The electrical properties of dopants in Si are of primary importance for the realization of electronic devices. Indium represents a promising -type dopant whose electrical properties are improved by codoping with C. From theoretical studies In and C are expected to pair in the Si matrix in order to lower the strain energy. In this contribution we provide the first direct experimental determination of the sites of In and In–C complexes in Si.
REFERENCES
1.
S.
Solmi
, A.
Parisini
, M.
Bersani
, D.
Giubertoni
, V.
Soncini
, G.
Carnevale
, A.
Benvenuti
, and A.
Marmiroli
, J. Appl. Phys.
92
, 1361
(2002
).2.
A.
Onton
, P.
Fisher
, and A. K.
Ramdas
, Phys. Rev.
163
, 686
(1967
).3.
P. B.
Griffin
, M.
Cao
, P. V.
Voorde
, Y.-L.
Chang
, and W. M.
Greene
, Appl. Phys. Lett.
73
, 2986
(1998
).4.
R.
Baron
, M. H.
Young
, J. K.
Neeland
, and O. J.
Marsh
, Appl. Phys. Lett.
30
, 594
(1977
).5.
R.
Baron
, J. P.
Baukus
, S. D.
Allen
, T. C.
McGill
, M. H.
Young
, H.
Kimura
, H. V.
Winston
, and O. J.
Marsh
, Appl. Phys. Lett.
34
, 257
(1979
).6.
H.
Boudinov
, J. P.
de Souza
, and C. K.
Saul
, J. Appl. Phys.
86
, 5909
(1999
).7.
A. L.
Magna
, S.
Scalese
, P.
Alippi
, G.
Mannino
, V.
Privitera
, M.
Bersani
, and C.
Zechner
, Appl. Phys. Lett.
83
, 1956
(2003
).8.
P.
Alippi
, A. L.
Magna
, S.
Scalese
, and V.
Privitera
, Phys. Rev. B
69
, 085213
(2004
).9.
J.
Yamauchi
and N.
Aoki
, Phys. Rev. B
71
, 205205
(2005
).10.
P.
Lee
, P.
Citrin
, P.
Eisenberger
, and B.
Kincaid
, Rev. Mod. Phys.
53
, 769
(1981
).11.
V.
Koteski
, N.
Ivanovic
, H.
Haas
, E.
Holub-Krappe
, and H. E.
Mahnke
, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B
200
, 60
(2003
).12.
F.
d’Acapito
, C.
Maurizio
, and M.
Malvestuto
, Mater. Sci. Eng., B
114/115
, 386
(2004
).13.
F.
d’Acapito
, C.
Maurizio
, F.
Gonella
, E.
Cattaruzza
, G.
Mattei
, C.
Mondelli
, A.
Longo
, and A.
Martorana
, J. Synchrotron Radiat.
11
, 272
(2004
).14.
J. P.
Biersack
and L.
Haggmark
, Nucl. Instrum. Methods
174
, 257
(1980
).15.
S.
Scalese
, M.
Italia
, A. L.
Magna
, G.
Mannino
, V.
Privitera
, M.
Bersani
, D.
Giubertoni
, M.
Barozzi
, S.
Solmi
, and P.
Pichler
, J. Appl. Phys.
93
, 9773
(2003
).16.
F.
d’Acapito
, S.
Colonna
, S.
Pascarelli
, G.
Antonioli
, A.
Balerna
, A.
Bazzini
, F.
Boscherini
, F.
Campolungo
, G.
Chini
, G.
Dalba
, I.
Davoli
, P.
Fornasini
, R.
Graziola
, G.
Licheri
, C.
Meneghini
, F.
Rocca
, L.
Sangiorgio
, V.
Sciarra
, V.
Tullio
, and S.
Mobilio
, ESRF Newsletter
30
, 42
(1998
).17.
S.
Pascarelli
, F.
Boscherini
, F.
d’Acapito
, J.
Hrdy
, C.
Meneghini
, and S.
Mobilio
, J. Synchrotron Radiat.
3
, 147
(1996
).18.
F.
d’Acapito
, I.
Davoli
, P.
Ghigna
, and S.
Mobilio
, J. Synchrotron Radiat.
10
, 260
(2003
).19.
J. J.
Rehr
and R. C.
Albers
, Rev. Mod. Phys.
72
, 621
(2000
).20.
B.
Ravel
and M.
Newville
, J. Synchrotron Radiat.
12
, 537
(2005
).21.
G.
Kresse
and J.
Hafner
, Phys. Rev. B
47
, 558
(1993
).22.
G.
Kresse
and J.
Hafner
, Phys. Rev. B
49
, 14251
(1994
).23.
G.
Kresse
and J.
Furthmuller
, Comput. Mater. Sci.
6
, 15
(1996
).24.
G.
Kresse
and J.
Furthmuller
, Phys. Rev. B
54
, 11169
(1996
).25.
F.
Bechstedt
and W. A.
Harrison
, Phys. Rev. B
39
, 5041
(1989
).26.
J. A. V.
Vechten
and J. C.
Phillips
, Phys. Rev. B
2
, 2160
(1970
).© 2006 American Institute of Physics.
2006
American Institute of Physics
You do not currently have access to this content.
