A method named sacrificial beam is presented to fabricate graphene cantilever devices. The mechanical properties of graphene cantilevers are studied using atomic force microscopy. Graphene cantilever based 2-terminal nano-electro-mechanical systems switches are demonstrated, and their DC characteristics and switch performance are investigated. A 3-terminal switch based on a graphene cantilever is fabricated, and its electrical properties are also studied.

1.
K. S.
Novoselov
,
A. K.
Geim
,
S. V.
Morozov
,
D.
Jiang
,
Y.
Zhang
,
S. V.
Dubonos
,
I. V.
Grigorieva
, and
A. A.
Firsov
,
Science
306
,
666
(
2004
).
2.
X.
Du
,
I.
Skachko
,
A.
Barker
, and
E.
Andrei
,
Nat. Nanotechnol.
3
,
491
(
2008
).
3.
X.
Li
,
X.
Wang
,
L.
Zhang
,
S.
Lee
, and
H.
Dai
,
Science
319
,
1229
(
2008
).
4.
Y. M.
Lin
,
C.
Dimitrakpoulos
,
K. A.
Jenkins
,
D. B.
Farmer
,
H. Y.
Chiu
,
A.
Grill
, and
P.
Avouris
,
Science
327
,
662
(
2010
).
5.
F.
Schwierz
,
Nat. Nanotechnol.
5
,
487
(
2010
).
6.
Y.
Zhang
,
T. T.
Tang
,
C.
Girit
,
Z.
Hao
,
M. C.
Martin
,
A.
Zettl
,
M. F.
Crommie
,
Y. R.
Shen
, and
F.
Wang
,
Nature (London)
459
,
820
(
2009
).
7.
J.
Oostinga
,
H. B.
Heersche
,
X.
Liu
,
A. F.
Morpurgo
, and
L. M. K.
Vandersypen
,
Nature Mater.
7
,
152
(
2008
).
8.
Y. M.
Lin
,
K. A.
Jenkins
,
A. V.
Garcia
,
J. P.
Small
,
D. B.
Farmer
, and
P.
Avouris
,
Nano Lett.
9
,
422
(
2009
).
9.
S.
Bae
,
H.
Kim
,
Y.
Lee
,
X.
Xu
,
J. S.
Park
,
Y.
Zheng
,
J.
Balakrishnan
,
T.
Lei
,
H. R.
Kim
,
Y.
Song
,
Y. J.
Kim
,
B. H.
Hong
, and
S.
Lijima
,
Nat. Nanotechnol.
5
,
574
(
2010
).
10.
J. T.
Robinson
,
F. K.
Perkins
,
E. S.
Snow
,
Z.
Wei
, and
P. E.
Sheehan
,
Nano Lett.
8
,
3137
(
2008
).
11.
X.
Liang
,
A. S. P.
Chang
,
Y.
Zhang
,
B. D.
Harteneck
,
H.
Choo
,
D. L.
Olynick
, and
S.
Cabrini
,
Nano Lett.
9
,
467
(
2009
).
12.
A. A.
Balandin
,
S.
Ghosh
,
W.
Bao
,
I.
Calizo
,
D.
Teweldebrhan
,
F.
Miao
, and
C. N.
Lau
,
Nano Lett.
8
,
902
(
2008
).
13.
C.
Lee
,
X.
Wei
,
J. W.
Kysar
, and
J.
Hone
,
Science
321
,
385
(
2008
).
14.
J. S.
Bunch
,
A. M. V.
Zande
,
S. S.
Verbridge
,
L. W.
Frank
,
D. M.
Tanenbaum
,
J. M.
Parpia
,
H. G.
Craighead
, and
P. L.
McEuen
,
Science
315
,
490
(
2007
).
15.
C.
Chen
,
S.
Rosenblatt
,
K. I.
Bolotin
,
W.
Kalb
,
I.
Kymissis
,
H. L.
Stormer
,
T. F.
Heinz
, and
J.
Hone
,
Nat. Nanotechnol.
4
,
861
(
2009
).
16.
K. M.
Milaninia
,
M. A.
Baldo
,
A.
Reina
, and
J.
Kong
,
Appl. Phys. Lett.
95
,
183105
(
2009
).
17.
S.
Zhu
,
R.
Shabani
,
J.
Rho
,
Y.
Kim
,
B. H.
Hong
,
J.
Ahn
, and
H. J.
Cho
,
Nano Lett.
11
,
977
(
2011
).
18.
S.
Shivaraman
,
R. A.
Barton
,
X.
Yu
,
J.
Alden
,
L.
Herman
,
M.
Chandrashekhar
,
J.
Park
,
P. L.
McEuem
,
J. M.
Parpia
,
H. G.
Craighead
, and
M. G.
Spencer
,
Nano Lett.
9
,
3100
(
2009
).
19.
D.
Garcia-Sanchez
,
A. M.
Zande
,
A. S.
Paulo
,
B.
Lassagne
,
P. L.
McEuen
, and
A.
Bachtold
,
Nano Lett.
8
,
1399
(
2008
).
20.
R. T.
Weitz
,
M. T.
Allen
,
B. E.
Feldman
,
J.
Martin
, and
A.
Yacoby
,
Science
330
,
812
(
2010
).
21.
C.
Seoanez
and
F.
Guinea
,
Phys. Rev. B
76
,
125427
(
2007
).
22.
S.
Lee
,
N.
Wijesinghe
,
C.
Diaz-Pinto
, and
H.
Peng
,
Phys. Rev. B
82
,
045411
(
2008
).
23.
Z.
Cheng
,
Q.
Li
,
Z.
Li
,
Q.
Zhou
, and
Y.
Fang
,
Nano Lett.
10
,
1864
(
2010
).
24.
G. M.
Rebeiz
,
RF MEMS: Theory, Design, and Technology
(
John Wiley & Sons
,
Hoboken, New Jersey
,
2003
).
25.
G.
Bing
,
C. F.
Quate
, and
C.
Gerber
,
Phys. Rev. Lett.
56
,
930
(
1986
).
You do not currently have access to this content.