We have demonstrated the 1.5 μm electroluminescence from implanted Er ions inside the insulator of a silicon metal-oxide-semiconductor structure under forward bias. The Er ions are excited by the direct impact from electrons tunneling through the oxide at electric fields larger than 6 MV/cm. Under these conditions, we measured an excitation cross-section of and a lifetime of the excited level of 1.5 ms.
REFERENCES
1.
H.
Ennen
, G.
Pomrenke
, A.
Axmann
, K.
Eisele
, W.
Haydl
, and J.
Schneider
, Appl. Phys. Lett.
46
, 381
(1985
).2.
B.
Zheng
, J.
Michel
, F. Y. G.
Ren
, L. C.
Kimerling
, D. C.
Jacobson
, and J. M.
Poate
, Appl. Phys. Lett.
64
, 2842
(1994
).3.
S.
Coffa
, F.
Priolo
, G.
Franzò
, V.
Bellani
, A.
Carnera
, and C.
Spinella
, Phys. Rev. B
48
, 11
782
(1993
).4.
S.
Coffa
, G.
Franzò
, F.
Priolo
, A.
Polman
, and R.
Serna
, Phys. Rev. B
49
, 16
313
(1994
). 5.
G.
Franzò
, F.
Priolo
, S.
Coffa
, A.
Polman
, and A.
Carnera
, Appl. Phys. Lett.
64
, 2235
(1994
).6.
S.
Coffa
, G.
Franzò
, and F.
Priolo
, Appl. Phys. Lett.
69
, 2077
(1996
).7.
G.
Franzò
, S.
Coffa
, F.
Priolo
, and C.
Spinella
, J. Appl. Phys.
81
, 1
(1997
).8.
J.
Stimmer
, A.
Reittinger
, J. F.
Nützel
, G.
Abstreiter
, H.
Holzbrecher
, and Ch.
Buchal
, Appl. Phys. Lett.
68
, 3290
(1996
).9.
P. N.
Favennec
, H.
L’Haridon
, D.
Moutonnet
, M.
Salvi
, and M.
Gauneau
, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2
29
, L524
(1990
).10.
J.
Michel
, J. L.
Benton
, R. F.
Ferrante
, D. C.
Jacobson
, D. J.
Eaglesham
, E. A.
Fitzgerald
, Y.-H.
Xie
, J. M.
Poate
, and L. C.
Kimerling
, J. Appl. Phys.
70
, 2672
(1991
).11.
D. L.
Adler
, D. C.
Jacobson
, D. J.
Eaglesham
, M. A.
Marcus
, J. L.
Benton
, J. M.
Poate
, and P. H.
Citrin
, Appl. Phys. Lett.
61
, 2181
(1992
).12.
J. H.
Shin
, G. N.
van den Hoven
, and A.
Polman
, Appl. Phys. Lett.
67
, 377
(1995
).13.
F.
Priolo
, G.
Franzò
, S.
Coffa
, A.
Polman
, S.
Libertino
, R.
Barklie
, and D.
Carey
, J. Appl. Phys.
78
, 3874
(1995
).14.
Rare Earth Doped Fiber Lasers and Amplifiers, edited by M. J. F. Digonnet (Dekker, New York, 1993).
15.
S.
Lombardo
, S. U.
Campisano
, G. N.
van den Hoven
, and A.
Polman
, J. Appl. Phys.
77
, 6504
(1995
).
This content is only available via PDF.
© 1997 American Institute of Physics.
1997
American Institute of Physics
You do not currently have access to this content.