AlGaN LEDs emitting < 230 nm UV light were fabricated on sapphire substrates. We employed a quantum well (QW) with an extremely thin barrier to enhance the quantum confinement of holes, wherein the calculation showed that the topmost valence subband became X±iY-like and increased the transverse-electric polarized emission. Additionally, we modified the Al composition of the spacer layer situated between the QW and an electron-blocking layer, which significantly improved the current-injection efficiency. The combination and optimization of these structures produced an LED emission of 228-nm UV light with an output power of 1.4 mW at 150 mA.

1.
K.
Narita
,
K.
Asano
,
K.
Naito
,
H.
Ohashi
,
M.
Sasaki
,
Y.
Morimoto
,
T.
Igarashi
, and
A.
Nakane
,
J. Hosp. Infect.
105
(
3
),
459
(
2020
).
2.
W.
Taylor
,
E.
Camilleri
,
D. L.
Craft
,
G.
Korza
,
M. R.
Granados
,
J.
Peterson
,
R.
Szczpaniak
,
S. K.
Weller
,
R.
Moeller
,
T.
Douki
,
W. W. K.
Mok
, and
P.
Setlow
,
Appl. Environ. Microbiol.
86
(
8
),
e03039-19
(
2020
).
3.
D.
Welch
,
M.
Buonanno
,
V.
Grilj
,
I.
Shuryak
,
C.
Crickmore
,
A. W.
Bigelow
,
G.
Randers-Pehrson
,
G. W.
Johnson
, and
D. J.
Brenner
,
Sci. Rep.
8
(
1
),
2752
(
2018
).
4.
M.
Buonanno
,
D.
Welch
,
I.
Shuryak
, and
D. J.
Brenner
,
Sci. Rep.
10
(
1
),
10285
(
2020
).
5.
H.
Kitagawa
,
T.
Nomura
,
T.
Nazmul
,
K.
Omori
,
N.
Shigemoto
,
T.
Sakaguchi
, and
H.
Ohge
,
Am. J. Infect. Control
49
(
3
),
299
(
2021
).
6.
H.
Shimoda
,
J.
Matsuda
,
T.
Iwasaki
, and
D.
Hayasaka
,
J. Photochem. Photobiol.
7
,
100050
(
2021
).
7.
T.
Fukui
,
T.
Niikura
,
T.
Oda
,
Y.
Kumabe
,
H.
Ohashi
,
M.
Sasaki
,
T.
Igarashi
,
M.
Kunisada
,
N.
Yamano
,
K.
Oe
,
T.
Matsumoto
,
T.
Matsushita
,
S.
Hayashi
,
C.
Nishigori
, and
R.
Kuroda
,
PLoS One
15
,
e0235948
(
2020
).
8.
N.
Yamano
,
M.
Kunisada
,
S.
Kaidzu
,
K.
Sugihara
,
A.
Nishiaki-Sawada
,
H.
Ohashi
,
A.
Yoshioka
,
T.
Igarashi
,
A.
Ohira
,
M.
Tanito
, and
C.
Nishigori
,
Photochem. Photobiol.
96
(
4
),
853
(
2020
).
9.
S.
Kaidzu
,
K.
Sugihara
,
M.
Sasaki
,
A.
Nishiaki
,
T.
Igarashi
, and
M.
Tanito
,
Free Radical Res.
53
(
6
),
611
(
2019
).
10.
H.
Hirayama
,
N.
Maeda
,
S.
Fujikawa
,
S.
Toyoda
, and
N.
Kamata
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 1
53
(
10
),
100209
(
2014
).
11.
Y.
Nagasawa
and
A.
Hirano
,
Appl. Sci.
8
(
8
),
1264
(
2018
).
12.
H.
Amano
,
R.
Collazo
,
C.
De Santi
,
S.
Einfeldt
,
M.
Funato
,
J.
Glaab
,
S.
Hagedorn
,
A.
Hirano
,
H.
Hirayama
,
R.
Ishii
,
Y.
Kashima
,
Y.
Kawakami
,
R.
Kirste
,
M.
Kneissl
,
R.
Martin
,
F.
Mehnke
,
M.
Meneghini
,
A.
Ougazzaden
,
P. J.
Parbrook
,
S.
Rajan
,
P.
Reddy
,
F.
Römer
,
J.
Ruschel
,
B.
Sarkar
,
F.
Scholz
,
L. J.
Schowalter
,
P.
Shields
,
Z.
Sitar
,
L.
Sulmoni
,
T.
Wang
,
T.
Wernicke
,
M.
Weyers
,
B.
Witzigmann
,
Y.-R.
Wu
,
T.
