Scanning X-ray micro-diffraction has been used as a non-destructive probe of the local crystalline quality of a thin suspended germanium (Ge) membrane. A series of reciprocal space maps were obtained with ∼4 μm spatial resolution, from which detailed information on the strain distribution, thickness, and crystalline tilt of the membrane was obtained. We are able to detect a systematic strain variation across the membranes, but show that this is negligible in the context of using the membranes as platforms for further growth. In addition, we show evidence that the interface and surface quality is improved by suspending the Ge.

1.
R.
Pillarisetty
,
Nature
479
(
7373
),
324
(
2011
).
2.
C.
Shen
,
T.
Trypiniotis
,
K. Y.
Lee
,
S. N.
Holmes
,
R.
Mansell
,
M.
Husain
,
V.
Shah
,
X. V.
Li
,
H.
Kurebayashi
,
I.
Farrer
,
C. H.
De Groot
,
D. R.
Leadley
,
G.
Bell
,
E. H. C.
Parker
,
T.
Whall
,
D. A.
Ritchie
, and
C. H. W.
Barnes
,
Appl. Phys. Lett.
97
(
16
),
162104
(
2010
).
3.
J.
Michel
,
J.
Liu
, and
L. C.
Kimerling
,
Nat. Photonics
4
(
8
),
527
(
2010
).
4.
J.
Liu
,
X.
Sun
,
R.
Camacho-Aguilera
,
L. C.
Kimerling
, and
J.
Michel
,
Opt. Lett.
35
(
5
),
679
(
2010
).
5.
V. A.
Shah
,
A.
Dobbie
,
M.
Myronov
,
D. J. F.
Fulgoni
,
L. J.
Nash
, and
D. R.
Leadley
,
Appl. Phys. Lett.
93
(
19
),
192103
(
2008
).
6.
V. A.
Shah
,
A.
Dobbie
,
M.
Myronov
, and
D. R.
Leadley
,
Thin Solid Films
520
(
8
),
3227
(
2012
).
7.
V. A.
Shah
,
A.
Dobbie
,
M.
Myronov
, and
D. R.
Leadley
,
Thin Solid Films
519
(
22
),
7911
(
2011
).
8.
J. M.
Hartmann
,
A.
Abbadie
,
A. M.
Papon
,
P.
Holliger
,
G.
Rolland
,
T.
Billon
,
J. M.
Fédéli
,
M.
Rouvière
,
L.
Vivien
, and
S.
Laval
,
J. Appl. Phys.
95
(
10
),
5905
(
2004
).
9.
H.-C.
Luan
,
D. R.
Lim
,
K. K.
Lee
,
K. M.
Chen
,
J. G.
Sandland
,
K.
Wada
, and
L. C.
Kimerling
,
Appl. Phys. Lett.
75
(
19
),
2909
(
1999
).
10.
J.
Hess
,
J.
Schreiber
,
S.
Hildebrandt
, and
R.
Labusch
,
Phys. Status Solidi B
172
(
1
),
225
(
1992
).
11.
S. A.
Shevchenko
,
J. Exp. Theor. Phys.
88
(
1
),
66
(
1999
).
12.
T. A.
Langdo
,
M. T.
Currie
,
Z. Y.
Cheng
,
J. G.
Fiorenza
,
M.
Erdtmann
,
G.
Braithwaite
,
C. W.
Leitz
,
C. J.
Vineis
,
J. A.
Carlin
,
A.
Lochtefeld
,
M. T.
Bulsara
,
I.
Lauer
,
D. A.
Antoniadis
, and
M.
Somerville
,
Solid-State Electron.
48
(
8
),
1357
(
2004
).
13.
V. A.
Shah
,
M.
Myronov
,
C.
Wongwanitwatana
,
L.
Bawden
,
M. J.
Prest
,
J. S.
Richardson-Bullock
,
S.
Rhead
,
E. H. C.
Parker
,
T. E.
Whall
, and
D. R.
Leadley
,
Sci. Technol. Adv. Mater.
13
(
5
),
055002
(
2012
).
14.
J. R.
Haynes
and
W.
Shockley
,
Phys. Rev.
75
(
4
),
691
(
1949
).
15.
G. K.
Teal
,
IEEE Trans. Electron Devices
23
(
7
),
621
(
1976
).
16.
H. R.
Huff
,
AIP Conf. Proc.
683
(
1
),
3
(
2003
).
17.
T.
Tritt
,
Thermal Conductivity: Theory, Properties and Applications
(
Springer
,
Clemson, South Carolina
,
2004
).
18.
B.
Bhushan
,
Handbook of Nanotechnology
(
Springer
,
2007
).
19.
W. O.
Davis
,
R.
Sprague
,
J.
Miller
, and
IEEE
,
MEMS-Based Pico Projector Display
(
IEEE
,
New York
,
2008
).
20.
G.
Rempe
,
R. J.
Thompson
,
H. J.
Kimble
, and
R.
