We use Raman scattering to obtain a stress map of lateral epitaxy overgrown GaN. Isolated hexagonal islands are grown by selective area overgrowth without a seed layer. Stress mapping is obtained from shifts in the phonon. GaN in the aperture area has the greatest biaxial compressive stress, ≈0.18 GPa. The overgrowth region is under slightly smaller stress, about 0.15 GPa. We attribute marked variations in the phonon intensity to spatial variations in the free carrier concentration. This is found to be small in the aperture region and high in the lateral overgrowth. The position-dependent presence of the lower coupled plasmon–phonon band is consistent with this interpretation.
REFERENCES
1.
J. I. Pankove and T. D. Moustakas, Semiconductors and Semimetals, edited by J. I. Pankove and T. D. Moustakas (Academic, San Diego, 1998), Vol. 50, p. 9.
2.
F. A.
Ponce
, D. P.
Bour
, W.
Götz
, and P. J.
Wright
, Appl. Phys. Lett.
68
, 57
(1996
).3.
N.
Grandjean
, J.
Massies
, P.
Vennéguès
, M.
Leroux
, F.
Demangeot
, M.
Renucci
, and J.
Frandon
, J. Appl. Phys.
83
, 1379
(1998
).4.
A.
Usui
, H.
Sunakawa
, A.
Sakai
, and A. A.
Yamaguchi
, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
36
, L899
(1997
).5.
O.-H.
Nam
, M. D.
Bremser
, T. S.
Zheleva
, and R. F.
Davis
, Appl. Phys. Lett.
71
, 2638
(1997
).6.
W. D.
Herzog
, R.
Singh
, B. B.
Goldberg
, T. D.
Moustakas
, F. P.
Dabkowski
, and M. S.
Unlu
, Electron. Lett.
34
, 1970
(1998
).7.
C.
Kisielowski
, J.
Krüger
, S.
Ruminov
, T.
Suski
, J. W.
Ager
III, E.
Jones
, Z.
Liliental-Weber
, M.
Rubin
, E. R.
Weber
, M. D.
Bremser
, and R. F.
Davis
, Phys. Rev. B
54
, 17745
(1996
).8.
N. V.
Edwards
, S. D.
Yoo
, M. D.
Bremser
, T. W.
Weeks
, Jr., O. H.
Nam
, H.
Liu
, R. A.
Stall
, M. N.
Horton
, N. R.
Perkins
, T. F.
Kuech
, and D. E.
Aspnes
, Appl. Phys. Lett.
70
, 2001
(1997
).9.
H.
Siegle
, P.
Thurian
, L.
Eckey
, A.
Hoffmann
, C.
Thomsen
, B. K.
Meyer
, H.
Amano
, I.
Akasaki
, T.
Detchprohm
, and K.
Hiramatsu
, Appl. Phys. Lett.
68
, 1265
(1996
).10.
H.
Siegle
, A.
Hoffmann
, L.
Eckey
, C.
Thomsen
, J.
Christen
, F.
Bertram
, D.
Schmidt
, D.
Rudloff
, and K.
Hiramatsu
, Appl. Phys. Lett.
71
, 2490
(1997
).11.
F.
Bertram
, T.
Riemann
, J.
Christen
, A.
Kaschner
, A.
Hoffmann
, C.
Thomsen
, K.
Hiramatsu
, T.
Shibata
, and N.
Sawaki
, Appl. Phys. Lett.
74
, 359
(1999
).12.
M.
Holtz
, M.
Seon
, O.
Brafman
, R.
Manor
, and D.
Fekete
, Phys. Rev. B
54
, 8714
(1996
).13.
M.
Holtz
, J. C.
Carty
, and W.
Duncan
, Appl. Phys. Lett.
74
, 2008
(1999
).14.
T.
Kozawa
, T.
Kachi
, H.
Kano
, Y.
Taga
, M.
Hashimoto
, N.
Koide
, and K.
Manabe
, J. Appl. Phys.
75
, 1098
(1994
).15.
P.
Perlin
, J.
Camassel
, W.
Knap
, T.
Taliercio
, J. C.
Chervin
, T.
Suski
, I.
Grzegory
, and S.
Porowski
, Appl. Phys. Lett.
67
, 2524
(1995
).16.
F.
Demangeot
, J.
Frandon
, M. A.
Renucci
, C.
Meny
, O.
Briot
, and R. L.
Aulombard
, J. Appl. Phys.
82
, 1305
(1997
).17.
J. I. Pankove, in Non-Stoichiometry in Semiconductors, edited by K. J. Bachmann, H.-L. Hwang, and C. Schwab (Elsevier, New York, 1992), p. 143.
18.
A.
Kaschner
, A.
Hoffmann
, C.
Thomsen
, F.
Bertram
, T.
Riemann
, J.
Christen
, K.
Hiramatsu
, T.
Shibata
, and N.
Sawaki
, Appl. Phys. Lett.
74
, 3320
(1999
).19.
J. A.
Freitas
, Jr., O. H.
Nam
, T. S.
Zheleva
, and R. F.
Davis
, J. Cryst. Growth
189/190
, 92
(1998
).20.
N. G.
Weimann
, L. F.
Eastman
, D.
Doppalapudi
, H. M.
Ng
, and T. D.
Moustakas
, J. Appl. Phys.
83
, 3656
(1998
).21.
J. A.
Freitas
, Jr., O.-H.
Nam
, R. F.
Davis
, G. V.
Saparin
, and S. K.
Obyden
, Appl. Phys. Lett.
72
, 2990
(1998
).22.
T.
Kozawa
, T.
Kachi
, H.
Kano
, H.
Nagase
, N.
Koide
, and K.
Manabe
, J. Appl. Phys.
77
, 4389
(1995
).23.
I.-H.
Lee
, I.-H.
Choi
, C.-R.
Lee
, E.-J.
Shin
, D.
Kim
, S. K.
Noh
, S.-J.
Son
, K. Y.
Lim
, and H. J.
Lee
, J. Appl. Phys.
83
, 5787
(1998
).
This content is only available via PDF.
© 1999 American Institute of Physics.
1999
American Institute of Physics
You do not currently have access to this content.