Wunderer
, and
Y.
Zhang
,
J. Phys. D
53
(
50
),
503001
(
2020
).
13.
C.
Pernot
,
M.
Kim
,
S.
Fukahori
,
T.
Inazu
,
T.
Fujita
,
Y.
Nagasawa
,
A.
Hirano
,
M.
Ippommatsu
,
M.
Iwaya
,
S.
Kamiyama
,
I.
Akasaki
, and
H.
Amano
,
Appl. Phys. Express
3
(
6
),
061004
(
2010
).
14.
M.
Shatalov
,
W.
Sun
,
A.
Lunev
,
X.
Hu
,
A.
Dobrinsky
,
Y.
Bilenko
,
J.
Yang
,
M.
Shur
,
R.
Gaska
,
C.
Moe
,
G.
Garrett
, and
M.
Wraback
,
Appl. Phys. Express
5
(
8
),
082101
(
2012
).
15.
J.
Grandusky
,
J.
Chen
,
S. R.
Gibb
,
M. C.
Mendrick
,
C. G.
Moe
,
L.
Rodak
,
G. A.
Garrett
,
M.
Wraback
, and
L. J.
Schowalter
,
Appl. Phys. Express
6
,
032101
(
2013
).
16.
T.
Kinoshita
,
T.
Obata
,
T.
Nagashima
,
H.
Yanagi
,
B.
Moody
,
S.
Mita
,
S.
Inoue
,
Y.
Kumagai
,
A.
Koukitu
, and
Z.
Sitar
,
Appl. Phys. Express
6
(
9
),
092103
(
2013
).
17.
A.
Fujioka
,
T.
Misaki
,
T.
Murayama
,
Y.
Narukawa
, and
T.
Mukai
,
Appl. Phys. Express
3
(
4
),
041001
(
2010
).
18.
Y.
Taniyasu
,
M.
Kasu
, and
T.
Makimoto
,
Nature
441
(
7091
),
325
(
2006
).
19.
C. G.
Moe
,
S.
Sugiyama
,
J.
Kasai
,
J. R.
Grandusky
, and
L. J.
Schowalter
,
Phys. Status Solidi A
215
(
10
),
1700660
(
2018
).
20.
H.
Hirayama
,
N.
Noguchi
,
T.
Yatabe
, and
N.
Kamata
,
Appl. Phys. Express
1
,
051101
(
2008
).
21.
H.
Hirayama
,
N.
Noguchi
, and
N.
Kamata
,
Appl. Phys. Express
3
,
032102
(
2010
).
22.
D.
Liu
,
S. J.
Cho
,
J.
Park
,
J. H.
Seo
,
R.
Dalmau
,
D.
Zhao
,
K.
Kim
,
J.
Gong
,
M.
Kim
,
I. K.
Lee
,
J. D.
Albrecht
,
W.
Zhou
,
B.
Moody
, and
Z.
Ma
,
Appl. Phys. Lett.
112
(
8
),
081101
(
2018
).
23.
A.
Yoshikawa
,
R.
Hasegawa
,
T.
Morishita
,
K.
Nagase
,
S.
Yamada
,
J.
Grandusky
,
J.
Mann
,
A.
Miller
, and
L. J.
Schowalter
,
Appl. Phys. Express
13
(
2
),
022001
(
2020
).
24.
N.
Lobo-Ploch
,
F.
Mehnke
,
L.
Sulmoni
,
H. K.
Cho
,
M.
Guttmann
,
J.
Glaab
,
K.
Hilbrich
,
T.
Wernicke
,
S.
Einfeldt
, and
M.
Kneissl
,
Appl. Phys. Lett.
117
(
11
),
111102
(
2020
).
25.
R. G.
Banal
,
M.
Funato
, and
Y.
Kawakami
,
Phys. Rev. B
79
(
12
),
121308
(
2009
).
26.
C.
Reich
,
M.
Guttmann
,
M.
Feneberg
,
T.
Wernicke
,
F.
Mehnke
,
C.
Kuhn
,
J.
Rass
,
M.
Lapeyrade
,
S.
Einfeldt
,
A.
Knauer
,
V.
Kueller
,
M.
Weyers
,
R.
Goldhahn
, and
M.
Kneissl
,
Appl. Phys. Lett.
107
(
14
),
142101
(
2015
).
27.
S.-H.
Park
and
J.-I.
Shim
,
Appl. Phys. Lett.
102
(
22
),
221109
(
2013
).
28.
See https://www.nextnano.de/ for “the software details.”
29.
