We investigated the release of a stuck carbon nanotube (CNT) cantilever beam in nanorelay applications using a nano-manipulator. Even with strong adhesion induced by electrostatic attraction that is 100 times stronger than the van der Waals interaction, successful release of a nanotube arm from a stuck state was realized by the application of a resonant vibration to the stuck CNT arm. Furthermore, nonvolatile operation of the nanotube nanorelay was demonstrated by the application of the resonant vibration to the stuck CNT arm.

1.
M.
Dequesnes
,
S. V.
Rotkin
, and
N. R.
Aluru
,
Nanotechnology
13
,
120
(
2002
).
2.
J. M.
Kinaret
,
T.
Nord
, and
S.
Viefers
,
Appl. Phys. Lett.
82
,
1287
(
2003
).
3.
S. W.
Lee
,
D. S.
Lee
,
R. E.
Morjan
,
S. H.
Jhang
,
M.
Sveningsson
,
O. A.
Nerushev
,
Y. W.
Park
, and
E. E. B.
Campbell
,
Nano Lett.
4
,
2027
(
2004
).
4.
S. E.
Khadem
,
M.
Rasekh
, and
A.
Toghraee
,
Appl. Math. Model.
36
,
2329
(
2012
).
5.
M.
Dequesnes
,
S. V.
Rotkin
, and
N. R.
Aluru
,
J. Comput. Electron.
1
,
313
(
2002
).
6.
M.
Dequesnes
,
Z.
Tang
, and
N. R.
Aluru
,
J. Eng. Mater. Technol.
126
,
230
(
2004
).
7.
O. Y.
Loh
and
H. D.
Espinosa
,
Nat. Nanotechnol.
7
,
283
(
2012
).
8.
P.
Poncharal
,
Z. L.
Wang
,
D.
Ugarte
, and
W. A.
de Heer
,
Science
283
,
1513
(
1999
).
9.
M.
Nishio
,
S.
Sawaya
,
S.
Akita
, and
Y.
Nakayama
,
Appl. Phys. Lett.
86
,
133111
(
2005
).
10.
S.
Sawaya
,
S.
Akita
, and
Y.
Nakayama
,
Appl. Phys. Lett.
89
,
193115
(
2006
).
11.
A.
Yoshinaka
,
Y.
Yuasa
,
S.
Hiroshima
,
T.
Arie
, and
S.
Akita
,
Appl. Phys. Express
5
,
075101
(
2012
).
12.
M. M. J.
Treacy
,
T. W.
Ebbesen
, and
J. M.
Gibson
,
Nature
381
,
678
(
1996
).
13.
E. W.
Wong
,
P. E.
Sheehan
, and
C. M.
Lieber
,
Science
277
,
1971
(
1997
).
14.
S.
Akita
,
M.
Nishio
, and
Y.
Nakayama
,
Jpn. J. Appl. Phys.
45
,
5586
(
2006
).
15.
S.
Iijima
,
Nature
354
,
56
(
1991
).
16.
R. H.
Baughman
,
C. X.
Cui
,
A. A.
Zakhidov
,
Z.
Iqbal
,
J. N.
Barisci
,
G. M.
Spinks
,
G. G.
Wallace
,
A.
Mazzoldi
,
D.
De Rossi
,
A. G.
Rinzler
,
O.
Jaschinski
,
S.
Roth
, and
M.
Kertesz
,
Science
284
,
1340
(
1999
).
17.
J. N.
Barisci
,
G. M.
Spinks
,
G. G.
Wallace
,
J. D.
Madden
, and
R. H.
Baughman
,
Smart Mater. Struct.
12
,
549
(
2003
).
18.
G. M.
Spinks
,
G. G.
Wallace
,
L. S.
Fifield
,
L. R.
Dalton
,
A.
Mazzoldi
,
D.
De Rossi
,
I. I.
Khayrullin
, and
R. H.
Baughman
,
Adv. Mater.
14
,
1728
(
2002
).
19.
P.
Kim
and
C. M.
Lieber
,
Science
286
,
2148
(
1999
).
20.
S.
Akita
,
Y.
Nakayama
,
S.
Mizooka
,
Y.
Takano
,
T.
Okawa
,
Y.
Miyatake
,
S.
Yamanaka
,
M.
Tsuji
, and
T.
Nosaka
,
Appl. Phys. Lett.
79
,
1691
(
2001
).
21.
N.
Matsunaga
,
T.
Arie
, and
S.
Akita
,
Appl. Phys. Express
5
,
065101
(
2012
).
22.
S.
Akita
,
H.
Nishijima
, and
Y.
Nakayama
,
J. Phys. D: Appl. Phys.
33
,
2673
(
2000
).
23.
L. X.
Dong
,
X. Y.
Tao
,
L.
Zhang
,
X. B.
Zhang
, and
B. J.
Nelson
,
Nano Lett.
7
,
58
(
2007
).
24.
Z.
Fan
,
X. Y.
Tao
,
X. D.
Cui
,
X. D.
Fan
,
X. B.
Zhang
, and
L. X.
Dong
,
Nanoscale
4
,
5673
(
2012
).
25.
A.
Nagataki
,
T.
Kagota
,
T.
Arie
, and
S.
Akita
,
Jpn. J. Appl. Phys.
52
,
04CN06
(
2013
).
26.
K. B.
Lee
,
Principles of Microelectromechanical Systems
(
John Wiley & Sons, Inc.
,
Hoboken, New Jersey
,
2011
).
27.
S.
Sawaya
,
S.
Akita
, and
Y.
Nakayama
,
Nanotechnology
18
,
035702
(
2007
).
28.
H.
Somada
,
K.
Hirahara
,
S.
Akita
, and
Y.
Nakayama
,
Nano Lett.
9
,
62
(
2009
).
29.
Y.
Ueno
,
H.
Somada
,
K.
Hirahara
,
Y.
Nakayama
, and
S.
Akita
,
Jpn. J. Appl. Phys.
48
,
06FG03
(
2009
).
You do not currently have access to this content.