An in-situ X-ray topography system using monochromatic synchrotron radiation for the observation of the stacking faults in 4H-SiC during a high-temperature annealing process was developed. We demonstrated that the stacking faults in nitrogen-doped 4H-SiC not only expand but also shrink at high temperatures. Furthermore, it was confirmed that the types of the core structure of partial dislocations enclosing the stacking fault can be determined at high temperatures.

1.
H.
Okumura
,
Jpn. J. Appl. Phys. Part 1
45
,
7565
(
2006
).
2.
T.
Nakamura
,
M.
Aketa
,
Y.
Nakano
,
H.
Otake
,
T.
Otsuka
, and
T.
Hanada
,
ECS Trans.
50
,
39
(
2013
).
3.
N.
Ohtani
,
M.
Katsuno
,
M.
Nakabayashi
,
T.
Fujimoto
,
H.
Tsuge
,
H.
Tashiro
,
T.
Aigo
,
H.
Hirano
,
T.
Hoshino
, and
K.
Tatsumi
,
J. Cryst. Growth
311
,
1475
(
2009
).
4.
T.
Kato
,
T.
Miura
,
K.
Wada
,
E.
Hozumi
,
H.
Taniguchi
,
S.
Nishizawa
, and
K.
Arai
,
Mater. Sci. Forum
556–557
,
239
(
2007
).
5.
H.-J.
Rost
,
J.
Doerschel
,
K.
Irmscher
,
D.
Schulz
, and
D.
Siche
,
J. Cryst. Growth
257
,
75
(
2003
).
6.
K.
Kusunoki
,
K.
Kamei
,
K.
Seki
,
S.
Harada
, and
T.
Ujihara
,
J. Cryst. Growth
392
,
60
(
2014
).
7.
J. Q.
Liu
,
H. J.
Chung
,
T. A.
Kuhr
,
Q.
Li
, and
M.
Skowronski
,
Appl. Phys. Lett.
80
,
2111
(
2002
).
8.
J.
Takahashi
,
N.
Ohtani
,
M.
Katsuno
, and
S.
Shinoyama
,
J. Cryst. Growth
181
,
229
(
1997
).
9.
Y.
Tokuda
,
I.
Kamata
,
N.
Hoshino
,
T.
Kato
,
H.
Okumura
,
T.
Kimoto
, and
H.
Tsuchida
,
J. Cryst. Growth
468
,
889
(
2017
).
10.
G.
Regula
and
E. B.
Yakimov
,
Superlattices Microstruct.
99
,
226
(
2016
).
11.
H.
Idrissi
,
B.
Pichaud
,
G.
Regula
, and
M.
Lancin
,
J. Appl. Phys.
101
,
113533
(
2007
).
12.
M.
Lancin
,
M.
Texier
,
G.
Regula
, and
B.
Pichaud
,
Philos. Mag.
89
,
1251
(
2009
).
13.
Y.
Yang
,
J.
Guo
,
O.
Goue
,
B.
Raghothamachar
,
M.
Dudley
,
G.
Chung
,
E.
Sanchez
,
J.
Quast
,
I.
Manning
, and
D.
Hansen
,
J. Cryst. Growth
452
,
35
(
2016
).
14.
H. J.
Chung
,
J. Q.
Liu
, and
M.
Skowronski
,
Appl. Phys. Lett.
81
,
3759
(
2002
).
15.
K.
Irmscher
,
M.
Albrecht
,
M.
Rossberg
,
H.-J.
Rost
,
D.
Siche
, and
G.
Wagner
,
Physica B
376–377
,
338
(
2006
).
16.
T. A.
Kuhr
,
J.
Liu
,
H. J.
Chung
,
M.
Skowronski
, and
F.
Szmulowicz
,
J. Appl. Phys.
92
,
5863
(
2002
).
17.
W. R. L.
Lambrecht
and
M. S.
Miao
,
Phys. Rev. B
73
,
155312
(
2006
).
18.
C.
Taniguchi
,
A.
Ichimura
,
N.
