We describe a planar silicon metal-oxide-semiconductor (MOS) based single hole transistor, which is compatible with conventional Si complementary MOS fabrication. A multi-layer gate design gives independent control of the carrier density in the dot and reservoirs. Clear Coulomb blockade oscillations are observed, and source-drain biasing measurements show that it is possible to deplete the dot down to the few hole regime, with excited states clearly visible. The architecture is sufficiently versatile that a second hole dot could be induced adjacent to the first one.

1.
L. P.
Kouwenhoven
,
D. G.
Austing
, and
S.
Tarucha
,
Rep. Prog. Phys.
64
,
701
(
2001
).
2.
W. H.
Lim
,
C. H.
Yang
,
F. A.
Zwanenburg
, and
A. S.
Dzurak
,
Nanotechnology
22
,
335704
(
2011
).
3.
C.
Barthel
,
M.
Kjærgaard
,
J.
Medford
,
M.
Stopa
,
C. M.
Marcus
,
M. P.
Hanson
, and
A. C.
Gossard
,
Phys. Rev. B
81
,
161308
(
2010
).
4.
J. R.
Petta
,
A. C.
Johnson
,
J. M.
Taylor
,
E. A.
Laird
,
A.
Yacoby
,
M. D.
Lukin
,
C. M.
Marcus
,
M. P.
Hanson
, and
A. C.
Gossard
,
Science
309
,
2180
(
2005
).
5.
D.
Loss
and
D. P.
DiVincenzo
,
Phys. Rev. A
57
,
120
(
1998
).
6.
I.
Žutić
,
J.
Fabian
, and
S.
Das Sarma
,
Rev. Mod. Phys.
76
,
323
(
2004
).
7.
R.
Hanson
,
L. P.
Kouwenhoven
,
J. R.
Petta
,
S.
Tarucha
, and
L. M. K.
Vandersypen
,
Rev. Mod. Phys.
79
,
1217
(
2007
).
8.
A.
Morello
,
J. J.
Pla
,
F. A.
Zwanenburg
,
K. W.
Chan
,
K. Y.
Tan
,
H.
Huebl
,
M.
Mottonen
,
C. D.
Nugroho
,
C.
Yang
,
J. A.
van Donkelaar
,
A. D. C.
Alves
,
D. N.
Jamieson
,
C. C.
Escott
,
L. C. L.
Hollenberg
,
R. G.
Clark
, and
A. S.
Dzurak
,
Nature
467
,
687
(
2010
).
9.
J. J.
Pla
,
K. Y.
Tan
,
J. P.
Dehollain
,
W. H.
Lim
,
J. J. L.
Morton
,
D. N.
Jamieson
,
A. S.
Dzurak
, and
A.
Morello
,
Nature
489
,
541
(
2012
).
10.
B.
Koiller
,
X.
Hu
, and
S.
Das Sarma
,
Phys. Rev. Lett.
88
,
027903
(
2001
).
11.
D. V.
Bulaev
and
D.
Loss
,
Phys. Rev. Lett.
95
,
076805
(
2005
).
12.
B. D.
Gerardot
,
D.
Brunner
,
P. A.
Dalgarno
,
P.
Ohberg
,
S.
Seidl
,
M.
Kroner
,
K.
Karrai
,
N. G.
Stoltz
,
P. M.
Petroff
, and
R. J.
Warburton
,
Nature
451
,
441
(
2008
).
13.
M. D.
Schroer
,
K. D.
Petersson
,
M.
Jung
, and
J. R.
Petta
,
Phys. Rev. Lett.
107
,
176811
(
2011
).
14.
P.
Szumniak
,
S.
Bednarek
,
B.
Partoens
, and
F. M.
Peeters
,
Phys. Rev. Lett.
109
,
107201
(
2012
).
15.
Z. K.
Keane
,
M. C.
Godfrey
,
J. C. H.
Chen
,
S.
Fricke
,
O.
Klochan
,
A. M.
Burke
,
A. P.
Micolich
,
H. E.
Beere
,
D. A.
Ritchie
,
K. V.
Trunov
,
D.
Reuter
,
A. D.
Wieck
, and
A. R.
Hamilton
,
Nano Lett.
11
,
3147
(
2011
).
16.
B.
Grbic
,
R.
Leturcq
,
K.
Ensslin
,
D.
Reuter
, and
A. D.
Wieck
,
Appl. Phys. Lett.
87
,
232108
(
2005
).
17.
U.
Meirav
,
M. A.
Kastner
, and
S. J.
Wind
,
Phys. Rev. Lett.
65
,
771
(
1990
).
18.
J. C. H.
Chen
,
D. Q.
Wang
,
O.
Klochan
,
A. P.
Micolich
,
K.
Das Gupta
,
F.
Sfigakis
,
D. A.
Ritchie
,
D.
Reuter
,
A. D.
Wieck
, and
A. R.
Hamilton
,
Appl. Phys. Lett.
100
,
052101
(
2012
).
19.
U.
Dotsch
,
U.
Gennser
,
C.
David
,
G.
Dehlinger
,
D.
Grutzmacher
,
T.
Heinzel
,
S.
Luscher
, and
K.
Ensslin
,
Appl. Phys. Lett.
78
,
341
(
2001
).
20.
O.
Klochan
,
A. P.
Micolich
,
A. R.
Hamilton
,
K.
Trunov
,
D.
Reuter
, and
A. D.
Wieck
,
Phys. Rev. Lett.
107
,
076805
(
2011
).
21.
Y.
Hu
,
F.
Kuemmeth
,
C. M.
Lieber
, and
C. M.
Marcus
,
Nat. Nanotechnol.
7
,
47
(
2012
).
22.
M.
Saitoh
,
H.
Majima
, and
T.
Hiramoto
,
Jpn. J. Appl. Phys., Part 1
42
,
2426
(
2003
).
23.
M.
Kobayashi
and
T.
Hiramoto
,
J. Appl. Phys.
103
,
053709
(
2008
).
24.
S. J.
Angus
,
A. J.
Ferguson
,
A. S.
Dzurak
, and
R. G.
Clark
,
Nano Lett.
7
,
2051
(
2007
).
25.
W. H.
Lim
,
H.
Huebl
,
L. H.
Willems van Beveren
,
S.
Rubanov
,
P. G.
Spizzirri
,
S. J.
Angus
,
R. G.
Clark
, and
A. S.
Dzurak
,
Appl. Phys. Lett.
94
,
173502
(
2009
).
26.
P. C.
Spruijtenburg
,
J.
Ridderbos
,
F.
Mueller
,
A. W.
Leenstra
,
M.
Brauns
,
A. A. I.
Aarnink
,
W. G.
van der Wiel
, and
F. A.
Zwanenburg
,
Appl. Phys. Lett.
102
,
192105
(
2013
).
You do not currently have access to this content.