A table-top soft x-ray microscope based on a long-term stable and nearly debris-free laser plasma from a pulsed nitrogen gas jet target is presented. The microscope operates in the “water window” region at 2.88 nm wavelength. The emitted soft x-ray radiation is focused by an ellipsoidal condenser mirror into the object plane and a sample is imaged using a Fresnel zone plate onto a CCD camera. The spatial resolution of the microscope is about 50 nm demonstrated for a Siemens star test pattern.

1.
W.
Meyer-Ilse
,
D.
Hamamoto
,
A.
Nair
,
S.
Levièvre
,
G.
Denbeaux
,
L.
Johnson
,
A.
Pearson
,
D.
Yager
,
M.
Legros
, and
C.
Larabell
,
J. Microsc.
201
,
395
403
(
2000
).
2.
C.
Larabell
and
M.
Le Gros
,
Mol. Biol. Cell
15
,
957
962
(
2004
).
3.
M.
Juenger
,
V.
Lamour
,
P.
Monteiro
,
E.
Gartner
, and
G.
Denbeaux
,
J. Mater. Sci. Lett.
22
,
1335
1337
(
2003
).
4.
G.
Schneider
,
Ultramicroscopy
75
,
85
104
(
1998
).
5.
D.
Weiß
,
G.
Schneider
,
B.
Niemann
,
P.
Guttmann
,
D.
Rudolph
, and
G.
Schmahl
,
Ultramicroscopy
84
,
185
197
(
2000
).
6.
J.
Clowney
,
M.
LeGros
,
C.
Mosley
,
F.
Clowney
,
E.
Markenskoff-Papadimitriou
,
M.
Myllys
,
G.
Barnea
,
C.
Larabell
, and
S.
Lomvardas
,
Cell
151
,
724
737
(
2012
).
7.
W.
Müller
,
B.
Heymann
,
K.
Nagashima
,
P.
Guttmann
,
S.
Werner
,
S.
Rehbein
,
G.
Schneider
and
J.
McNally
,
J. Struct. Biol.
177
,
179
192
(
2012
).
8.
J.
Niclis
,
S.
Murphy
,
D.
Parkinson
,
A.
Zedan
,
A.
Sathananthan
,
D.
Cram
, and
P.
Heraud
,
J. R. Soc. Interface
12
(
2015
).
9.
S.
Myneni
,
J.
Brown
,
G.
Martinez
, and
W.
Meyer-Ilse
,
Science
286
,
1335
1337
(
1999
).
10.
W.
Chao
,
P.
Fischer
,
T.
Tyliszczak
,
S.
Rekawa
,
E.
Anderson
, and
P.
Naulleau
,
Opt. Express
20
,
9777
9783
(
2012
).
11.
M.
Berglund
,
L.
Rymell
,
M.
Peuker
,
T.
Wilhein
, and
H.
Hertz
,
J. Microsc.
197
,
268
273
(
2000
).
12.
P.
Jansson
,
U.
Vogt
, and
H.
Hertz
,
Rev. Sci. Instrum.
76
,
043503
(
2005
).
13.
P.
Takmann
,
H.
Stollberg
,
G.
Johansson
,
A.
Holmberg
,
M.
Lindholm
, and
H.
Hertz
,
J. Microsc.
226
,
175
181
(
2007
).
14.
M.
Benk
,
K.
Bergmann
,
D.
Schäfer
, and
T.
Wilhein
,
Opt. Lett.
33
,
2359
2361
(
2008
).
15.
H.
Legall
,
G.
Blobel
H.
Stiel
,
W.
Sandner
,
C.
Seim
,
P.
Takman
,
D.
Martz
,
M.
Selin
,
U.
Vogt
,
H.
Hertz
,
D.
Esser
,
H.
Sipma
,
J.
Luttmann
,
M.
Höfer
,
H.
Hoffmann
,
S.
Yulin
,
T.
Feigl
,
S.
Rehbein
,
P.
Guttmann
,
G.
Schneider
,
U.
Wiesemann
,
M.
Wirtz
, and
W.
Diete
,
Opt. Express
20
,
18362
18369
(
2012
).
16.
H.
Fiedorowicz
,
A.
Bartnik
,
Z.
Patron
, and
P.
Piotr
,
Appl. Phys. Lett.
62
,
2778
2780
(
1993
).
17.
S.
Kranzusch
and
K.
Mann
,
Opt. Commun.
200
,
223
230
(
2001
).
18.
F.
Barkusky
,
C.
Peth
,
A.
Bayer
, and
K.
Mann
,
J. Appl. Phys.
101
,
124908
(
2007
).
19.
A.
Bartnik
,
H.
Fiedorowicz
,
R.
Jarocki
,
J.
Kostecki
,
A.
Szczurek
, and
M.
Szczurek
,
Appl. Phys. B
96
,
727
730
(
2009
).
20.
C.
Peth
,
F.
Barkusky
, and
K.
Mann
,
J. Phys. D: Appl. Phys.
41
,
105202
105207
(
2008
).
21.
M.
Müller
,
T.
Mey
,
J.
Niemeyer
, and
K.
Mann
,
Opt. Express
22
,
23489
23495
(
2014
).
22.
P.
Wachulak
,
A.
Torrisi
,
A.
Bartnik
,
D.
Adjei
,
J.
Kostecki
,
L.
Wegrzynski
,
R.
Jarocki
,
M.
Szczurek
,
H.
Fiedorowicz
,
Appl. Phys. B
118
,
573
578
(
2015
).
23.
G.
Kubiak
and
M.
Richardson
, US Patent 5,577,092 (
1996
).
24.
H.
Fiedorowicz
,
A.
Bartnik
,
H.
Daido
,
I.
Choi
,
M.
Suzuki
, and
S.
Yamagami
,
Opt. Commun.
184
,
161
167
(
2000
).
25.
T.
Mey
,
M.
Rein
,
P.
Großmann
, and
K.
Mann
,
N. J. Phys.
14
,
073045
(
2012
).
26.
S.
Kranzusch
,
C.
Peth
, and
K.
Mann
,
Rev. Sc. Instrum.
74
,
969
974
(
2003
).
27.
A.
Bayer
,
F.
Barkusky
,
S.
Döring
,
P.
Großmann
, and
K.
Mann
,
X-ray Opt. Instrum.
2010
,
1
9
(
2010
).
28.
B.
Henke
,
E.
Gullikson
, and
J.
Davis
,
Data Tables
54
,
181
342
(
1993
).
29.
M.
Müller
,
F.
Kühl
,
P.
Großmann
,
P.
Vrba
, and
K.
Mann
,
Opt. Express
21
,
12831
12842
(
2013
).
This content is only available via PDF.