
Morino
, and H.
Akiyama
, Appl. Phys. Lett.
73
, 921
(1998
).© 2006 American Institute of Physics.
2006
American Institute of Physics
You do not currently have access to this content.