Ohtani
,
M.
Katsuno
,
T.
Fujimoto
,
S.
Sato
,
H.
Tsuge
, and
T.
Yano
,
J. Appl. Phys.
119
,
145704
(
2016
).
19.
T.
Straubinger
,
R. L.
Woodin
,
T.
Witt
,
J.
Shovlin
,
G.
Dolny
,
P.
Sasahara
,
E.
Schmitt
,
A.-D.
Weber
,
J. B.
Casady
, and
J. R. B.
Casady
,
Mater. Sci. Forum
645–648
,
223
(
2010
).
20.
K.
Sumino
and
H.
Harada
,
Philos. Mag. A
44
,
1319
(
1981
).
21.
M.
Imai
and
K.
Sumino
,
Philos. Mag. A
47
,
599
(
1983
).
22.
K.
Sumino
and
M.
Imai
,
Philos. Mag. A
47
,
753
(
1983
).
23.
C. R.
Whitehouse
,
S. S. J.
Barnett
,
D. E. J.
Soley
,
J.
Quarrell
,
S. J.
Aldridge
,
A. G.
Cullis
,
M. T.
Emeny
,
A. D.
Johnson
,
G. F.
Clarke
,
W.
Lamb
,
B. K.
Tanner
,
S.
Cottrell
,
B.
Lunn
,
C.
Hogg
, and
W.
Hagston
,
Rev. Sci. Instrum.
63
,
634
(
1992
).
24.
C. R.
Whitehouse
,
A. G.
Cullis
,
S. J.
Barnett
,
B. F.
Usher
,
G. F.
Clark
,
A. M.
Keir
,
B. K.
Tanner
,
B.
Lunn
,
J. C. H.
Hogg
,
A. D.
Johnson
,
G.
Lacey
,
W.
Spirkl
,
W. E.
Hagston
,
J. H.
Jefferson
,
P.
Ashu
,
G. W.
Smith
, and
T.
Martin
,
J. Cryst. Growth
150
,
85
(
1995
).
25.
B. K.
Tanner
,
P. J.
Parbrook
,
C. R.
Whitehouse
,
A. M.
Keir
,
A. D.
Johnson
,
J.
Jones
,
D.
Wallis
,
L. M.
Smith
,
B.
Lunn
, and
J. H. C.
Hogg
,
Appl. Phys. Lett.
77
,
2156
(
2000
).
26.
H.
Yamaguchi
,
S.
Nishizawa
,
T.
Kato
,
N.
Oyanagi
,
W.
Bahng
,
S.
Yoshida
,
K.
Arai
,
Y.
Machitani
, and
T.
Kikuchi
,
Rev. Sci. Instrum.
71
,
2829
(
2000
).
27.
T.
Kato
,
N.
Oyanagi
,
H.
Yamaguchi
,
S.
Nishizawa
,
M. N.
Khan
,
Y.
Kitou
, and
K.
Arai
,
J. Cryst. Growth
222
,
579
(
2001
).
28.
Y.
Yang
,
J.
Guo
,
O. Y.
Goue
,
H.
Wang
,
F.
Wu
,
B.
Raghothamachar
,
M.
Dudley
,
G.
Chung
,
J.
Quast
,
E.
Sanchez
,
I.
Manning
, and
D.
Hansen
,
ECS Trans.
69
,
39
(
2015
).
29.
H.
Matsuhata
,
H.
Yamaguchi
,
T.
Yamashita
,
T.
Tanaka
,
B.
Chen
, and
T.
Sekiguchi
,
Philos. Mag.
94
,
1674
(
2014
).
30.
X. R.
Huang
,
D. R.
Black
,
A. T.
Macrander
,
J.
Maj
,
Y.
Chen
, and
M.
Dudley
,
Appl. Phys. Lett.
91
,
231903
(
2007
).
31.
M. S.
Miao
,
S.
Limpijumnong
, and
W. R. L.
Lambrecht
,
Appl. Phys. Lett.
79
,
4360
(
2001
).
You do not currently have access to this content.