C. H.
Wang
,
S. P.
Chang
,
P. H.
Ku
,
J. C.
Li
,
Y. P.
Lan
,
C. C.
Lin
,
H. C.
Yang
,
H. C.
Kuo
,
T. C.
Lu
,
S. C.
Wang
, and
C. Y.
Chang
,
Appl. Phys. Lett.
99
(
17
),
171106
(
2011
).
30.
B.-C.
Lin
,
K.-J.
Chen
,
C.-H.
Wang
,
C.-H.
Chiu
,
Y.-P.
Lan
,
C.-C.
Lin
,
P.-T.
Lee
,
M.-H.
Shih
,
Y.-K.
Kuo
, and
H.-C.
Kuo
,
Opt. Express
22
(
1
),
463
(
2014
).
31.
C. S.
Xia
,
Y.
Sheng
, and
Z. M. S.
Li
,
Opt. Quantum Electron.
48
(
11
),
509
(
2016
).
32.
L.
Cheng
,
S.
Wu
,
H.
Chen
,
D.
Gong
, and
Y.
Wei
,
J. Disp. Technol.
11
(
9
),
753
(
2015
).
33.
Z.
Liu
,
H.
Yu
,
Z.
Ren
,
J.
Dai
,
C.
Chen
, and
H.
Sun
,
Semicond. Sci. Technol.
35
(
7
),
075021
(
2020
).
34.
Z.
Kyaw
,
Z.-H.
Zhang
,
W.
Liu
,
S.
Tiam Tan
,
Z.
Gang Ju
,
X.
Liang Zhang
,
Y.
Ji
,
N.
Hasanov
,
B.
Zhu
,
S.
Lu
,
Y.
Zhang
,
J.
Hua Teng
,
S.
Xiao Wei
, and
H.
Volkan Demir
,
Appl. Phys. Lett.
104
(
16
),
161113
(
2014
).
35.
L.
He
,
W.
Zhao
,
K.
Zhang
,
C.
He
,
H.
Wu
,
N.
Liu
,
W.
Song
,
Z.
Chen
, and
S.
Li
,
Opt. Lett.
43
(
3
),
515
(
2018
).
36.
L.
He
,
W.
Zhao
,
K.
Zhang
,
C.
He
,
H.
Wu
,
X.
Liu
,
X.
Luo
,
S.
Li
, and
Z.
Chen
,
Appl. Phys. Express
12
(
6
),
062013
(
2019
).
37.
X.
Bao
,
P.
Sun
,
S.
Liu
,
C.
Ye
,
S.
Li
, and
J.
Kang
,
IEEE Photonics J.
7
(
1
),
1400110
(
2015
).
38.
J.
Chang
,
D.
Chen
,
J.
Xue
,
K.
Dong
,
B.
Liu
,
H.
Lu
,
R.
Zhang
, and
Y.
Zheng
,
IEEE Photonics J.
8
(
1
),
1600207
(
2016
).
39.
Q.
Chen
,
J.
Zhang
,
Y.
Gao
,
J.
Chen
,
H.
Long
,
J.
Dai
,
Z. H.
Zhang
, and
C.
Chen
,
IEEE Photonics J.
10
(
4
),
8201007
(
2018
).
40.
R. T.
Velpula
,
B.
Jain
,
H. Q. T.
Bui
,
F. M.
Shakiba
,
J.
Jude
,
M.
Tumuna
,
H.-D.
Nguyen
,
T. R.
Lenka
, and
H. P. T.
Nguyen
,
Appl. Opt.
59
,
5276
(
2020
).
41.
H.
Yu
,
Z.
Ren
,
H.
Zhang
,
J.
Dai
,
C.
Chen
,
S.
Long
, and
H.
Sun
,
Opt. Express
27
(
20
),
A1544
(
2019
).
42.
C.
Chu
,
D.
Zhang
,
H.
Shao
,
J.
Che
,
K.
Tian
,
Y.
Zhang
, and
Z.-H.
Zhang
,
Opt. Mater. Express
11
(
6
),
1713
(
2021
).
43.
J.
Yan
,
J.
Wang
,
P.
Cong
,
L.
Sun
,
N.
Liu
,
Z.
Liu
,
C.
Zhao
, and
J.
Li
,
Phys. Status Solidi C
8
(
2
),
461
(
2011
).
44.
C. G.
Moe
,
M. C.
Schmidt
,
H.
Masui
,
A.
Chakraborty
,
K.
Vampola
,
S.
Newman
,
B.
Moran
,
L.
Shen
,
T.
Mates
,
S.
Keller
,
S.
Denbaars
, and
D.
Emerson
,
J. Electron. Mater.
35
,
750
(
2006
).
You do not currently have access to this content.