An approach using Raman spectrum method is reported to measure pull-in voltages of graphene capacitive shunt switches. When the bias excesses the pull-in voltage, the Raman spectrum's intensity largely decreases. Two factors that contribute to the intensity reduction are investigated. Moreover, by monitoring the frequency shift of G peak and 2D band, we are able to detect the pull-in voltage and measure the strain change in graphene beams during switching.

1.
K. S.
Novoselov
,
A. K.
Geim
,
S. V.
Morozov
,
D.
Jiang
,
Y.
Zhang
,
S. V.
Dubonos
,
I. V.
Grigorieva
, and
A. A.
Firsov
,
Science
306
,
666
(
2004
).
2.
C.
Lee
,
X.
Wei
,
J. W.
Kysar
, and
J.
Hone
,
Science
321
,
385
(
2008
).
3.
J. S.
Bunch
,
A. M. V.
Zande
,
S. S.
Verbridge
,
L. W.
Frank
,
D. M.
Tanenbaum
,
J. M.
Parpia
,
H. G.
Craighead
, and
P. L.
McEuen
,
Science
315
,
490
(
2007
).
4.
C.
Chen
,
S.
Rosenblatt
,
K. I.
Bolotin
,
W.
Kalb
,
I.
Kymissis
,
H. L.
Stormer
,
T. F.
Heinz
, and
J.
Hone
,
Nat. Nanotechnol.
4
,
861
(
2009
).
5.
S.
Zhu
,
R.
Shabani
,
J.
Rho
,
Y.
Kim
,
B. H.
Hong
,
J.
Ahn
, and
H. J.
Cho
,
Nano Lett.
11
,
977
(
2011
).
6.
E.
Abbaspour-Sani
and
S.
Afrang
,
Prog. Electromagn. Res.
65
,
157
(
2006
).
7.
A. B.
Yu
,
A. Q.
Liu
,
Q. X.
Zhang
,
A.
Alphones
, and
H. M.
Hosseini
,
Sensor Actuat. A: Phys
127
,
24
(
2006
).
8.
K. M.
Milaninia
,
M. A.
Baldo
,
A.
Reina
, and
J.
Kong
,
Appl. Phys. Lett.
95
,
183105
(
2009
).
9.
S. M.
Kim
,
E. B.
Song
,
S.
Lee
,
S.
Seo
,
D. H.
Seo
,
Y.
Hwang
,
R.
Candler
, and
K. L.
Wang
,
Appl. Phys. Lett.
99
,
023103
(
2011
).
10.
A. C.
Ferrari
,
J. C.
Meter
,
V.
Scardaci
,
C.
Casiraghi
,
M.
Lazzeri
,
F.
Mauri
,
S.
Piscanec
,
D.
Jiang
,
K. S.
Novoselov
,
S.
Roth
, and
A. K.
Geim
,
Phys. Rev. Lett.
97
,
187401
(
2006
).
11.
M. S.
Dresselhaus
,
A.
Jorio
,
M.
Hofmann
,
G.
Dresselhaus
, and
R.
Saito
,
Nano Lett.
10
,
751
(
2010
).
12.
Y. K.
Koh
,
M. H.
Bae
,
D. G.
Cahill
, and
E.
Pop
,
ACS Nano
5
,
269
(
2011
).
13.
D.
Yoon
,
H.
Moon
,
Y. W.
Son
,
J. S.
Choi
,
B. H.
Park
,
Y. H.
Cha
,
Y. D.
Kim
, and
H.
Cheong
,
Phys. Rev. B
80
,
125422
(
2009
).
14.
R.
Wang
,
S.
Wang
,
D.
Zhang
,
Z.
Li
,
Y.
Fang
, and
X.
Qiu
,
ACS Nano
5
,
408
(
2011
).
15.
S.
Shivaraman
,
R. A.
Barton
,
X.
Yu
,
J.
Alden
,
L.
Herman
,
M.
Chandrashekhar
,
J.
Park
,
P. L.
McEuem
,
J. M.
Parpia
,
H. G.
Craighead
, and
M. G.
Spencer
,
Nano Lett.
9
,
3100
(
2009
).
16.
N.
Mounet
and
N.
Marzari
,
Phys. Rev. B
71
,
205214
(
2005
).
17.
A. M.
Rao
,
E.
Richter
,
S.
Bandow
,
B.
Chase
,
P. C.
Eklund
,
K. A.
Williams
,
S.
Fang
,
K. R.
Subbaswamy
,
M.
Menon
,
A.
Thess
,
R. E.
Smalley
, and
G.
Dresselhaus
,
Science
275
,
187
(
1997
).
18.
P. A.
Temple
and
C. E.
Hathaway
,
Phys. Rev. B
7
,
3685
(
1973
).
19.
M.
Hangyo
,
K.
Kisoda
,
T.
Nishio
,
S.
Nakashima
,
T.
Terashima
, and
N.
Kojima
,
Phys. Rev. B
50
,
12033
(
1994
).
20.
G. L.
Frey
,
R.
Tenne
,
M. J.
Matthews
,
M. S.
Dresselhaus
, and
G.
Dresselhaus
,
Phys. Rev. B
60
,
2883
(
1999
).
21.
L.
Wirtz
,
M.
Lazzeri
,
F.
Mauri
, and
A.
Rubio
,
Phys. Rev. B
71
,
241402
(
2005
).
You do not currently have access to this content.