We report the growth of highly reflective distributed Bragg reflectors (DBRs) in the UV region using the Al0.85In0.15NAl0.2Ga0.8N lattice-matched system. The DBRs were deposited on nearly strain-free Al0.2Ga0.8N templates to avoid strain-induced structural degradations. The appearance of cracks was then completely suppressed. The DBRs exhibit a reflectivity higher than 99% at a wavelength as short as 340nm and a stop band width of 215meV(20nm).

1.
A.
Chitnis
,
J. P.
Zhang
,
V.
Adivarahan
,
M.
Shatalov
,
S.
Wu
,
R.
Pachipulusu
,
V.
Mandavilli
, and
M. A.
Khan
,
Appl. Phys. Lett.
82
,
2565
(
2003
).
2.
A. J.
Fischer
,
A. A.
Allerman
,
M. H.
Crawford
,
K. H. A.
Bogart
,
S. R.
Lee
,
R. J.
Kaplar
,
W. W.
Chow
,
S. R.
Kurtz
,
K. W.
Fullmer
, and
J. J.
Figiel
,
Appl. Phys. Lett.
84
,
3394
(
2004
).
3.
H.
Peng
,
E.
Makarona
,
Y.
He
,
Y.-K.
Song
,
A. V.
Nurmikko
,
J.
Su
,
Z.
Ren
,
M.
Gherasimova
,
S.-R.
Jeon
,
G.
Cui
, and
J.
Han
,
Appl. Phys. Lett.
85
,
1436
(
2004
).
4.
L.
Wang
,
Y. H.
Liu
,
Y. B.
Lee
,
J. P.
Ao
,
J.
Bai
, and
S.
Sakai
,
Appl. Phys. Lett.
81
,
2508
(
2002
).
5.
E. F.
Schubert
,
Y. H.
Wang
,
A. Y.
Cho
,
L. W.
Tu
, and
G. J.
Zydzik
,
Appl. Phys. Lett.
60
,
921
(
1992
).
6.
M.
Diagne
,
Y.
He
,
H.
Zhou
,
E.
Makarona
,
A. V.
Nurmikko
,
J.
Han
,
K. E.
Waldrip
,
J. J.
Figiel
,
T.
Takeuchi
, and
M.
Krames
,
Appl. Phys. Lett.
79
,
3720
(
2001
).
7.
T.
Someya
,
R.
Werner
,
A.
Forchel
,
M.
Catalano
,
R.
Cingolani
, and
Y.
Arakawa
,
Science
285
,
1905
(
1999
).
8.
I. L.
Krestnikov
,
W. V.
Lundin
,
A. V.
Sakharov
,
V. A.
Semenov
,
A. S.
Usikov
,
A. F.
Tsatsul’nikov
,
Zh. I.
Alferov
,
N. N.
Ledentsov
,
A. F.
Hoffmann
, and
D.
Bimberg
,
Appl. Phys. Lett.
75
,
1192
(
1999
).
9.
C.
Weisbuch
,
M.
Nishioka
,
A.
Ishikawa
, and
Y.
Arakawa
,
Phys. Rev. Lett.
69
,
3314
(
1992
).
10.
R.
Butté
,
E.
Feltin
,
J.
Dorsaz
,
G.
Christmann
,
J.-F.
Carlin
,
N.
Grandjean
, and
M.
Ilegems
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 1
44
,
7207
(
2005
).
11.
A.
Bhattacharyya
,
S.
Iyer
,
E.
Iliopoulos
,
A. V.
Sampath
,
J.
Cabalu
, and
T. D.
Moustakas
,
J. Vac. Sci. Technol. B
20
,
1229
(
2002
).
12.
A.
Hanlon
,
P. M.
Pattison
,
J. F.
Kaeding
,
R.
Sharma
,
P.
Fini
, and
S.
Nakamura
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
42
,
628
(
2003
).
13.
F.
Natali
,
N.
Antoine-Vincent
,
F.
Semond
,
D.
Byrne
,
L.
Hirsch
,
A. S.
Barrière
,
M.
Leroux
,
J.
Massies
, and
J.
Leymarie
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
41
,
1140
(
2002
).
14.
T.
Wang
,
R. J.
Lynch
,
P. J.
Parbrook
,
R.
Butté
,
A.
Alyamani
,
D.
Sanvitto
,
D. M.
Whittaker
, and
M. S.
Skolnick
,
Appl. Phys. Lett.
85
,
43
(
2004
).
15.
J.-F.
Carlin
and
M.
Ilegems
,
Appl. Phys. Lett.
83
,
668
(
2003
).
16.
J.
Dorsaz
,
J.-F.
Carlin
,
S.
Gradecak
, and
M.
Ilegems
,
J. Appl. Phys.
97
,
84505
(
2005
).
17.
E.
Feltin
,
R.
Butté
,
J.-F.
Carlin
,
J.
Dorsaz
,
N.
Grandjean
, and
M.
Ilegems
,
Electron. Lett.
41
,
94
(
2005
).
18.
D.
Brunner
,
H.
Angerer
,
E.
Bustarret
,
F.
Freudenberg
,
R.
Hoepler
,
R.
Dimitrov
,
O.
Ambacher
, and
M.
Stutzmann
,
J. Appl. Phys.
82
,
5090
(
1997
).
19.
J.-F.
Carlin
,
C.
Zellweger
,
J.
Dorsaz
,
S.
Nicolay
,
G.
Christmann
,
E.
Feltin
,
R.
Butté
, and
N.
Grandjean
,
Phys. Status Solidi B
242
,
2326
(
2005
).
20.
H. M.
Ng
,
D.
Doppalapudi
,
E.
Iliopoulos
, and
T. D.
Moustakas
,
Appl. Phys. Lett.
74
,
1036
(
1999
).
21.
H. P. D.
Schenk
,
E.
Feltin
,
P.
Vennéguès
,
O.
Tottereau
,
M.
Laügt
,
M.
Vaille
,
B.
Beaumont
,
P.
de Mierry
,
P.
Gibart
,
S.
Fernández
, and
F.
Calle
,
Phys. Status Solidi A
188
,
899
(
2001
).
22.
E.
Feltin
,
B.
Beaumont
,
M.
Laügt
,
P.
de Mierry
,
P.
Vennéguès
,
H.
Lahrèche
,
M.
Leroux
, and
P.
Gibart
,
Appl. Phys. Lett.
79
,
3230
(
2001
).
23.
A.
Polian
,
M.
Grimsditch
, and
I.
Grzegory
,
J. Appl. Phys.
79
,
3343
(
1996
).
24.
F.
Omnes
,
N.
Marenco
,
B.
Beaumont
,
P.
de Mierry
,
E.
Monroy
,
F.
Calle
, and
E.
Muñoz
,
J. Appl. Phys.
86
,
5286
(
1999
).
You do not currently have access to this content.