Lalezari
,
Opt. Lett.
17
(
5
),
363
(
1992
).
21.
J. M.
Bustillo
,
R. T.
Howe
, and
R. S.
Muller
,
Proc. IEEE
86
(
8
),
1552
(
1998
).
22.
D.
Nam
,
D.
Sukhdeo
,
S.-L.
Cheng
,
A.
Roy
,
K.
Chih-Yao Huang
,
M.
Brongersma
,
Y.
Nishi
, and
K.
Saraswat
,
Appl. Phys. Lett.
100
(
13
),
131112
(
2012
).
23.
D.
Nam
,
D.
Sukhdeo
,
A.
Roy
,
K.
Balram
,
S. L.
Cheng
,
K. C. Y.
Huang
,
Z.
Yuan
,
M.
Brongersma
,
Y.
Nishi
,
D.
Miller
, and
K.
Saraswat
,
Opt. Express
19
(
27
),
25866
(
2011
).
24.
M.
El Kurdi
,
H.
Bertin
,
E.
Martincic
,
M.
de Kersauson
,
G.
Fishman
,
S.
Sauvage
,
A.
Bosseboeuf
, and
P.
Boucaud
,
Appl. Phys. Lett.
96
(
4
),
041909
(
2010
).
25.
F.
Bianco
,
K.
Fedus
,
F.
Enrichi
,
R.
Pierobon
,
M.
Cazzanelli
,
M.
Ghulinyan
,
G.
Pucker
, and
L.
Pavesi
,
Semicond. Sci. Technol.
27
(
8
),
085009
(
2012
).
26.
F.
Ferrieu
,
P.
Ribot
, and
J. L.
Regolini
,
Thin Solid Films
373
(1–2),
211
215
(
2000
).
27.
J.
Stangl
,
C.
Mocuta
,
A.
Diaz
,
T. H.
Metzger
, and
G.
Bauer
,
ChemPhysChem
10
(
17
),
2923
(
2009
).
28.
C.
Mocuta
,
J.
Stangl
,
K.
Mundboth
,
T. H.
Metzger
,
G.
Bauer
,
I. A.
Vartanyants
,
M.
Schmidbauer
, and
T.
Boeck
,
Phys. Rev. B
77
(
24
),
245425
(
2008
).
29.
M.
Hanke
,
M.
Dubslaff
,
M.
Schmidbauer
,
T.
Boeck
,
S.
Schoder
,
M.
Burghammer
,
C.
Riekel
,
J.
Patommel
, and
C. G.
Schroer
,
Appl. Phys. Lett.
92
(
19
),
193109
(
2008
).
30.
D.
Chrastina
,
G. M.
Vanacore
,
M.
Bollani
,
P.
Boye
,
S.
Schoder
,
M.
Burghammer
,
R.
Sordan
,
G.
Isella
,
M.
Zani
, and
A.
Tagliaferri
,
Nanotechnology
23
(
15
),
155702
(
2012
).
31.
C. E.
Murray
,
A.
Ying
,
S. M.
Polvino
,
I. C.
Noyan
,
M.
Holt
, and
J.
Maser
,
J. Appl. Phys.
109
(
8
),
083543
(
2011
).
32.
N.
Hrauda
,
J. J.
Zhang
,
E.
Wintersberger
,
T.
Etzelstorfer
,
B.
Mandl
,
J.
Stangl
,
D.
Carbone
,
V.
Holy
,
V.
Jovanovic
,
C.
Biasotto
,
L. K.
Nanver
,
J.
Moers
,
D.
Grutzmacher
, and
G.
Bauer
,
Nano Lett.
11
(
7
),
2875
(
2011
).
33.
T.
Etzelstorfer
,
M. J.
Suess
,
G. L.
Schiefler
,
V. L. R.
Jacques
,
D.
Carbone
,
D.
Chrastina
,
G.
Isella
,
R.
Spolenak
,
J.
Stangl
,
H.
Sigg
, and
A.
Diaz
,
J. Synchrotron Radiat.
21
(
1
),
111
(
2014
).
34.
O.
Tabata
,
R.
Asahi
,
H.
Funabashi
,
K.
Shimaoka
and
S.
Sugiyama
,
Sens. Actuators, A
34
(
1
),
51
(
1992
).
35.
K. J. S.
Sawhney
,
I. P.
Dolbnya
,
M. K.
Tiwari
,
L.
Alianelli
,
S. M.
Scott
,
G. M.
Preece
,
U. K.
Pedersen
, and
R. D.
Walton
,
AIP Conf. Proc.
1234
(
1
),
387
(
2010
).
36.
P.
Fewster
,
J. Appl. Crystallogr.
25
(
6
),
714
(
1992
).
37.
J. S.
Reparaz
,
A.
Bernardi
,
A. R.
Goñi
,
M. I.
Alonso
, and
M.
Garriga
,
Appl. Phys. Lett.
92
(
8
),
081909
(
2008
).
You do not currently have access to this content.