Forming gas (3%H2+97%N2) anneals result in decomposition of SrRuO3 and increase the leakage current of the SrRuO3/(Ba, Sr)TiO3/SrRuO3 capacitor. However, we show that 0.5% O2 addition to the forming gas (3%H2+0.5%O2+96.5%N2) does not cause degradation of the SrRuO3/(Ba, Sr)TiO3/SrRuO3 capacitor, and can also enhance the performance of the transistor effectively. To correctly study the effect of a forming gas anneal on the SrRuO3/(Ba, Sr)TiO3/SrRuO3 capacitor, efforts should be made to avoid the possible O2 diffusion from air into furnace.

1.
Q. X.
Jia
,
X. D.
Wu
,
S. R.
Foltyn
, and
P.
Tiwari
,
Appl. Phys. Lett.
66
,
2197
(
1995
).
Google Scholar
 
2.
S. Y.
Hou
,
J.
Kwo
,
R. K.
Watts
,
J.-Y.
Cheng
, and
D. K.
Fork
,
Appl. Phys. Lett.
67
,
1387
(
1995
).
Google Scholar
 
3.
L. A.
Wills
and
J.
Amano
,
Mater. Res. Soc. Symp. Proc.
361
,
471
(
1995
).
Google Scholar
 
4.
S. Y.
Hou
,
J.
Kwo
,
R. K.
Watts
,
J.-Y.
Cheng
,
R. J.
Cava
,
W. F.
Peck
, Jr., and
D. K.
Fork
,
Mater. Res. Soc. Symp. Proc.
361
,
99
(
1995
).
Google Scholar
 
5.
C. M.
Foster
,
R.
Csencsits
,
P. M.
Baldo
,
G. R.
Bai
,
Z.
Li
,
L. E.
Rehn
,
L. A.
Wills
,
R.
Hiskes
,
D.
Dimos
, and
M. B.
Sinclair
,
Mater. Res. Soc. Symp. Proc.
361
,
307
(
1995
).
Google Scholar
 
6.
M.
Izuha
,
K.
Abe
,
M.
Koike
,
S.
Takeno
, and
N.
Fukushima
,
Appl. Phys. Lett.
70
,
1405
(
1997
).
Google Scholar
 
7.
M.
Izuha
,
K.
Abe
, and
N.
Fukushima
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 1
36
,
5866
(
1997
).
Google Scholar
 
8.
K. Hieda, K. Eguchi, N. Fukushima, T. Aoyama, K. Natori, M. Kiyotoshi, S. Yamazaki, M. Izuha, S. Niwa, Y. Fukuzumi, Y. Ishibashi, Y. Kohyama, T. Arikado, and K. Okumura, IEDM Tech. Dig., 807 (1998).
9.
J. F.
Scott
,
M.
Azuma
,
A. C.
Paz de Araujo
,
L. D.
Mcmillan
,
M. C.
Scott
, and
Roberts
,
Integr. Ferroelectr.
4
,
61
(
1994
).
Google Scholar
 
10.
J. F.
Scott
,
Integr. Ferroelectr.
9
,
1
(
1995
).
Google Scholar
 
11.
C. S.
Hwang
,
B. T.
Lee
,
S. O.
Park
,
J. W.
Kim
,
H.-J.
Cho
,
C. S.
Kang
,
H.
Horii
,
S. I.
Lee
, and
M. Y.
Lee
,
Integr. Ferroelectr.
13
,
137
(
1996
).
Google Scholar
 
12.
Y.
Shimada
,
Y.
Inone
,
T.
Nasu
,
K.
Arita
,
Y.
Nagano
,
A.
Matsuda
,
Y.
Uemoto
,
E.
Fujii
,
M.
Azuma
,
Y.
Oishi
,
S.
Hayashi
, and
T.
Otsuki
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 1
35
,
140
(
1996
).
Google Scholar
 
13.
G. W.
Dietz
,
M.
Schumacher
,
R.
Waser
,
S. K.
Streiffer
,
C.
Basceri
, and
A. I.
Kingon
,
J. Appl. Phys.
82
,
2359
(
1997
).
Google Scholar
 
14.
S.
Zafar
,
R. E.
Jones
,
B.
Jiang
,
B.
White
,
P.
Chu
,
D.
Tayler
, and
S.
Gillespie
,
Appl. Phys. Lett.
73
,
3533
(
1998
).
Google Scholar
 
15.
C. S.
Wang
,
B. T.
Lee
,
C. S.
Kang
,
J. W.
Kim
,
K. H.
Lee
,
H.-J.
Cho
,
H.
Horri
,
W. D.
Kim
,
S. I.
Lee
,
Y. B.
Roh
, and
M. Y.
Lee
,
J. Appl. Phys.
83
,
3703
(
1998
).
Google Scholar
 
16.
J. M.
Lee
,
S. Y.
Kang
,
J. C.
Shin
,
W. J.
Kim
,
C. S.
Hwang
, and
H. J.
Kim
,
Appl. Phys. Lett.
74
,
3489
(
1999
).
Google Scholar
 
17.
P.-Y.
Lesaicherre
,
S.
Yamamichi
,
K.
Takemura
,
H.
Yamaguchi
,
K.
Tokashiki
,
Y.
Miyasaka
,
M.
Yoshida
, and
H.
Ono
,
Integr. Ferroelectr.
11
,
81
(
1995
).
Google Scholar
 
18.
K.
Kishiro
,
N.
Inoue
,
S. C.
Chen
, and
M.
Yoshimaru
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 1
37
,
1336
(
1998
).
Google Scholar
 
19.
J.
Lin
,
M.
Nakabayasi
,
A.
Tsukune
, and
M.
Yamada
,
Appl. Phys. Lett.
74
,
2370
(
1999
).
Google Scholar
 
20.
K.
Kushida-Abdelghafar
,
H.
Miki
,
K.
Torii
, and
Y.
Fujisaki
,
Appl. Phys. Lett.
69
,
3188
(
1996
).
Google Scholar
 
21.
J.-P.
Han
and
T. P.
Ma
,
Appl. Phys. Lett.
71
,
1267
(
1997
).
Google Scholar
 
22.
Y.
Shimamoto
,
K.
Kushida-Abdelghafar
,
H.
Miki
, and
Y.
Fujisaki
,
Appl. Phys. Lett.
70
,
3096
(
1997
).
Google Scholar
 
23.
S.
Zafar
,
V.
Kaushik
,
P.
Leberge
,
P.
Chu
,
R. E.
Jones
,
R. L.
Hance
,
P.
Zucher
,
B. E.
White
,
D.
Taylor
,
B.
Melnick
, and
S.
Gillespie
,
J. Appl. Phys.
82
,
4469
(
1997
).
Google Scholar
 
24.
T.
Hase
,
T.
Noguchi
, and
Y.
Miyasaka
,
Integr. Ferroelectr.
6
,
81
(
1997
).
Google Scholar
 
25.
N.
Ikarashi
,
Appl. Phys. Lett.
73
,
1955
(
1998
).
Google Scholar
 
26.
S.
Aggarwal
,
S. R.
Perusse
,
C. W.
Tipton
,
R.
Ramesh
,
H. D.
Drew
,
T.
Venkatesan
,
D. B.
Romero
,
V. B.
Podobedov
, and
A.
Weber
,
Appl. Phys. Lett.
73
,
1973
(
1998
).
Google Scholar
 
This content is only available via PDF.
© 2000 American Institute of Physics.
2000
American Institute of Physics
You do not currently have access to this content.